Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
24.02.2022	24.02.2022 Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements WO2022037898 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2022	24.02.2022 Steuervorrichtung zur Steuerung von Manipulatoren für eine Projektionslinse WO2022038163 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2022	16.02.2022 Optisches System, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung EP3482257 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2017 Erteilt am 16.02.2022 Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2022	09.02.2022 Optische Anordnung und Lithographieanlage EP3948423 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2020 Anhängig Vertretung Horn Kleimann Waitzhofer Patentanwälte PartG mbB · München HKW Intellectual Property PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2022	09.02.2022 Verfahren zur Herstellung oder Einstellung einer Projektionsbelichtungsanlage EP3951501 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2022	09.02.2022 Optische Anordnung für die Euv-Lithografie EP3769157 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2019 Erteilt am 09.02.2022 Vertretung Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2022	03.02.2022 Projektionsobjektiv mit einer Optischen Vorrichtung WO2022023313 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.01.2022	27.01.2022 Restgasanalysator und Euv-Lithographiesystem mit einem Restgasanalysator WO2022017883 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.07.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2022	19.01.2022 Reflektives optisches Element für streifenden Einfall im EUV-Wellenlängenbereich EP2824487 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2014 Erteilt am 19.01.2022 Vertretung Werner & ten Brink · Münster Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2022	12.01.2022 Verfahren zum Herstellen eines Spiegels, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage EP3323019 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2016 Erteilt am 12.01.2022 Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2022	06.01.2022 Optisches System mit einer Aperturblende WO2022002533 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2022	05.01.2022 Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenverarbeitung EP3933882 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2020 Anhängig Vertretung Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2022	05.01.2022 Kompensation von Kriecheffekten in einer Bildgebungsvorrichtung EP3933509 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2021 Anhängig Vertretung Cohausz & Florack · Düsseldorf Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2021	30.12.2021 Verbindung von Komponenten einer Optischen Abbildungseinrichtung WO2021259858 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.12.2021	30.12.2021 Optisches Element für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage WO2021259634 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2021	29.12.2021 Optische Komponente EP2815278 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2013 Erteilt am 29.12.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2021	29.12.2021 Spiegelsystem EP2815277 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2013 Erteilt am 29.12.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.12.2021	15.12.2021 Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines durch wenigstens einen Lithographieschritt Strukturierten Wafers EP3371657 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2016 Erteilt am 15.12.2021 Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.12.2021	15.12.2021 Halterung eines Optischen Elements EP3921702 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.02.2020 Anhängig Vertretung Cohausz & Florack · Düsseldorf Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2021	02.12.2021 Spiegel, insbesondere für die Mikrolithographie WO2021239355 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2021	02.12.2021 Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Schwingungstilger und Verfahren zur Auslegung eines Schwingungstilgers WO2021239324 Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.12.2021	02.12.2021 Vorrichtung und Verfahren zum Temperieren von Elementen in Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlagen WO2021239299 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2021	24.11.2021 Optische Beugungskomponente zur Unterdrückung von mindestens einer Zielwellenlänge durch Destruktive Interferenz EP3912000 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2020 Anhängig Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2021	24.11.2021 Maske und Scanning-Projektions-Belichtungsverfahren für die Mikrolithographie EP2798402 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2011 Erteilt am 24.11.2021 Vertretung Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner · Stuttgart Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2021	24.11.2021 Euv-Kollektor EP3465348 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2017 Erteilt am 24.11.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2021	04.11.2021 Anordnung, insbesondere in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage WO2021219339 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2021 Anhängig Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.10.2021	21.10.2021 Baugruppe eines Optischen Systems WO2021209165 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2020 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.10.2021	13.10.2021 Optisches Bauelement zur Führung eines Strahlungsbündels EP2841977 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.04.2013 Erteilt am 13.10.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2021	06.10.2021 System zur Interferometrischen Messung der Abbildungsgüte einer Anamorphotischen Projektionslinse EP3482153 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2017 Erteilt am 06.10.2021 Vertretung Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2021	06.10.2021 Spiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage mit einem Spektralfilter in Form einer Gitterstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Spektralfilters in Form einer Gitterstruktur auf einem Spiegel EP3887878 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2019 Anhängig Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.08.2021	19.08.2021 Projektionsbelichtungsanlage mit einem Thermischen Manipulator WO2021160583 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.02.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Verfahren zum Verfolgen und zur Identifizierung von Komponenten von Lithografiesystemen und Lithografiesystem WO2021156129 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Verfahren zur Bildaufzeichnung unter Verwendung eines Teilchenmikroskops EP3861528 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2019 Anhängig Vertretung Diehl & Partner · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Bündelverteilungsoptik, Beleuchtungsoptik mit einer Derartigen Bündelverteilungsoptik, Optisches System mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Derartigen Optischen System EP3111269 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.02.2015 Erteilt am 11.08.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Kollektor EP3044635 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2014 Erteilt am 11.08.2021 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.07.2021	29.07.2021 Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung WO2021148363 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2021 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.07.2021	15.07.2021 Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektionslithografie WO2021139904 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2020 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2021	07.07.2021 Verfahren und Vorrichtung zum Modifizieren von Abbildungseigenschaften eines Optischen Systems für die Mikrolithographie EP3559750 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2017 Erteilt am 07.07.2021 Vertretung Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.06.2021	17.06.2021 Projektionsbelichtungsgerät für Halbleiterlithografie WO2021115789 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2020 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.06.2021	17.06.2021 Optisches Element und Lithographiesystem WO2021115643 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2020 Anhängig Vertretung Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen