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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
20.03.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Additiven Fertigung
EP3641965
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
13.03.2024
Verfahren zum Kalibrieren einer Sphärischen Welle, sowie Prüfsystem zur Interferometrischen Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings
EP4336139
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.03.2024
Interferometrisches Messverfahren und Interferometrisches Messsystem
EP4336138
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.02.2024
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Optischen Elements in einem Optischen System für die Mikrolithographie
EP4212962
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.02.2024
Segmentierung oder Querschnitt von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
EP4327274
Software & Datenverarbeitung
21.02.2024
Reflektives Optisches Element für die Euv-Lithographie
EP3491468
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.02.2024
Verfahren zur Stabilisierung einer Klebstoffverbindung einer Optischen Baugruppe, Optische Baugruppe und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
WO2024033083
Optik & Fototechnik
15.02.2024
Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage
WO2024033320
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.02.2024
Metrologiesystem und Verfahren zur Vermessung eines Anregungs-Laserstrahls in einer Euv-Plasmaquelle
EP3861310
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.02.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Verarbeitung einer Oberfläche eines Objekts
EP4320481
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
14.02.2024
Verfahren zur Herstellung eines Spiegels einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4320467
Optik & Fototechnik
07.02.2024
Optisches System für eine Lithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP4314949
Optik & Fototechnik
07.02.2024
Facettensystem und Lithografievorrichtung
EP4314948
Optik & Fototechnik
01.02.2024
Optisches System, Lithographieanlage mit einem Optischen System und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Systems
WO2024023010
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.02.2024
Verfahren zur Verzerrungsmessung und Parametereinstellung für Ladungsteilchenstrahlbildgebungsvorrichtungen und Entsprechende Vorrichtungen
WO2024023116
Software & Datenverarbeitung
25.01.2024
Restgasanalysator, Projektionsbelichtungsanlage mit einem Restgasanalysator und Verfahren zur Restgasanalyse
WO2024017560
Optik & Fototechnik
25.01.2024
Messanordnung zum Erfassen eines Abstands zwischen Zwei Elementen, Abstandsmessvorrichtung, Optisches Vermessungssystem und Verfahren
WO2024017914
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.01.2024
Verfahren zum Reinigen einer Oberfläche, Reinigungsvorrichtung und Optische Anordnung
EP4309003
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
24.01.2024
Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements für den Extrem-Ultravioletten Wellenlängenbereich und Reflektierendes Optisches Element
EP4308981
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.01.2024
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements für eine Lithographievorrichtung
EP4310592
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
18.01.2024
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
WO2024013177
Optik & Fototechnik
18.01.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Bereitstellung von Sensordaten eines Optischen Systems, Optisches System und Lithographievorrichtung mit einem Optischen System
WO2024013190
Optik & Fototechnik
11.01.2024
Grundkörper für ein Optisches Element mit einer Anbindungsgeometrie und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines Optischen Elementes sowie Projektionsbelichtungsanlage
WO2024008674
Optik & Fototechnik
10.01.2024
Euv-Reflektometer
EP4100721
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.01.2024
Verfahren zur Montage eines Optischen Systems
EP4070161
Optik & Fototechnik
28.12.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten einer Oberfläche eines Optischen Elements einer Lithographieanlage in einem Atomlagen-Depositionsprozess oder einen Atomlagen-Ätzprozess
WO2023247496
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.12.2023
Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements sowie Optisches System
WO2023241849
Optik & Fototechnik
20.12.2023
Verfahren zur Herstellung eines Mehrteiligen Spiegels einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
EP4291929
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
14.12.2023
Verfahren zum Betreiben einer Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage
WO2023237282
Optik & Fototechnik
13.12.2023
Strahlungsquelle und Vorrichtung zur Rückkopplung von Emittierter Strahlung in eine Laserquelle
EP3827488
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2023
Elektrooptische Leiterplatte zur Kontaktierung von Integrierten Photonischen Schaltungen
EP3775936
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.12.2023
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element und Lithografiesystem
EP4288839
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.12.2023
Zweistrahlsysteme und Verfahren zur Entkopplung des Arbeitsabstandes einer Teilchenstrahlvorrichtung von durch Fokussierte Ionenstrahlgeometrie Induzierten Einschränkungen
WO2023232282
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Verfahren zum Bilden einer Schicht, Optisches Element und Optisches System
EP4284957
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
30.11.2023
Optisches Element sowie Anordnung und Optisches System damit
WO2023227550
Optik & Fototechnik
30.11.2023
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2023227374
Optik & Fototechnik
29.11.2023
Bildsensor, Positionssensorvorrichtung, Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben eines Bildsensors
EP3752886
Optik & Fototechnik
29.11.2023
Optisches Bauelement und Optisches System, insbesondere für die Mikrolithographie
EP4283349
Optik & Fototechnik
15.11.2023
Anordnung mit Entkopplungsverbindung zur Mechanischen Befestigung eines Elements
EP4275086
Optik & Fototechnik
15.11.2023
Mehrstrahliger 3D-Fokusgenerator
EP4275833
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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