Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.949 gesamt| Patent | |||
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15.11.2023
Optische Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung einer Optischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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15.11.2023
Verfahren zur Einstellung eines Beleuchtungssettings
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.07.2017
Erteilt am 15.11.2023
Vertretung
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15.11.2023
Anordnung mit Entkopplungsverbindung zur Mechanischen Befestigung eines Elements
Optik & Fototechnik
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08.11.2023
Positionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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02.11.2023
Temperaturunempfindlicher Aktuator und Verformungsspiegel
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.11.2023
Vorrichtung zur Moiré-Vermessung eines Optischen Prüfkörpers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.06.2017
Erteilt am 01.11.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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25.10.2023
Blende, Optisches System und Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2020
Erteilt am 25.10.2023
Vertretung
HKW Intellectual Property PartG mbB · München
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25.10.2023
System und Verfahren zur Analyse eines von einer Strahlführungsoptik Geführten Lichtstrahls
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2015
Erteilt am 25.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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18.10.2023
Mikrospiegel-Array
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.08.2014
Erteilt am 18.10.2023
Vertretung
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18.10.2023
Steuervorrichtung, Steuerungssystem, Verfahren zum Betreiben eines Steuerungssystems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.10.2023
Anordnung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Kalibrierung von Facettenspiegeln
Optik & Fototechnik
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12.10.2023
Reflektives Optisches Element für eine Wellenlänge im Extrem Ultravioletten Wellenlängenbereich
Optik & Fototechnik
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12.10.2023
3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhtem Durchsatz und Erhöhter Genauigkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Optischen Elements in einem Optischen System für die Mikrolithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.05.2019
Erteilt am 11.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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11.10.2023
Verfahren zur Korrektur eines Reflektiven Optischen Elements für den Wellenlängenbereich von 5 Nm Bis 20 Nm
Optik & Fototechnik
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11.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines durch wenigstens einen Lithographieschritt Strukturierten Wafers
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.10.2016
Erteilt am 11.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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05.10.2023
Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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05.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Chemischen Bearbeitung einer Oberfläche
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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04.10.2023
Anordnung in einem Optischen System, insbesondere einem Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.08.2020
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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04.10.2023
Verfahren zum Detektieren von Partikeln an der Oberfläche eines Objekts, Wafer und Maskenblank
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2018
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen
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20.09.2023
Endpunktbestimmung mittels Kontrastgas
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2021
Anhängig
Vertretung
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06.09.2023
Ladungsteilchenstrahlsystem, Verfahren zum Betrieb eines Ladungsteilchenstrahlsystems, Verfahren zur Aufzeichnung mehrerer Bilder und Computerprogramme zur Ausführung der Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.09.2023
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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17.08.2023
Verfahren zur Untersuchung einer Halbleiterprobenschicht mittels Schicht und Untersuchungsvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2023
Anhängig
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16.08.2023
Adaptives Optisches Element für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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10.08.2023
Euv-Lithographiesystem mit einem Gasbindenden Bauteil
Optik & Fototechnik
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09.08.2023
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Sekundärgas und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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09.08.2023
Optische Komponente
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
Anhängig
Vertretung
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09.08.2023
Mikrospiegel-Array für eine Beleuchtungsoptische Komponente einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
Anhängig
Vertretung
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09.08.2023
Positionssensorvorrichtung und Verfahren zum Ermitteln einer Position Zumindest eines Spiegels einer Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.05.2016
Erteilt am 09.08.2023
Vertretung
HKW Intellectual Property PartG mbB · München
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02.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Klebeverbindung zwischen einem Ersten Bauteil und einem Zweiten Bauteil
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2020
Erteilt am 02.08.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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26.07.2023
Vorrichtung zur Analyse Und/oder Bearbeitung einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.07.2023
Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats mit einem Fokussierten Teilchenstrahl
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2012
Erteilt am 26.07.2023
Vertretung
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26.07.2023
Vorrichtung zur Analyse Und/oder Bearbeitung einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.07.2023
Optisches System und Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.07.2023
Partikelprüfsystem, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Prüfung einer Partikelbelastung einer Oberfläche
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2021
Erteilt am 19.07.2023
Vertretung
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12.07.2023
Verfahren zum Vermessen einer Sphärisch-Astigmatischen Optischen Fläche mit Fizeau Interferometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
Erteilt am 12.07.2023
Vertretung
Patentanwaltskanzlei WILHELM & BECK · München
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29.06.2023
3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhter Genauigkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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29.06.2023
Verfahren und Trocknungsvorrichtung
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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28.06.2023
Reflektierendes Optisches Element, Beleuchtungsoptik, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Bilden einer Schutzschicht
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11