Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.391 gesamt| Patent | |||
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03.04.2025
Messvorrichtung, Verfahren zum Betreiben der Messvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Method for producing an optical system for a lithography apparatus, substrate for an optical component of a lithography apparatus, and lithography apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Verbindungselement
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Stabilization of a repaired region of an object for lithography
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
High-resolution low-distortion imaging using charged-particle scanning microscope
Software & Datenverarbeitung
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03.04.2025
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Systems für eine Lithographievorrichtung, Substrat für eine Optische Komponente einer Lithographievorrichtung und Lithographievorrichtung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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02.04.2025
Optische Beleuchtungseinheit für Projektionslithografie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2015
Erteilt am 02.04.2025
Vertretung
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02.04.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas eines Beleuchtungssystems, Quellenmodul, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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27.03.2025
Ausleseschaltung für einen Kapazitiven Sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.09.2024
Anhängig
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27.03.2025
Method and device for mask repair
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2024
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27.03.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Position einer Leckage an einem Bauteil
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2024
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27.03.2025
Projection Exposure Apparatus Comprising an Element Comprising an Elastic Material
Optik & Fototechnik
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26.03.2025
Reflektives Optisches Element
Optik & Fototechnik
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20.03.2025
Method and device for correcting an imaging error of a particle beam during sample processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2024
Anhängig
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20.03.2025
Verfahren zur Befestigung einer Mems-Mikrospiegeleinheit und Mems-Mikrospiegeleinheit
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.09.2024
Anhängig
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20.03.2025
Support structure for an illumination optical unit of a projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.07.2024
Anhängig
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13.03.2025
Vibrationskorrektureinheit, Verfahren zum Betreiben einer Vibrationskorrektureinheit, Sensor und Lithographieanlage mit einem Sensor
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.09.2024
Anhängig
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13.03.2025
Method of operating a microlithographic projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.09.2024
Anhängig
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13.03.2025
Mems-Mikrospiegeleinheit und dessen Herstellung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.08.2024
Anhängig
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13.03.2025
Bearbeitung eines Optischen Elements für eine Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.07.2024
Anhängig
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13.03.2025
Messanordnung zur Bestimmung der Position eines Beweglichen Bauteils
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.03.2025
Vibrationskorrektureinheit, Verfahren zum Betreiben einer Vibrationskorrektureinheit, Sensor und Lithographieanlage mit einem Sensor
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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13.03.2025
Messanordnung zur Bestimmung der Position eines Beweglichen Bauteils
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Status
Angemeldet am 30.08.2024
Anhängig
Vertretung
Zeuner & Summerer · München
Zeuner Summerer Stütz · München
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12.03.2025
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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06.03.2025
Lithographiesystem mit einer Messeinrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2024
Anhängig
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05.03.2025
Verfahren zur Messung einer Beleuchtungswinkelverteilung auf einem Objektfeld sowie Beleuchtungsoptik mit einer dafür Vorgesehenen Beleuchtungskanalzuweisung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.04.2023
Anhängig
Vertretung
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05.03.2025
Optisches Bauteil für eine Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Vertretung
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27.02.2025
Optisches System für die Mikrolithographie und Sensoradapter
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2024
Anhängig
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27.02.2025
Verfahren zum Überarbeiten eines Optischen Elements, sowie Optisches Element und Optisches System
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.08.2024
Anhängig
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27.02.2025
Befestigungs-Einrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.08.2024
Anhängig
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27.02.2025
Verfahren zur Reduzierung der Auswirkungen von Parasitären Kräften Und/oder Momenten auf die Abbildungsqualität einer Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage mit einem Modul
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.08.2024
Anhängig
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13.02.2025
Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.07.2024
Anhängig
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13.02.2025
Baugruppe für die Halbleitertechnik und Vorrichtung für die Halbleitertechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.07.2024
Anhängig
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13.02.2025
Neigungsmessung in Partikelmikroskopsystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.02.2025
Method and system of determining field-dependent aberrations
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.07.2024
Anhängig
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13.02.2025
Method for optical calibration
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.06.2024
Anhängig
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06.02.2025
Drive device, optical system and lithography apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.07.2024
Anhängig
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06.02.2025
Verfahren zur Messung von Halbleiterstrukturen aus einem Einzelnen Keilschnitt eines Inspektionsvolumens
Software & Datenverarbeitung
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06.02.2025
Verfahren zur Messung von Halbleiterstrukturen aus einem Einzelnen Keilschnitt eines Inspektionsvolumens
Software & Datenverarbeitung
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05.02.2025
Computerimplementiertes Verfahren zur Erkennung von Anomalien in einem Abbildungsdatensatz eines Wafers und Systeme mit Verwendung Solcher Verfahren
Software & Datenverarbeitung
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13