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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

399 gesamt
Patent
19.03.2014
Tröpfchengenerator mit durch ein Stellglied Aktivierter Düsenreinigung
EP2707099
Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.03.2014
System und Verfahren zur Steuerung der Gaskonzentration in einem Zweikammer-Gasentladungslasersystem
EP2702651
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Intracavity loss element for power amplifier
WO2014022160
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2014
System und Verfahren zur Kompensation von Wärmeeffekten in einer Euv-Lichtquelle
EP2692213
Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2014
Antriebslaser-Ausgabesysteme für Euv-Lichtquellen
EP2686649
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
08.01.2014
Systeme und Verfahren zur Optikreinigung in einer Euv-Lichtquelle
EP2681164
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
06.11.2013
Mehrflutige Optische Vorrichtung
EP2659297
Optik & Fototechnik
31.10.2013
Active Spectral Control During Spectrum Synthesis
WO2013162850
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.08.2013
Oszillator-Verstärker-Antriebslaser mit Samenschutz für eine Euv-Lichtquelle
EP2630704
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2013
Steuerung der Parameter des Ausgangslichtstrahls eines Gasentladungslasers
EP1867014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2013
Hochleistungs-Excimer-Laser mit Impulsstrecker
EP2036170
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.07.2013
System and method for extending gas life in a two chamber gas discharge laser system
WO2013101374
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2013
Filter for material supply apparatus
WO2013095858
Verfahrens- & Trenntechnik
29.05.2013
Ausrichtung eines Lichtquellenfokus
EP2595702
Medizintechnik & Gesundheit
29.05.2013
Verfahren und Vorrichtung zur Euv-Lichtquellen-Zielmaterial-Handhabung
EP1854121
Elektronik & Schaltungstechnik
22.05.2013
System zur Regelung eines Gasstroms zwischen Kammern eines Euv-Photolithografiegeräts
EP2181449
Optik & Fototechnik
01.05.2013
Master-Oszillator-Leistungsverstärker-Laser mit Vorimpuls für Euv-Lichtquellen
EP2586107
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2013
Kammer für eine Hochenergie-Excimer-Laserquelle
EP2036169
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2013
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Bandbreite eines Optischen Spektrums, das aus einem Hochleistungslaser mit Sehr Kleiner Wellenlänge und Sehr Schmaler Bandbreite Ausgegeben Wird
EP1649243
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.03.2013
Wellenlängenmessgerät mit Verbesserter Beleuchtung für U.v. Gasentladungslaser
EP1521942
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2013
Handhabung der Ablagerungen eines Euv-Kollektors
EP1807866
Verfahrens- & Trenntechnik
13.02.2013
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Lichtbandbreite
EP2556569
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2013
Systeme und Verfahren für den Schutz einer Zielmaterialausgabe in einer Laserproduzierten Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2556514
Elektrische Energietechnik
21.11.2012
Verbesserte Bandbreitenschätzung
EP1658516
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.11.2012
Gasentladungslasersystem mit 6 Khz und Mehr
EP1867015
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.10.2012
Euv-Lichtquelle
EP1730763
Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Elektrischen Verbindung von in Relativer Nähe Positionierten Hochspannungsmodulen
EP1636877
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2012
Langlebige Elektroden Fur Gasentladungslaser
EP1297594
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2012
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP1851520
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2012
Lpp-Euv-Lichtquellen-Ansteuerungslasersystem
EP1907804
Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2012
Euv-Lichtquellencollector-Lebensdauer-Verbesserungen
EP1899697
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.04.2012
System und Verfahren zur Formung von Laserlicht als Homogenen Linienstrahl zur Wechselwirkung mit einem auf einem Substrat Abgelagerten Film
EP1952105
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
01.02.2012
Regenerativer Ringresonator
EP2412067
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2011
Systems and methods for cooling an optic
WO2011130327
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2011
Systeme zum Schutz Innerer Bauteile einer Euv-Lichtquelle vor Plasmaerzeugten Ablagerungen
EP1853882
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.10.2011
Extreme Ultraviolet Light Source
WO2011126947
Elektronik & Schaltungstechnik
24.08.2011
Laserwellenlängensteuereinheit mit Piezoelektrischem Treiber
EP1310022
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2011
Optisch Verbesserte Ultrahochleistungslaserkammer
EP2351167
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2011
Verfahren und Vorrichtung zur Lasersteuerung bei einem Zweikammern-Gasentladungslaser
EP2351170
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2011
Beam transport system for extreme ultraviolet light source
WO2011075346
Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
258
Optik & Fototechnik
143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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