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Entegris Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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899 gesamt
Patent
11.01.2012
Lithographischer Projektionsapparat, Gasspülverfahren, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und Spülgasversorgungssystem
EP1649325
Optik & Fototechnik
15.12.2011
Magnetic filter and impurity-collection method using same
WO2011155431
Verfahrens- & Trenntechnik
07.12.2011
In-Situ-Reinigungsformulierungen für Lithografische Werkzeuge
EP2391700
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
01.12.2011
High Surface Resistivity Electrostatic Chuck
WO2011149918
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
24.11.2011
Controlled vaporization system and method for surface priming in semiconductor manufacturing
WO2011146432
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2011
System und Verfahren für Flüssigkeitsfiltrierung mit vermindertem Stauvolumen
EP2386340
Verfahrens- & Trenntechnik
10.11.2011
Electron source modification of microporous halocarbon filter membranes
WO2011139656
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
27.10.2011
Coated graphite article and reactive ion etch manufacturing and refurbishment of graphite article
WO2011133417
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2011
Verfahren und Vorrichtung zur Ausgabe von Fluiden
EP2188190
Verpackungs- & Fördertechnik
09.09.2011
Solar Cell Process Carrier
WO2011109535
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.09.2011
Substrate Transport Carrier
WO2011109537
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2011
E/a-Systeme, Verfahren und Einrichtungen zur Anschaltung einer Pumpensteuerung
EP1958039
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Steuerungs- & Regelungstechnik
25.08.2011
Post-Cmp Cleaning Brush
WO2011103538
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2011
Hydridgasreinigung zur Anwendung in der Halbleiterindustrie
EP1648592
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
16.06.2011
Porous Barrier For Evenly Distributed Purge Gas in A Microenvironment
WO2011072260
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2011
Universal Disk Shipper
WO2011063118
Verpackungs- & Fördertechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
19.05.2011
Sweep-Out Assembly
WO2011060289
Anorganische Chemie & Werkstoffe
23.03.2011
Mehrlagige Poröse Membran und Herstellungsverfahren
EP1833597
Verfahrens- & Trenntechnik
02.03.2011
Mischungen mit Niedrigem Ph zur Entfernung von Hochdichtem Implantierem Resist
EP2288965
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2011
Austauschvorrichtung mit Vergossenen Hohlfasern und dessen Verwendung
EP1706699
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
19.01.2011
Rohrförmiger Wärme- oder Staoffaustauschapparat
EP2275766
Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
05.01.2011
Filter mit Säurepolymeren und Physikalischer Adsorptionsmittel
EP2269710
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
05.01.2011
Unselektives Oxidätz-Nassreinigungsmittel und Verwendung
EP2268765
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Filtrationsmodul
EP1490158
Verfahrens- & Trenntechnik
23.12.2010
Filter Pleat Structure
WO2010146462
Verfahrens- & Trenntechnik
22.09.2010
Herstellungsverfahren für Blasgeformte Auskleidung für Umverpackungsbehälter
EP2229272
Kunststoff- & Polymertechnik
25.08.2010
Filtereinheit und Filterkartusche
EP2221094
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
04.08.2010
Dichtungskupplungen ohne O-Ringe
EP2212606
Maschinenelemente & Fluidtechnik
28.07.2010
Lithografische Projektionsvorrichtung und Gasspülverfahren
EP2211233
Optik & Fototechnik
02.06.2010
Spülgasbefeuchtungsverfahren und Lithographischer Projektionsapparat
EP1646915
Optik & Fototechnik
14.04.2010
Komponente für Solar-Adsorptionskälteanlage und Verfahren zur Herstellung Solch einer Komponente
EP2174076
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
24.02.2010
Artikel mit Benetzbaren Strukturierten Oberflächen
EP2156494
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2009
Gasification systems and methods for making bubble free solutions of gas in liquid
WO2009143056
Verfahrens- & Trenntechnik
25.11.2009
Reinigungssystem für einen Substratbehälter
EP2122014
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.10.2009
Reinigen eines Wafer-Überführungsbehälters
EP1719153
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2009
Flüssigreiniger zur Entfernung von Post-Etch-Residues
EP2108039
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
25.06.2009
Methods and apparatuses for controlling contamination of substrates
WO2009079636
Verpackungs- & Fördertechnik
22.05.2009
System and method for blending, monitoring and dispensing chemical mixtures
WO2009064878
Verfahrens- & Trenntechnik
07.05.2009
Integral Face Seal
WO2009059326
Maschinenelemente & Fluidtechnik
08.04.2009
Vorrichtung und Verfahren zum Aufbereiten eines Immersionsfluids
EP2044488
Optik & Fototechnik

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Anorganische Chemie & Werkstoffe
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67
Optik & Fototechnik
64
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
59
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51
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33

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