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Entegris Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.106 gesamt
Patent
06.05.2016
Solid source vapor delivery package and method
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
06.05.2016
Non-amine post-cmp compositions and method of use
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2016
Ion implanter comprising integrated ventilation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2016
Niedrigprofilfilter für Oberfächenmontage
Verfahrens- & Trenntechnik
30.03.2016
Angereicherte Siliciumvorläuferzusammensetzungen sowie Vorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2016
Zusammensetzungen und Verfahren zur Entfernung von Ceroxidteilchen von einer Oberfläche
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2016
Cobalt deposition selectivity on copper and dielectrics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2016
Phosphorus Or Arsenic Ion Implantation Utilizing Enhanced Source Techniques
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2016
Kupferreinigungs- und -Schutzformulierungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2016
Ionenimplantationszusammensetzungen, Systeme und Verfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2016
Aqueous and semi-aqueous cleaners for the removal of post-etch residues with tungsten and cobalt compatibility
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2016
Zusammensetzung und Prozess zur Nach-Ätz-Entfernung von Fotoresist Und/oder Opfer-Antireflexmaterial, das auf einem Substrat Abgelagert Ist
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
17.12.2015
Adsorbent-based pressure stabilzation of pressure-regulated fluid storage and dispensing vessels
Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
10.12.2015
Anti-reflective coating cleaning and post-etch residue removal composition having metal, dielectric and nitride compatibility
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Enhanced capacity fluid storage transport, and dispensing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Thermal management of fluid storage and dispensing vessels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2015
System zur Spülung einer Retikelablage
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2015
Solid Vaporizer
Metallurgie & Oberflächentechnik
28.10.2015
Verfahren zur Implantation von Boron mit Isotopisch Angereicherten Boronhaltigen Verbindungen
Anorganische Chemie & Werkstoffe
22.10.2015
High Purity Gas Purifier
Verfahrens- & Trenntechnik
21.10.2015
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung des Betriebs einer Pumpe auf der Basis von Filterinformationen eines Filterinformationsetiketts
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
15.10.2015
Cobalt Cvd
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2015
Thermally Cross-Linked Poly(amide-Imide) Filter Membrane
Verfahrens- & Trenntechnik
08.10.2015
Heated Electrostatic Chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2015
Chemical mechanical planarization pad conditioner with elongated cutting edges
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2015
Steuerung einer Mischkonzentration
Verfahrens- & Trenntechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
23.09.2015
Isotopisch Angereicherte Boronhaltige Verbindungen sowie Verfahren zu Ihrer Herstellung und Verwendung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
16.09.2015
Luftabgabe-Filtervorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
27.08.2015
Nodule ratios for targeted enhanced cleaning performance
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2015
Cobalt Precursors
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2015
Connection system and method
Maschinenelemente & Fluidtechnik
13.08.2015
Non-amine post-cmp compositions and method of use
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2015
Reinigungssystem
Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
12.08.2015
Verbindungssystem und Verfahren
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
06.08.2015
Diffusion Resistant Electrostatic Clamp
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.07.2015
Vorrichtung zur Verhinderung von Mikroteilchen und von Staubmigration bei Geschichteten Bettreinigungsvorrichtungen
Verfahrens- & Trenntechnik
09.07.2015
Formulations to selectively etch silicon and germanium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2015
A low energy seal for a substrate carrier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2015
Cyclopentadienyl titanium alkoxides with ozone activated ligands for ald of tio2
Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik
25.06.2015
Ni:nige:ge selective etch formulations and method of using same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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