KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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05.05.2022
Reflective compact lens for magneto-optic kerr effect metrology system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.10.2021
Anhängig
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04.05.2022
Verwendung von Reflexions- und Übertragungskarten zur Detektion von Retikelabbau
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.03.2013
Erteilt am 04.05.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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21.04.2022
Surface profile measurements of highly warped samples
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2020
Anhängig
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20.04.2022
Umdrehvorrichtung, -System und -Verfahren zur Verarbeitung von Artikeln
Verpackungs- & Fördertechnik
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20.04.2022
Metrologisches Ziel für die Abtastmetrologie
Optik & Fototechnik
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20.04.2022
Euv-In-Situ-Linearitätskalibrierung für Tdi-Bildsensoren unter Verwendung von Testphotomasken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.04.2022
Mehrstufige Mehrzonen-Substratpositionierungssysteme
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.04.2022
Electron source with magnetic suppressor electrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.09.2021
Anhängig
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14.04.2022
Dynamic control of machine learning based measurement recipe optimization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 23.09.2021
Anhängig
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06.04.2022
Wafer und Losbasiertes Hierarchisches Verfahren zur Kombination von Angepassten Metriken mit einer Globalen Klassifizierungsmethodologie zur Überwachung eines Prozesswerkzeugzustands bei Extrem Hohem Durchsatz
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.02.2015
Erteilt am 06.04.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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31.03.2022
Large-particle monitoring with laser power control for defect inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.09.2021
Anhängig
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30.03.2022
Wellenfrontaberrationsmessung von Extrem-Ultraviolettmaskenprüfsystemen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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30.03.2022
Bestimmung einer oder mehrerer Eigenschaften von Licht in einem Optischen System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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23.03.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Vorhersage der Druckbarkeit von Fehlern auf Waferebene
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 05.08.2016
Erteilt am 23.03.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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23.03.2022
Verfahren zur Messung von Fehlregistrierungen bei der Herstellung von Halbleiterwafern
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.03.2022
Binning-enhanced defect detection method for three-dimensional wafer structures
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.08.2021
Anhängig
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09.03.2022
Extraktorelektrode für Elektronenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.03.2022
Erzeugung Simulierter Bilder aus Eingegebenen Bildern für Halbleiteranwendungen
Software & Datenverarbeitung
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03.03.2022
Setting up inspection of a specimen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 25.08.2021
Anhängig
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03.03.2022
Programmable and reconfigurable mask with mems micro-mirror array for defect detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.08.2021
Anhängig
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24.02.2022
Scanning electron microscope image anchoring to design for array
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.08.2021
Anhängig
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23.02.2022
Wasserstoff-Passivierung Nichtlinearer Optischer Kristalle
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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17.02.2022
Optical image contrast metric for optical target search
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.07.2021
Anhängig
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16.02.2022
Optische Etendue-Abgleichsverfahren für Extreme Uv-Messtechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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09.02.2022
Mehrschichtiges Moiré-Ziel
Optik & Fototechnik
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09.02.2022
Verfahren zur Messung und Korrektur von Fehlregistrierungen zwischen Schichten in einem Halbleiterbauelement und Fehlregistrierungsziele dafür
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.02.2022
Adaptive focusing system for a scanning metrology tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2020
Anhängig
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26.01.2022
Verfahren zur Messung der Fehlregistrierung von Halbleitervorrichtungen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.01.2022
Verfahren und System zur Optischen Dreidimensionalen Topographiemessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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19.01.2022
Beleuchtungsquelle mit Hoher Helligkeit für Optische Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.01.2022
Verwendung von Absoluten Z-Höhenwerten zur Synergie zwischen Werkzeugen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.01.2022
Verbesserte Selbstmorierte Gitterkonstruktion zur Verwendung in der Metrologie
Optik & Fototechnik
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19.01.2022
Mehrdimensionales Modell einer Optischen Dispersion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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19.01.2022
Sammeln und Recycling Seltener Gase in einer Halbleiterverarbeitungsanlage
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.01.2022
System und Verfahren zur Messung der Fehlregistrierung von Halbleiterbauelementewafern mit Nutzung von Induzierter Topografie
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.01.2022
Aktivierung von Waferpartikeldefekten zur Spektroskopischen Analyse von Zusammensetzungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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05.01.2022
Aufschlüsselungsanalyse von Geometrieinduzierter Überlagerung und Verwendung einer Aufschlüsselungsanalyse zur Verbesserten Überlagerungssteuerung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.09.2015
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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05.01.2022
Ringlichtbeleuchter und Strahlenformer für den Ringlichtbeleuchter
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.04.2011
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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30.12.2021
Wavelet system and method for ameliorating misregistration and asymmetry of semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.09.2020
Anhängig
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30.12.2021
Enabling Scanning Electron Microscope Imaging While Preventing Sample Damage On Sensitive Layers Used in Semiconductor Manufacturing Processes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.06.2021
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7