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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
22.05.2020
Multi-sensor tiled camera with flexible electronics for wafer inspection
WO2020102612
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
22.05.2020
Radial polarizer for particle detection
WO2020102266
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.05.2020
Helle und Saubere Röntgenquelle für Röntgenbasierte Metrologie
EP3653024
Elektronik & Schaltungstechnik
20.05.2020
Partikelsuspensionen als Kontrastarme Standards zur Untersuchung von Flüssigkeiten
EP3019850
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.05.2020
Bekämpfung von Molekularer Atmosphärischer Kontamination mit Lokaler Reinigung
EP2729760
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.05.2020
Ultra-high sensitivity hybrid inspection with full wafer coverage capability
WO2020097137
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
System and method for determining type and size of defects on blank reticles
WO2020092856
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
07.05.2020
Shape-distortion standards for calibrating measurement tools for nominally flat objects
WO2020092280
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2020
Verfahren und Anordnung zur Positionierung von Elektronischen Vorrichtungen aus Fächern eines Eingabemediums und in ein Ausgabemedium
EP2589278
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.04.2020
Algorithm selector based on image frames
WO2020087004
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Scanning Differential Interference Contrast in an Imaging System Design
WO2020086920
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2020
Lasergestützte Plasmalichtquelle mit Abgestuften Absorptionseigenschaften
EP3357081
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.04.2020
Messung mehrerer Strukturierungsparameter
EP3087594
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Defect-location determination using correction loop for pixel alignment
WO2020081476
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Removable opaque coating for accurate optical topography measurements on top surfaces of transparent films
WO2020081882
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Design and noise based care areas
WO2020081748
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
22.04.2020
Apparat zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht und Inspektionssystem Denselben enthaltend
EP3025565
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.04.2020
Electron gun and electron microscope
WO2020076528
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2020
Hybrides Überlagerungszieldesign für Abbildungsbasierte Überlagerung und Scatterometrie-Basierte Überlagerung
EP3635488
Optik & Fototechnik
15.04.2020
Spektralfilter für Hochleistungsfaserbeleuchtungsquellen
EP3635453
Optik & Fototechnik
15.04.2020
Hybrides Inspektionssystem zur Effizienten Prozessfenstererkennung
EP3635773
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2020
Kalibrierung einer Objektivlinse eines Rasterelektronenmikroskops
EP3635468
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2020
Waferinspektion
EP2732272
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Dispositioning Defects Detected On Extreme Ultraviolet Photomasks
WO2020061241
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
System and method for characterization of buried defects
WO2020061125
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Detecting Defects in A Logic Region On A Wafer
WO2020061120
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Metal Encapsulated Photocathode Electron Emitter
WO2020060954
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Light attenuation device for high power uv inspection tool
WO2020055771
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2020
Verfahren und Systeme zur Charakterisierung eines Röntgenstrahls mit Hoher Räumlicher Auflösung
EP3622276
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2020
Multi-wavelength interferometry for defect classification
WO2020051046
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.03.2020
Process temperature measurement device fabrication techniques and methods of calibration and data interpolation of the same
WO2020051388
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2020
Vorrichtung zum Messen von Prozessbedingungen und Verfahren zum Messen von Prozessbedingungen in einem für die Verarbeitung von Produktionswerkstücken Konfigurierten Werkzeug
EP2671246
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2020
Hocheffiziente Lasergestützte Plasmalichtquelle
EP3311454
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.02.2020
Plasma source with lamp house correction
WO2020028208
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2020
Messung der Form- und Dickeschwankung eines Wafers mit Hohen Steigungen
EP2286180
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.01.2020
Phase revealing optical and x-ray semiconductor metrology
WO2020023810
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2020
Multimode Defect Classification in Semiconductor Inspection
WO2020018856
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.01.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Phase und Amplitude von Licht durch eine Schicht
EP3593209
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2020
Metrologiesysteme und -Verfahren
EP2474027
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.01.2020
Systeme und Verfahren zur Metrologie mit Schichtspezifischen Beleuchtungsspektren
EP3593377
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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