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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
12.10.2006
Film-forming apparatus, film-forming method and recording medium
WO2006107030
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2006
Method and system for forming a high-k dielectric layer
WO2006107417
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2006
Wafer curvature estimation, monitoring, and compensation
WO2006107523
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2006
Method and system for refurbishing a metal carbonyl precursor
WO2006104783
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.10.2006
Method and system for precursor delivery
WO2006104794
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.10.2006
A plasma enhanced atomic layer deposition system and method
WO2006104921
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.10.2006
Method and system for depositing a layer from light-induced vaporization of a solid precursor
WO2006104626
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.10.2006
Low-temperature chemical vapor deposition of low-resistivity ruthenium layers
WO2006104853
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2006
Entwicklungseinrichtung und Entwicklungsverfahren
EP1708252
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2006
Substrate processing method and recording medium
WO2006100862
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2006
A deposition system and method
WO2006101619
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2006
Method for forming a ruthenium metal layer on a patterned substrate
WO2006101646
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2006
A plasma enhanced atomic layer deposition system and method
WO2006101886
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.09.2006
Treatment device, treatment device consumable parts management method, treatment system, and treatment system consumable parts management method
WO2006098081
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2006
Method of forming connection pin, probe, connection pin, probe card, and method of producing probe card
WO2006095759
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2006
Chuck Pedestal Shield
WO2006093578
31.08.2006
Stage apparatus and coating treatment device
WO2006090619
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2006
Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid
WO2006088560
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
24.08.2006
A method and system for improved delivery of a precursor vapor to a processing zone
WO2006088562
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.08.2006
Temperature setting method for heat treating plate, temperature setting device for heat treating plate, program and computer-readable recording medium recording program
WO2006087938
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Method for manufacturing capacitor, method for manufacturing semiconductor device and apparatus for manufacturing semiconductor device
WO2006085427
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Thin film laminate structure, method for formation thereof, film formation apparatus, and storage medium
WO2006085447
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.08.2006
Method and apparatus for monolayer deposition
WO2006081020
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.08.2006
Method and apparatus for monolayer deposition (mld)
WO2006081023
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.08.2006
Verfahren zur Reinigung von Cvd-Einrichtungen und Reinigungsgerät dafür
EP1304731
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2006
Semiconductor device having micro structure, and fabrication method of the micro structure
WO2006077867
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.07.2006
Low-pressure removal of photoresist and etch residue
WO2006076085
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.07.2006
Vaporizer and processor
WO2006075709
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.07.2006
Plasma processing system and baffle assembly for use in plasma processing system
WO2006076253
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2006
Low-pressure removal of photoresist and etch residue
WO2006073622
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.07.2006
Substrate processing apparatus and substrate transferring method
WO2006070630
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2006
Method for nitriding tunnel oxide film, method for manufacturing non-volatile memory device, non-volatile memory device, control program and computer-readable recording medium
WO2006070685
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2006
Film-forming method and recording medium
WO2006067995
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2006
Heat treatment plate temperature setting method, heat treatment plate temperature setting apparatus, program, and computer readable recording medium wherein program is recorded
WO2006064697
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2006
Plasma processing apparatus
WO2006064898
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2006
Wärmebehandlungsanlage und Verfahren zu ihrer Reinigung
EP1167568
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2006
A solid precursor delivery system comprising replaceable stackable trays
WO2006057710
Metallurgie & Oberflächentechnik
01.06.2006
Substrate processing method and method for manufacturing semiconductor device
WO2006057236
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2006
Method for preparing solid precursor tray for use in solid precursor evaporation system
WO2006057711
Metallurgie & Oberflächentechnik
31.05.2006
Verfahren und Vorrichtung zur Vereinfachten Systemkonfiguration
EP1497701
Steuerungs- & Regelungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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