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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
22
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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444 gesamt
Patent
02.08.2006
Verfahren zur Reinigung von Cvd-Einrichtungen und Reinigungsgerät dafür
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2006
Sputtering system and film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2006
Method for producing magnetic multilayer film
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2006
Sputtering source, sputtering system, method for forming thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.06.2006
Coating apparatus, organic material thin film forming method and organic el panel manufacturing apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
15.06.2006
Transfer robot and transfer apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2006
Metallnanoteilchen und Herstellungsverfahren Dafür, Flüssige Dispersion von Metallnanoteilchen und Herstellungsverfahren Dafür, Dünne Metalllinie, Metallfilm und Herstellungsverfahren dafür
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
01.06.2006
Pirani Gauge
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.05.2006
Ion implantation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2006
Method of corrosion prevention
Medizintechnik & Gesundheit
18.05.2006
Organic layer forming method and organic layer forming apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
11.05.2006
Electrostatic chuck apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Method and apparatus for generating plasma, and method and apparatus for low-pressure magnetron sputtering using such method and apparatus for generating plasma
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.04.2006
Spacer forming method and spacer fabricating device
Optik & Fototechnik
06.04.2006
Method for forming copper wiring
Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik
15.03.2006
Verfahren zur Elektrodenbildung für eine Flachanzeige
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
09.03.2006
Film Forming Equipment
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.03.2006
Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device manufactured by such method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2006
Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device manufactured by such method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2006
Verfahren zur Herstellung eines Gassensors
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.01.2006
Substrate temperature measuring apparatus and processor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2006
Vacuum treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2006
Lochmaske, Gerät zur Bestrahlung mit geladenen Teilchen und entsprechende Methode
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2005
Magnetron sputtering method and magnetron sputtering system
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.11.2005
Organic el device and method for fabricating same
Elektronik & Schaltungstechnik
24.11.2005
Organic el device
Elektronik & Schaltungstechnik
24.11.2005
Display, and method for fabricating same
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2005
Organic material evaporation source and organic vapor deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
23.11.2005
Graphitnanofaser und deren Verwendung
Textiltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2005
Bauteil für Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zu Dessenreinigen
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2005
Field emission display and method for controlling same
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
03.11.2005
Thin-film transistor and production method therefor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2005
Method of forming barrier film and method of forming electrode film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2005
Film forming apparatus and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
06.10.2005
Unit layer posttreating catalytic chemical vapor deposition apparatus and method of film formation therewith
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2005
Vacuum deposition apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.09.2005
Alignment equipment and film forming equipment
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2005
Substrate transfer equipment and substrate transfer system provided with the substrate transfer equipment
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2005
Al composite material being crumbled with water, al film and al powder comprising the material and methods for preparation thereof, constitutional member for film-forming chamber method for recovering film-forming material
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
22.09.2005
Film-forming apparatus and firm-forming method thereof
Metallurgie & Oberflächentechnik

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