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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
26.09.2024
Projektionsobjektiv einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Heizen eines Euv-Spiegels
WO2024193887
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2024
Ansteuervorrichtung, Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren
WO2024194297
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
25.09.2024
Optisches System, Testvorrichtung, Lithographievorrichtung, Anordnung und Verfahren
EP4433876
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.09.2024
Adaptives Optisches Element mit Einführelement
WO2024188993
Optik & Fototechnik
19.09.2024
Messmodul zur Positionsbestimmung einer Komponente in einem Optischen System für die Mikrolithographie
WO2024188846
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.09.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Bauteils und Lithografiesystem
WO2024188648
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.09.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Heizen eines Spiegels, Anordnung aus einer Heizvorrichtung und einem Euv-Spiegel, Projektionsobjektiv einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2024183994
Optik & Fototechnik
12.09.2024
Verfahren und Systeme zum Ausgleich von Ladungen auf einer Oberfläche eines Objekts mit Integrierten Schaltungsmustern in einem Rasterelektronenmikroskop
WO2024184078
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Probenvorbereitung zur Bildgebung mit Geladenem Teilchenstrahl
WO2024184398
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Adaptives Optisches Modul für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2024184207
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.09.2024
Optical assembly, optical system and projection exposure apparatus
WO2024179896
Optik & Fototechnik
06.09.2024
Verfahren zum Ausrichten von Zwei Bauteilen und Verfahren zum Ansprengen von Zwei Bauteilen
WO2024179918
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2024
Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage
WO2024179820
Optik & Fototechnik
06.09.2024
Verfahren zur Interferometrischen Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings
WO2024179763
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.09.2024
Optische Module für den Ultravioletten Wellenlängenbereich
WO2024179928
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
06.09.2024
Creating an Electric Field When Processing A Lithography Object
WO2024180028
Optik & Fototechnik
04.09.2024
Hochauflösungs-Elektronenmikroskop mit Niedriger Energie zur Bereitstellung von Topographieinformationen und Verfahren zur Maskeninspektion
EP4423791
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2024
3D-Volumeninspektionsverfahren und Verfahren zur Konfiguration eines 3D-Volumeninspektionsverfahrens
WO2024175376
Software & Datenverarbeitung
29.08.2024
Computer implemented method for the detection of defects in an object comprising integrated circuit patterns and corresponding computer program product, computer-readable medium and system making use of such methods
WO2024175307
Software & Datenverarbeitung
29.08.2024
Maskenmetrologische Messvorrichtung und Verfahren zum Untersuchen einer Fotomaske
WO2024175274
Optik & Fototechnik
22.08.2024
System mit einer Lithographieanlage und einer Anzahl von Elektronikmodulen und Verfahren zum Betreiben eines Systems
WO2024170251
Optik & Fototechnik
22.08.2024
Mechatronisches Element, Spiegel, Spiegelanordnung sowie Verfahren zu deren Herstellung
WO2024170221
Optik & Fototechnik
21.08.2024
Mehrfachspiegelanordnung
EP4416554
Optik & Fototechnik
21.08.2024
Optisches Abbildungssystem
EP4071535
Optik & Fototechnik
21.08.2024
Euv-Mehrspiegelanordnung
EP4416537
Optik & Fototechnik
15.08.2024
Optisches Element mit Polierschicht, Lithographieanlage aufweisend das Optische Element und Verfahren zum Herstellen des Optischen Elements
WO2024165318
Optik & Fototechnik
08.08.2024
Verfahren zur Herstellung eines Systems mit Zwei Baugruppen
WO2024160551
08.08.2024
Prüfsystem mit einer Vakuumisierbaren Prüfkammer
WO2024160993
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.08.2024
Optisches Bauelement
WO2024160546
Optik & Fototechnik
31.07.2024
Euv-Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer zum Betrieb im Euv Eingerichteten Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4405751
Optik & Fototechnik
25.07.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Kontaminationsreduzierung in einem Optischen System für die Mikrolithographie
WO2024153468
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Optik & Fototechnik
25.07.2024
Module for a projection exposure apparatus, method, and projection exposure apparatus
WO2024153656
Optik & Fototechnik
24.07.2024
Optisches Element mit Kühlkanälen und Optische Anordnung
EP4402539
Optik & Fototechnik
18.07.2024
Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Systems
WO2024149822
Optik & Fototechnik
18.07.2024
Optisches System und Lithographieanlage
WO2024149823
Optik & Fototechnik
10.07.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Photomaske auf einem um mindestens eine Achse Drehbaren Probentisch
EP4168859
Optik & Fototechnik
27.06.2024
Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage
WO2024132352
Optik & Fototechnik
27.06.2024
Method and device for mask inspection
WO2024132443
Optik & Fototechnik
27.06.2024
Optisches System und Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2024133262
Optik & Fototechnik
26.06.2024
Optisches System und Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP4388371
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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