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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
18.12.2025
Optomechanisches System für die Projektionslithographie
WO2025257238
Optik & Fototechnik
18.12.2025
Bauteil mit einer in einem Bauteilmaterial Ausgebildeten Hohlstruktur zum Führen von Fluiden
WO2025257271
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
18.12.2025
Achromatic Imaging Optics Unit
WO2025257115
Optik & Fototechnik
18.12.2025
Gas pressure measuring device for measuring a pressure of a process gas at a working site of an apparatus for particle beam-induced processing
WO2025256975
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.12.2025
Messvorrichtung, Lithographieanlage und Verfahren zum Kalibrieren einer Messvorrichtung
WO2025256988
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.12.2025
Optical Hollow Waveguide Component
WO2025256875
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
18.12.2025
Verfahren zum Elektronenstrahlbearbeiten einer Oberfläche, Optische Komponente, Anlage der Halbleitertechnologie und Fertigungsanlage
WO2025256867
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
18.12.2025
Anbauteil, Optisches Element und Anlage der Halbleitertechnologie
WO2025256823
Optik & Fototechnik
18.12.2025
An Extreme Ultraviolet Mirror With an Integrated Sensor
WO2025256814
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.12.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Strahlwinkelmessung eines von einer Strahlführungsoptik Geführten Lichtstrahls
EP3861401
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.12.2025
Method for installing an euv collector into an euv projection exposure apparatus or an assembly therefor, and euv collector for carrying out the method
WO2025252822
Optik & Fototechnik
11.12.2025
Reflective optical element for grazing incidence
WO2025252612
Optik & Fototechnik
11.12.2025
Verfahren zur Unterdrückung von Sensorinduzierten Störungen
WO2025252664
Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik
11.12.2025
Schwingungsentkoppelte Abstützung
WO2025252606
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2025
Computerimplementiertes Verfahren zur Erkennung von Defekten in einem Abbildungsdatensatz eines Objekts
EP4659191
Software & Datenverarbeitung
04.12.2025
Mikro-Elektro-Mechanisch Bewegbares Element und System
WO2025247726
Optik & Fototechnik
04.12.2025
Wärmeableitungsvorrichtung für die Halbleitertechnologie und Projektionsbelichtungsanlage, die die Wärmableitungsanordnung Umfasst
WO2025247668
Optik & Fototechnik
04.12.2025
Method for calibrating an optical measurement system and system adapted to implement the method
WO2025247607
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.12.2025
Mikrolithografisches Projektionsobjektiv
WO2025247534
Optik & Fototechnik
03.12.2025
Verfahren zum Herstellen einer Spiegelanordnung, sowie Beschichtungsanlage
EP4655428
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
03.12.2025
Verfahren zur Kalibrierung eines Optischen Messsystems und zur Implementierung des Verfahrens Angepasstes System
EP4657009
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.12.2025
Chromatisch Korrigierte Optische Abbildungseinheit zur Verwendung in einem Lithographischen Projektionsbelichtungsapparat
EP4655646
Optik & Fototechnik
03.12.2025
Verfahren und Vorrichtungen zum Berührungslosen Einstellen einer Elektrostatischen Ladung einer Probe
EP4655813
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Optical assembly, method for integrating optical assembly, and projection exposure apparatus
WO2025242638
Optik & Fototechnik
27.11.2025
Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, Adaptives Optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025242510
Elektrische Energietechnik
27.11.2025
Semiconductor sample with reduced preparation time
WO2025242376
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Improvements to lithographic methods and apparatus
WO2025242362
Optik & Fototechnik
27.11.2025
Method for calibrating illumination optics
WO2025242365
Optik & Fototechnik
26.11.2025
Verfahren zur Kalibrierung einer Beleuchtungsoptik
EP4653954
Optik & Fototechnik
20.11.2025
Architecture of charged particle beam system for inline-semiconductor applications
WO2025237883
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Anordnung umfassend ein Mikrolithografisches Projektionssystem und ein Wandelement zur Thermalen Abschirmung und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025237794
Optik & Fototechnik
20.11.2025
Calibration method for a particle imaging apparatus, and method for operating a calibrated particle imaging apparatus
WO2025237825
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Anordnung und Verfahren zur Kalibrierung eines Mems mit Mikrospiegeln
WO2025237743
Optik & Fototechnik
20.11.2025
Optisches Element, Optisches System und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Elements
WO2025237582
Optik & Fototechnik
19.11.2025
Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop
EP3602080
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.11.2025
Verfahren zur Herstellung eines Moduls für die Halbleiterlithographie und Modul für die Halbleiterlithographie
EP4650083
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
19.11.2025
Verfahren zur Herstellung eines Reflektiven Optischen Elements und Reflektives Optisches Element
EP3411735
Optik & Fototechnik
13.11.2025
Holding system for a charged particle microscope
WO2025233359
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Collector device, wafer inspection apparatus having a collector device
WO2025233082
Optik & Fototechnik
13.11.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Strahlbearbeitung einer Optischen Komponente
WO2025233098
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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