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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
12.11.2025
Verfahren zum Herstellen eines Spiegels
EP4647815
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.11.2025
Optisches System, Lithographieanlage, Verfahren zur Herstellung eines Optischen Systems
WO2025229021
Optik & Fototechnik
05.11.2025
Optische Beugungskomponente
EP4022365
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.11.2025
Verfahren zur Herstellung eines Spiegels für eine Lithographieanlage
EP4320484
Optik & Fototechnik
05.11.2025
Computerimplementiertes Verfahren, Computerlesbares Medium, Computerprogrammprodukt und Entsprechende Systeme zur Erzeugung von Luftbildern von Photolithographiemasken
EP4643184
Optik & Fototechnik
30.10.2025
Einsatz für eine Kammerwand einer Quellkammer einer Euv-Strahlungsquelle
WO2025224252
Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
Strahlführungseinsatz für eine Quellkammer einer Euv-Strahlungsquelle
WO2025224250
Optik & Fototechnik
30.10.2025
Insert for a source chamber of an euv radiation source
WO2025224254
Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
Method for highly accurately determining the location of a structure, apparatus for carrying out the method and metrology system for measuring lithography masks
WO2025224253
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.10.2025
Insert for a chamber wall of a source chamber of an euv radiation source
WO2025224256
Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
Insert For an Outer Insert For an Euv Radiation Source
WO2025224255
Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
Measurement apparatus for determining the position of a component
WO2025223999
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.10.2025
Inspection apparatus for 3D tomography with improved stand-still performance
WO2025223848
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Method for operating a mask inspection device, euv camera, mask inspection device and computer program product
WO2025223782
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.10.2025
Projection exposure method, projection lens and microlithographic projection exposure apparatus
WO2025223738
Optik & Fototechnik
30.10.2025
Microlithographic projection exposure method and projection exposure apparatus
WO2025223736
Optik & Fototechnik
29.10.2025
Euv-Kollektor
EP4639285
Optik & Fototechnik
29.10.2025
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
EP4151880
Maschinenelemente & Fluidtechnik
23.10.2025
Messvorrichtung zur Frequenzbasierten Positionsbestimmung einer Bewegbaren Komponente
WO2025219117
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.10.2025
Device for capturing images of micro- and/or nanostructures
WO2025219305
Optik & Fototechnik
23.10.2025
Verfahren zum Korrigieren eines Reflektiven Optischen Elements für Streifenden Einfall und Verfahren zum Korrigieren eines Optischen Systems
WO2025219293
Optik & Fototechnik
23.10.2025
Befestigungsvorrichtung für eine Lithographieanlage und Lithographieanlage mit einer Derartigen Befestigungsvorrichtung
WO2025219167
Optik & Fototechnik
23.10.2025
Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage
WO2025219175
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
23.10.2025
Device and method for analysing and/or processing a sample with a particle beam
WO2025219220
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2025
Imaging optical unit for projection lithography
WO2025219057
Optik & Fototechnik
22.10.2025
Verfahren zur Herstellung eines Spiegels einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4634723
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
16.10.2025
Energy detection assembly for an illumination system of a mask inspection system for use with euv illumination light
WO2025214717
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.10.2025
Method for analysing and/or processing a lithography mask and repair system
WO2025214749
Optik & Fototechnik
16.10.2025
Method and apparatus for generating a photonic element by simultaneously using two laser direct writing beams
WO2025215168
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
16.10.2025
Energy detection assembly for an illumination system of a mask inspection system for use with euv illumination light
WO2025215104
Optik & Fototechnik
15.10.2025
Beleuchtungssystem für die Euv-Projektionslithographie
EP3467590
Optik & Fototechnik
15.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen mindestens einer Hohlstruktur, Spiegel, Euv-Lithographiesystem, Fluidzuführungsvorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines Fluids
EP4448213
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
15.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Photonischen Elements durch Gleichzeitige Verwendung Zweier Laser-Direktschreibstrahlen
EP4632452
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
15.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Photomaske auf einem um mindestens eine Achse Drehbaren Probentisch
EP4390538
Optik & Fototechnik
15.10.2025
Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographievorrichtung
EP4140031
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
09.10.2025
Apparatus, holding device, arrangement, system and method for holding an optical element; lithograpy system
WO2025209839
Optik & Fototechnik
09.10.2025
Method for improving an imaging quality of an arrangement of optical elements, and corresponding arrangement of optical elements
WO2025209746
Optik & Fototechnik
09.10.2025
Method of wavefront correction in a semiconductor technology apparatus
WO2025209943
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.10.2025
Verfahren und Entsprechende Systeme zur Vorhersage von Defekten in Wafern und zur Offline-Qualifikation von Waferlosen Prozessfenstern
EP4628988
Optik & Fototechnik
01.10.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Beleuchtungssystems einer Projektionsbelichtungsanlage, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage
EP4625047
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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