Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.949 gesamt| Patent | |||
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30.04.2025
Verfahren zum Herstellen eines Spiegels für eine Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.02.2016
Erteilt am 30.04.2025
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30.04.2025
Pupillenfacettenspiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.08.2021
Erteilt am 30.04.2025
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30.04.2025
Verfahren zur Behandlung eines Defekts einer Mikrolithographischen Photomaske
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.10.2024
Anhängig
Vertretung
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23.04.2025
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, Mikrolithographische Maske und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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23.04.2025
Bildgebende Euv-Optik zum Abbilden eines Objektfeldes in ein Bildfeld
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.06.2023
Anhängig
Vertretung
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23.04.2025
Bildgebende Euv-Optik zum Abbilden eines Objektfeldes in ein Bildfeld
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2023
Anhängig
Vertretung
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23.04.2025
Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements sowie Optisches System
Optik & Fototechnik
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16.04.2025
Beleuchtungsoptik für ein Maskeninspektionssystem zur Verwendung mit Euv-Beleuchtungslicht
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.06.2023
Anhängig
Vertretung
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16.04.2025
Vorrichtung zur Detektion von Ionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2017
Erteilt am 16.04.2025
Vertretung
Norton, Ian Andrew · Burgess Hill
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen
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09.04.2025
Verfahren und Substrat zur Integration von Temperier-Hohlstrukturen in ein Substrat
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
Vertretung
Ostertag & Partner Patentanwälte mbB · Stuttgart
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09.04.2025
Verfahren zur Herstellung einer Temperierenden Hohlstruktur in einem Substrat unter Verwendung eines Bearbeitungslichtstrahls
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
Vertretung
Ostertag & Partner Patentanwälte mbB · Stuttgart
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03.04.2025
High-resolution low-distortion imaging using charged-particle scanning microscope
Software & Datenverarbeitung
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02.04.2025
Optische Beleuchtungseinheit für Projektionslithografie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2015
Erteilt am 02.04.2025
Vertretung
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02.04.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas eines Beleuchtungssystems, Quellenmodul, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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27.03.2025
Projection Exposure Apparatus Comprising an Element Comprising an Elastic Material
Optik & Fototechnik
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26.03.2025
Reflektives Optisches Element
Optik & Fototechnik
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13.03.2025
Messanordnung zur Bestimmung der Position eines Beweglichen Bauteils
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.03.2025
Messanordnung zur Bestimmung der Position eines Beweglichen Bauteils
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Status
Angemeldet am 30.08.2024
Anhängig
Vertretung
Zeuner & Summerer
Zeuner Summerer Stütz
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13.03.2025
Vibrationskorrektureinheit, Verfahren zum Betreiben einer Vibrationskorrektureinheit, Sensor und Lithographieanlage mit einem Sensor
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12.03.2025
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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05.03.2025
Verfahren zur Messung einer Beleuchtungswinkelverteilung auf einem Objektfeld sowie Beleuchtungsoptik mit einer dafür Vorgesehenen Beleuchtungskanalzuweisung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.04.2023
Anhängig
Vertretung
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05.03.2025
Optisches Bauteil für eine Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Vertretung
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13.02.2025
Neigungsmessung in Partikelmikroskopsystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.02.2025
Verfahren zur Messung von Halbleiterstrukturen aus einem Einzelnen Keilschnitt eines Inspektionsvolumens
Software & Datenverarbeitung
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06.02.2025
Verfahren zur Messung von Halbleiterstrukturen aus einem Einzelnen Keilschnitt eines Inspektionsvolumens
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05.02.2025
Computerimplementiertes Verfahren zur Erkennung von Anomalien in einem Abbildungsdatensatz eines Wafers und Systeme mit Verwendung Solcher Verfahren
Software & Datenverarbeitung
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30.01.2025
3D-Tomographie mit Reduzierten Driftfehlern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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30.01.2025
Optische Anordnung für eine Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung, Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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23.01.2025
Verfahren zur Gewinnung mindestens einer Messung mindestens einer Halbleiterstruktur in einem Wafer aus einem oder mehreren Keilschnitten und Entsprechendes System
Software & Datenverarbeitung
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23.01.2025
Optisches Bauelement, Verfahren zur Installation des Optischen Bauelements, Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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22.01.2025
Interferometrische Messvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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16.01.2025
Aktuierbare Spiegel-Baugruppe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.07.2024
Anhängig
Vertretung
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16.01.2025
Aktuierbare Spiegel-Baugruppe
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Status
Angemeldet am 04.07.2024
Anhängig
Vertretung
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09.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Thermisch zu Behandelnden Körpers
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09.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Thermisch zu Behandelnden Körpers
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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02.01.2025
Baugruppe in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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02.01.2025
Spiegelsystem, Verfahren zum Betreiben eines Spiegelsystems und Projektionslinse einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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02.01.2025
Optisches Modul und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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02.01.2025
Verbessertes Verfahren und Vorrichtung zur Ladungskompensation Während einer 3D-Tomographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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26.12.2024
Strukturbestimmung
Software & Datenverarbeitung
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11