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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
30.01.2025
Ansteuervorrichtung, Optisches System und Lithographieanlage
WO2025021992
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
30.01.2025
3D-Tomographie mit Reduzierten Driftfehlern
WO2025021642
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
30.01.2025
Optische Anordnung für eine Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung, Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2025021415
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Spiegelsystem, Verfahren zum Betreiben eines Spiegelsystems, Projektionsobjektiv für eine Mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage, Computerprogrammprodukt
WO2025016624
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Verfahren zur Gewinnung mindestens einer Messung mindestens einer Halbleiterstruktur in einem Wafer aus einem oder mehreren Keilschnitten und Entsprechendes System
WO2025016685
Software & Datenverarbeitung
23.01.2025
Optisches Bauelement, Verfahren zur Installation des Optischen Bauelements, Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2025016668
Optik & Fototechnik
22.01.2025
Interferometrische Messvorrichtung
EP4495538
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.01.2025
Aktuierbare Spiegel-Baugruppe
EP4743826
16.01.2025
Mems-Spiegelarray-Modul
WO2025012036
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Aktuierbare Spiegel-Baugruppe
WO2025012094
Optik & Fototechnik
09.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Thermisch zu Behandelnden Körpers
EP4739637
09.01.2025
Mirror assembly, illumination optical unit having a mirror assembly, illumination system having such an illumination optical unit and projection exposure apparatus having such an illumination system
WO2025008214
Optik & Fototechnik
09.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Thermischen Behandeln eines Thermisch zu Behandelnden Körpers
WO2025008137
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
02.01.2025
Modulares, Teilredundantes Wandlersystem mit Ausgangsseitig Seriell Verschalteten Dc/dc Wandlern
WO2025003321
Elektrische Energietechnik
02.01.2025
Optisches Modul und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025003236
Optik & Fototechnik
02.01.2025
Verbessertes Verfahren und Vorrichtung zur Ladungskompensation Während einer 3D-Tomographie
WO2025002791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.01.2025
Baugruppe in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2025002690
Optik & Fototechnik
02.01.2025
Projektionsobjektiv einer Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025003235
Optik & Fototechnik
02.01.2025
Verfahren zum Verringern von Aberrationen eines Optischen Elements, Optisches Element und Anlage der Halbleitertechnologie
WO2025002947
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.01.2025
Spiegelsystem, Verfahren zum Betreiben eines Spiegelsystems und Projektionslinse einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2025002739
Optik & Fototechnik
02.01.2025
Method for controlling an optical module, optical module and control circuit for an assembly of a projection exposure apparatus for semiconductor lithography
WO2025002743
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.01.2025
Optisches System und Lithographieanlage
WO2025002760
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
26.12.2024
Halterungseinrichtung, Optische Baugruppe und Optisches System
WO2024260800
Optik & Fototechnik
26.12.2024
Preventing Esd in Prt Sem Discharges
WO2024261260
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2024
Verfahren zum Betreiben eines Optischen Systems, sowie Optisches System
WO2024260594
Optik & Fototechnik
26.12.2024
Strukturbestimmung
WO2024260963
Software & Datenverarbeitung
26.12.2024
Halterungseinrichtung, Optische Baugruppe und Optisches System
EP4732057
Optik & Fototechnik
26.12.2024
Spiegelsystem, Mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage mit einem Spiegelsystem
WO2024260640
Optik & Fototechnik
25.12.2024
Vorrichtungen, Testkarten und Verfahren zum Testen von Photonischen Integrierten Schaltungen und Photonische Integrierte Schaltungen
EP4479755
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.12.2024
Verfahren zur Einarbeitung von Temperierhohlstrukturen in ein Substrat, insbesondere in ein Substrat für ein Optisches Element, Verfahren und Substrat zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element sowie Anlage der Halbleitertechnologie und Strukturiertes Elektronisches Bauelement
WO2024256201
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Probe auf einem Probenträger
EP4728325
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs, Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
EP4728328
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Komponente mit einer Hohlstruktur und Optische Anordnung
EP4728315
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren zur Einarbeitung von Temperierhohlstrukturen in ein Substrat, insbesondere in ein Substrat für ein Optisches Element für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage sowie Bearbeitungssystem Hierfür, Verfahren und Substrat zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element sowie Anlage der Halbleitertechnologie und Strukturiertes Elektronisches Bauteil
WO2024256202
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
19.12.2024
Komponente mit einer Hohlstruktur und Optische Anordnung
WO2024256402
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs, Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
WO2024256376
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren und Steuervorrichtung zum Herstellen eines Optischen Systems für eine Lithographieanlage
WO2024256039
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Probe auf einem Probenträger
WO2024256542
Optik & Fototechnik
19.12.2024
Lebensdauerstabilisierung Beschichteter Optiken mittels Elektronenstrahlheizen
WO2024256578
Anorganische Chemie & Werkstoffe
19.12.2024
Verfahren zum Herstellen eines Spiegelsubstrats eines Optischen Elements, Optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage
WO2024256356
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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