KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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27.03.2024
Überlagerungszieldesign für Verbesserte Zielplatzierungsgenauigkeit
Optik & Fototechnik
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27.03.2024
Wellenplatten zur Pupillenpolarisationsfilterung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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27.03.2024
Designgestützte Metrologie mit Grossem Sichtfeld
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.03.2024
Verbesserte Ziele für Diffraktionsbasierte Überlagerungsfehlermetrologie
Optik & Fototechnik
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20.03.2024
Unterdrückung von Laserglühmustern
Software & Datenverarbeitung
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20.03.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung einer Optischen Isolatoranordnung mit Austauschbarer Motoranordnung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.03.2024
Systeme und Verfahren zur Einrichtung eines Physikbasierten Modells
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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20.03.2024
Induzierte Verschiebungen für Verbesserte Überlagerungsfehlermetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.03.2024
Bandpass-Energiefilterdetektor für Geladene Teilchen für Werkzeuge mit Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.03.2024
Methods and systems for model-less, scatterometry based measurements of semiconductor structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.08.2023
Anhängig
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06.03.2024
Scatterometriemodellierung in Gegenwart Unerwünschter Beugungsordnungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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06.03.2024
Verbesserung der Prozesskompatibilität durch Füllfaktormodulation
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.02.2024
Deep learning model-based alignment for semiconductor applications
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.08.2023
Anhängig
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28.02.2024
Verfahren für Fehlererkennung in Werkstücken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2015
Erteilt am 28.02.2024
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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28.02.2024
Differentielle Höhenmessung mit Interstitieller Spiegelplatte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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28.02.2024
Abschirmungsstrategie zur Abschwächung eines Streufeldes für eine Permanentmagnetanordnung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.02.2024
Verfahren zur Bestimmung von Materialparametern einer Mehrschichtigen Testprobe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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28.02.2024
System und Verfahren zur Messung eines Halbleiterprofils auf Basis eines Abtastbedingungsmodells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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28.02.2024
Bandbreiteneinstellung zur Fernsteuerung eines Herstellungswerkzeugs
Steuerungs- & Regelungstechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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28.02.2024
Systeme und Verfahren zur Erzeugung mehrerer Elektronenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.02.2024
Methods and systems for x-ray scatterometry measurements employing a machine learning based electromagnetic response model
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.04.2023
Anhängig
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21.02.2024
System und Verfahren zur Abschwächung von Überlagerungsverzerrungsmustern, die durch ein Waferbondwerkzeug Verursacht Werden
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
Schnellwechselfutter mit Auswechselbarer Oberplatte zum Halten des Vakuums
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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21.02.2024
Vorrichtung mit einem Hochauflösenden Mehrfach-Elektronenstrahl
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
Überlagerungsmetrologie für Parallele Scatterometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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21.02.2024
Federmechanismus zur Selbstverriegelung und Zentrierung Während der Beladung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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21.02.2024
Lasergestützte Plasmalampen mit Abgestufter Hydroxylradikalkonzentration
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
Verfahren zur Borsäureanalyse und Prozesssteuerung von Metallisierungslösungen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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21.02.2024
System und Verfahren zur Optimierung durch Silizium durch Überlagerung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
System und Verfahren zur Erkennung von Partikelkontamination auf einem Verbindungswerkzeug
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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21.02.2024
Systeme und Verfahren für Halbleiterdefektgeführte Einbrenn- und Systemebenentests
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
Einrichtung von Pflegebereichen zur Inspektion einer Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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21.02.2024
System und Verfahren zur Z-Pat-Fehlergeführten Statistischen Ausreissererkennung von Halbleiterzuverlässigkeitsfehlern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
Detektionsunterstützte Zweistufige Phasenabwicklung auf Musterscheibengeometriemessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.02.2024
System und Verfahren zur Faserstandortkartierung in einem Mehrstrahlsystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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21.02.2024
Segmentierter Mehrkanaliger Rückseitenbeleuchteter Festkörperdetektor mit Durchgangsloch zur Erkennung von Sekundär- und Rückgestreuten Elektronen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.02.2024
Detecting Defects On Specimens
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.06.2023
Anhängig
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15.02.2024
Methods and systems for systematic error compensation across a fleet of metrology systems based on a trained error evaluation model
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 07.08.2023
Anhängig
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14.02.2024
Beleuchtungssystem, Prüfwerkzeug mit Beleuchtungssystem und Verfahren zum Betrieb eines Beleuchtungssystems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.10.2015
Erteilt am 14.02.2024
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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14.02.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Polarisierten Retikelinspektion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7