KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
1.908 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
17.07.2024
Vorrichtung, Verfahren und Computerprogrammprodukt für Fehlerbehebung Erkennung in Werkstücken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.07.2024
Pattern segmentation for nuisance suppression
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.07.2024
Chromatischer Konfokaler Flächensensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2024
System and method for estimating measurement uncertainty for characterization systems
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.12.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2024
Image-to-design alignment for images with color or other variations suitable for real time applications
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
Ringförmiger Apodisierer für Kleine Zielüberlagerungsmessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
System zur Automatischen Diagnose und Überwachung der Screening-Leistung von Halbleiterdefektchips durch Korrelation von Defekt- und Elektrischen Testdaten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
Referenzbildgruppierung in Überlagerungsmetrologie
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
Elektrochemische Analyse Metallischer Depolarisatoren in Goldelektroabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
System und Verfahren zum Gewichten von Defekten mit Kolokalisierten Modellierten Fehlern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.06.2024
Scanning-Scatterometrie-Overlay-Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.06.2024
Print Check Repeater Defect Detection
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
Abtastung von Überlagerungsmetrologie unter Verwendung von Überlagerungszielen mit mehreren Raumfrequenzen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
Kalibrierte Messung von Überlagerungsfehlern mit Kleinen Targets
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
Messung von Stitching-Fehlern mit Geteilten Targets
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
Permanentmagnetteilchenstrahlvorrichtung und Verfahren mit einem Nichtmagnetmetallteil zur Abstimmbarkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
Kombination von Fokussiertem Ionenstrahlfräsen und Rasterelektronenmikroskopbildgebung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.06.2024
System und Verfahren zur Isolierung einer Spezifischen Fourier-Pupillenfrequenz in der Überlagerungsmetrologie
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.05.2024
Protecting data sources from different entities for semiconductor yield related applications
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.05.2024
Single grab overlay measurement of tall targets
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.05.2024
Single-cell scatterometry overlay with sensitivity calibration
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.05.2024
System and method for enhancing defect detection in optical characterization systems using a digital filter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.05.2024
Multimode Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.05.2024
Methods and systems for monitoring metrology fleet productivity
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.05.2024
Gas flow configurations for semiconductor inspections
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.05.2024
Methods and systems for measurement of semiconductor structures based on derivative measurement signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.04.2024
Non-Reagent Chloride Analysis in Acid Copper Plating Baths
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.04.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Einspannen Gekrümmter Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.04.2024
Correcting Target Locations For Temperature in Semiconductor Applications
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.04.2024
Magnetically opposed, iron core linear motor based motion stages for semiconductor wafer positioning
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.04.2024
Systems and methods for generating a flat-top illumination beam based on interlacing, incoherently overlapping spots
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.10.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.04.2024
Pulse-Assisted Laser-Sustained Plasma in Flowing High-Presssure Liquids
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.04.2024
Frictionless design of high-pressure recirculation thermo-pump
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.04.2024
Calibration of parametric measurement models based on in-line wafer measurement data
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.03.2024
Water cooled, air bearing based rotating anode x-ray illumination source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.03.2024
High-resolution evaluation of optical metrology targets for process control
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Monolithischer Optischer Retarder
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Systeme und Verfahren zur Gleichförmigen Kühlung einer Elektromagnetischen Spule
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Verfahren und Systeme zur Datengesteuerten Parametrisierung und Messung von Halbleiterstrukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Wellenplatten zur Pupillenpolarisationsfilterung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil