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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
17.07.2024
Vorrichtung, Verfahren und Computerprogrammprodukt für Fehlerbehebung Erkennung in Werkstücken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.07.2024
Pattern segmentation for nuisance suppression
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
03.07.2024
Chromatischer Konfokaler Flächensensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.06.2024
System and method for estimating measurement uncertainty for characterization systems
Software & Datenverarbeitung
20.06.2024
Image-to-design alignment for images with color or other variations suitable for real time applications
Software & Datenverarbeitung
19.06.2024
Ringförmiger Apodisierer für Kleine Zielüberlagerungsmessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.06.2024
System zur Automatischen Diagnose und Überwachung der Screening-Leistung von Halbleiterdefektchips durch Korrelation von Defekt- und Elektrischen Testdaten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2024
Referenzbildgruppierung in Überlagerungsmetrologie
Optik & Fototechnik
19.06.2024
Elektrochemische Analyse Metallischer Depolarisatoren in Goldelektroabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.06.2024
System und Verfahren zum Gewichten von Defekten mit Kolokalisierten Modellierten Fehlern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2024
Scanning-Scatterometrie-Overlay-Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.06.2024
Print Check Repeater Defect Detection
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
05.06.2024
Abtastung von Überlagerungsmetrologie unter Verwendung von Überlagerungszielen mit mehreren Raumfrequenzen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.06.2024
Kalibrierte Messung von Überlagerungsfehlern mit Kleinen Targets
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2024
Messung von Stitching-Fehlern mit Geteilten Targets
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
05.06.2024
Permanentmagnetteilchenstrahlvorrichtung und Verfahren mit einem Nichtmagnetmetallteil zur Abstimmbarkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.06.2024
Kombination von Fokussiertem Ionenstrahlfräsen und Rasterelektronenmikroskopbildgebung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2024
System und Verfahren zur Isolierung einer Spezifischen Fourier-Pupillenfrequenz in der Überlagerungsmetrologie
Optik & Fototechnik
30.05.2024
Protecting data sources from different entities for semiconductor yield related applications
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2024
Single grab overlay measurement of tall targets
Optik & Fototechnik
23.05.2024
Single-cell scatterometry overlay with sensitivity calibration
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.05.2024
System and method for enhancing defect detection in optical characterization systems using a digital filter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
16.05.2024
Multimode Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
10.05.2024
Methods and systems for monitoring metrology fleet productivity
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2024
Gas flow configurations for semiconductor inspections
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2024
Methods and systems for measurement of semiconductor structures based on derivative measurement signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2024
Non-Reagent Chloride Analysis in Acid Copper Plating Baths
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.04.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Einspannen Gekrümmter Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Correcting Target Locations For Temperature in Semiconductor Applications
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Magnetically opposed, iron core linear motor based motion stages for semiconductor wafer positioning
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2024
Systems and methods for generating a flat-top illumination beam based on interlacing, incoherently overlapping spots
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Pulse-Assisted Laser-Sustained Plasma in Flowing High-Presssure Liquids
Elektronik & Schaltungstechnik
04.04.2024
Frictionless design of high-pressure recirculation thermo-pump
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2024
Calibration of parametric measurement models based on in-line wafer measurement data
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
Water cooled, air bearing based rotating anode x-ray illumination source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2024
High-resolution evaluation of optical metrology targets for process control
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2024
Monolithischer Optischer Retarder
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2024
Systeme und Verfahren zur Gleichförmigen Kühlung einer Elektromagnetischen Spule
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2024
Verfahren und Systeme zur Datengesteuerten Parametrisierung und Messung von Halbleiterstrukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2024
Wellenplatten zur Pupillenpolarisationsfilterung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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