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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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495 gesamt
Patent
15.11.2012
Deep ultra-violet light sources for wafer and reticle inspection systems
WO2012154468
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Method and system for hybrid reticle inspection
WO2012148848
Software & Datenverarbeitung
01.11.2012
Pre and post cleaning of mask, wafer, optical surfaces for prevention of contamination prior to and after inspection
WO2012148827
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Database-Driven Cell-To-Cell Reticle Inspection
WO2012148854
Software & Datenverarbeitung
26.10.2012
Apparatus for illuminating substrates in order to image micro cracks, pinholes and inclusions in monocrystalline and polycrystalline substrates and method therefore
WO2012143753
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2012
Led Solar Illuminator
WO2012138460
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.10.2012
Methods and apparatus for optimization of inspection speed by generation of stage speed profile and selection of care areas for automated wafer inspection
WO2012134764
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2012
Design-based inspection using repeating structures
WO2012134867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2012
Illuminating a specimen for metrology or inspection
WO2012134625
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.09.2012
Multiple-beam system for high-speed electron-beam inspection
WO2012128967
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.09.2012
Method and apparatus for inspecting a reflective lithographic mask blank and improving mask quality
WO2012125581
Optik & Fototechnik
20.09.2012
Source multiplexing illumination for mask inspection
WO2012125859
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.09.2012
Magnet Strength Measurement
WO2012125577
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.09.2012
Euv actinic reticle inspection system using imaging sensor with thin film spectral purity filter coating
WO2012125647
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2012
Hilfskraftsbetätigtes Automatisch Überwachtes Klassifizierungserstellungswerkzeug für Halbleiterdefekte
EP1238367
Software & Datenverarbeitung
13.09.2012
Apparatus and methods for real-time three-dimensional sem imaging and viewing of semiconductor wafers
WO2012121834
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.09.2012
Surface scanning inspection system with independently adjustable scan pitch
WO2012122283
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2012
Multiple-pole electrostatic deflector for improving throughput of focused electron beam instruments
WO2012112284
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2012
Composite polarizer with adjustable polarization angles
WO2012112616
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.08.2012
Structured Illumination For Contrast Enhancement in Overlay Metrology
WO2012109348
Optik & Fototechnik
11.07.2012
Eindeutige Markierung und Verfahren zur Bestimmung Kritischer Dimensionsgleichförmigkeiten und zur Erfassung von Fadenkreuzen in Kombination mit einer Wafer-Overlay-Möglichkeit
EP2474024
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2012
Method and apparatus for inspection of scattered hot spot areas on a manufactured substrate
WO2012082438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2012
Electron beam column and methods of using same
WO2012075182
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2012
Dunkelfeldprüfsystem mit Ringförmiger Beleuchtung
EP2457251
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.05.2012
Antisymmetrische Scatterometrie mit Winkelauflösung
EP2457071
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.05.2012
Stromanalysegerät für Geladene Partikel
EP2454749
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2012
Überwachung der Zeitvariablen Fehlerklassifizierungsleistung
EP2449390
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.05.2012
System und Verfahren zur Durchführung von Fotothermischen Messungen und Entspannungskompensierung
EP2449366
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2012
Coordinate fusion and thickness calibration for semiconductor wafer edge inspection
WO2012051222
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.04.2012
Focus Offset Contamination Inspection
WO2012051245
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2012
Etch-resistant coating on sensor wafers for in-situ measurement
WO2012047428
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2012
Antireflexionsbeschichtung für Sensoren für Inspektionssysteme mit Hohem Durchsatz
EP2438615
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2012
Solarzellentransport
EP2433312
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Reticle defect inspection with model-based thin line approaches
WO2012030830
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Apparatus and methods for vacuum-compatible substrate thermal management
WO2012030846
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Wafer plane detection of lithographically significant contamination photomask defects
WO2012030825
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Collection Optics
WO2012030837
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
09.02.2012
Optics symmetrization for metrology
WO2012018674
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2012
Oblique illuminator for inspecting manufactured substrates
WO2012015819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2012
Readout methodology for multi-channel acquisition of spatially distributed signal
WO2012015961
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2

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