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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
24.01.2024
Schrägbeleuchtung für Überlagerungsmetrologie
EP4308910
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.01.2024
Kleinwinkelröntgenstreuungsmetrologiesystem für Übertragung
EP3593124
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.12.2023
Beleuchtungssteuerung
EP2724361
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.12.2023
System and method for reducing sample noise using selective markers
WO2023244468
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2023
Schätzung von Asymmetrischen Aberrationen
EP3853665
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
System und Verfahren zur Optischen Pfadkopplung von Licht zur Photochemischen In-Situ-Reinigung in Projektionsbildgebungssystemen
EP4285098
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.12.2023
Bildausrichtung auf Basis von Hervorstechenden Merkmalen
EP4285324
Software & Datenverarbeitung
06.12.2023
Geformter Blendensatz für Mehrstrahl-Array-Konfigurationen
EP4285111
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Bildgebungsreflektometrie für Inline-Screening
EP4285112
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.12.2023
Mehrfeldabtastüberlagerungsmetrologie
EP4285110
Optik & Fototechnik
06.12.2023
System und Verfahren zur Interferometrie mit Lateralem Scheren in einem Inspektionswerkzeug
EP4285113
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.12.2023
Systeme und Verfahren zur Adaptiven Halbleiterprüfung unter Verwendung von Inline-Defektteilmittelwertprüfung
EP4285128
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
06.12.2023
Kantenprofilinspektion für Delaminationsdefekte
EP4285316
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.12.2023
Multielektronenstrahlsystem mit Hohem Durchsatz
EP4285399
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Gegenstrom-Gasdüse zur Kontaminationsminderung in Extrem-Uv-Inspektionssystemen
EP4285099
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.11.2023
Metrologie und Kontrolle von Überlagerungs- und Randplatzierungsfehlern
EP3762780
Optik & Fototechnik
29.11.2023
Sichere Fernzusammenarbeit für Geräte in einer Herstellungsanlage
EP4282131
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
29.11.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Euv-Maskeninspektion
EP4281831
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.11.2023
Vertikaler Gefalteter Metallbalg für Drehbewegungen, Vakuumversiegelungen und Druckversiegelungen
EP4281833
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.11.2023
Doppelvakuumdichtung
EP4281691
Maschinenelemente & Fluidtechnik
29.11.2023
Systeme und Verfahren zur Bewertung der Zuverlässigkeit von Halbleiterchipgehäusen
EP4281998
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
29.11.2023
Hochauflösende Elektronenstrahlvorrichtung mit Doppelaperturschemen
EP4281988
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2023
Conical Pocket Laser-Sustained Plasma Lamp
WO2023224891
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2023
Korrektur der Aberration und Apodisierung eines Optischen Systems mit Korrekturplatten
EP4278172
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.11.2023
Rückbeleuchteter Sensor mit mittels Plasmaatomschichtabscheidung Abgeschiedener Borschicht
EP4278384
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2023
System und Verfahren zur Reinigung Optischer Euv-Elemente
EP3087432
Optik & Fototechnik
26.10.2023
Laser-sustained plasma source based on colliding liquid jets
WO2023205064
Elektronik & Schaltungstechnik
19.10.2023
Methods and process control for real time inert monitoring of acid copper electrodeposition solutions
WO2023200640
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.10.2023
Context-Based Defect Inspection
WO2023192546
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Multi-Mode Optical Inspection
WO2023192541
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
05.10.2023
Inspection with previous step subtraction
WO2023192545
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
05.10.2023
Shot noise reduction using frame averaging
WO2023192543
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.10.2023
Verfahren und System zur Herstellung einer Integrierten Schaltung
EP4252077
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Überlagerungsmessung mittels Abtaststreumessung
EP4251978
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2023
Strahlabtastung auf Pupillenebene für Metrologie
EP4251979
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2023
System und Verfahren zur Fokussteuerung in Extrem-Ultraviolett-Lithographiesystemen mit einem Fokusempfindlichen Metrologieziel
EP4252078
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Verfahren und System zur Herstellung einer Integrierten Schaltung
EP4252076
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Sofortiges Scatterometrie-Overlay-Metrologie-Target
EP4251980
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2023
Mehrstrahliger Elektronischer Scanner
EP4251982
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2023
Defektkontroll- und Photolumineszenz-Messsystem
EP2609418
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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