Tokyo Electron Logo

Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

6.255 gesamt
Patent
26.12.2025
Film, article, and plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Control valve control method and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.12.2025
Method for selectively depositing etch stop layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Method for depositing film on substrate and device for depositing film on substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Plasma processing apparatus and upper electrode
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.12.2025
Cleaning method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.12.2025
Systems and methods that utilize metal-coated processing heads to improve wet processing of semiconductor substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Method for etching a metal hard mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing device and control method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing device and transport method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2025
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Methods for controlling the pitch of self-assembled ionic liquid crystal (ilc) structures
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
04.12.2025
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.12.2025
Substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Computer program, method for generating trained model, information processing method, and information processing device
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Mounting table and plasma treatment apparatus
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Test system and method for assembling test system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Substrate processing method, hard mask forming method, and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Computer program, information processing method, substrate processing method, information processing device, and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Methods for controlling the phase of self-assembled ionic liquid crystal (ilc) structures
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
04.12.2025
In Situ Wafer Bond Propagation Measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Embedding method and film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Power transmission system and power transmission method
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
27.11.2025
Substrate treatment method and substrate treatment device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Substrate liquid processing device, substrate liquid processing method, and computer-readable recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Substrate processing method, structure, and film formation device
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
27.11.2025
Systems and methods for wafer processing with sensor technologies
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Stress control of high-density carbon hardmask (chm)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
System and method for plasma process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2025
Inspektionssystem und Temperatursteuerungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen