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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.137 gesamt
Patent
01.02.2017
Filmformungsvorrichtung und Filmformungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.01.2017
Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtigen Folie und Mehrschichtige Folie
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2017
Substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.01.2017
Non-contact power supply system
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
22.12.2016
Film forming method and film forming device
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
22.12.2016
Pattern film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.12.2016
Gate Valve
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
15.12.2016
Substrate holding device, film forming apparatus and substrate holding method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2016
Winding-type film deposition device, evaporation source unit, and winding-type film deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.12.2016
Sputtersystem mit kapazitiv gekoppeltem Magnetneutralschleifenplasma
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2016
Control system for electrostatic chuck-equipped transport robot
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
01.12.2016
Magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2016
Optical thin film manufacturing method and optical film manufacturing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
24.11.2016
Rotating cathode unit for magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.11.2016
Substrate destaticizing mechanism and vacuum treatment apparatus using same
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.11.2016
Vakuumvorrichtung mit einem Impedanzanpassungsteil und Vakuumbehandlungsverfahren mit solchem Impedanzanpassungsteil
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.10.2016
Transparent conductive substrate, method for producing same, and apparatus for producing transparent conductive substrate
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
20.10.2016
Vacuum-suction device and vacuum processing device
Verpackungs- & Fördertechnik Elektrische Energietechnik
20.10.2016
Substrate-holding mechanism, film formation device, and method for holding substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2016
Bipolarer Transistor mit Isoliertem Gate und Herstellungsverfahren dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Attraction device, method for producing attraction device, and vacuum processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
06.10.2016
Attraction device and vacuum processing device
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Cathode Assembly
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.10.2016
Kühlmaschine
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
05.10.2016
Lichtemittierendes Element und Verfahren zu dessen Herstellung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2016
High frequency sputtering apparatus and sputtering method
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.09.2016
Triode Type Ionization Vacuum Gauge
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2016
Transparent conductive substrate and transparent multilayer structure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Software & Datenverarbeitung
22.09.2016
Thin film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Aluminum oxide film-forming method and molding method, and sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.09.2016
Sensor for film thickness monitoring device, film thickness monitoring device provided with same, and method for manufacturing sensor for film thickness monitoring device
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.09.2016
Triode-Type Ionization Vacuum Gauge
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2016
Film forming device and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2016
Rotary cathode unit for magnetron sputtering apparatuses
Metallurgie & Oberflächentechnik
31.08.2016
Vakuumfolienvorrichtung mit Aufnahme
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
25.08.2016
Contact power feed device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2016
Verfahren zur Bildung eines Cu-Films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2016
Gefriertrocknungsvorrichtung
Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
24.08.2016
Gefriertrocknungsvorrichtung
Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
03.08.2016
Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Verbundwerkstoff, Gegenüber Wasser Reaktiver Al-Film, Verfahren zur Herstellung des Al-Films und Bauelement für Filmbildungskammer
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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