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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
22
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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444 gesamt
Patent
21.01.2010
Cu wiring film forming method
WO2010007991
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2010
Method for manufacture of touch panel, and film formation apparatus
WO2010004937
Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung
14.01.2010
Cleaning apparatus, printing apparatus and cleaning method
WO2010004990
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30.12.2009
Positionierungsverfahren für ein Distanzstück
EP2138891
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
30.12.2009
Sputtering apparatus and sputtering method
WO2009157439
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2009
Cathode unit and spattering device having same
WO2009157438
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Trockenätzverfahren
EP2136391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2009
Stage with alignment function, treatment device equipped with stage with the alignment function, and substrate alignment method
WO2009148070
Verpackungs- & Fördertechnik Verfahrens- & Trenntechnik
03.12.2009
Bipolar pulse power source and power source device formed by connecting a plurality of bipolar pulse power sources in parallel
WO2009145092
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
03.12.2009
Sputtering method
WO2009145093
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2009
Bipolar pulse power source and power source device formed by a plurality of bipolar pulse power sources
WO2009145091
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
25.11.2009
Vakuumvorrichtung und Verfahren zur Beförderung eines Substrats
EP2123581
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
18.11.2009
Anzeigeanordnung, Vorrichtung zur Herstellung einer Anzeigenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Anzeigenanordnung
EP2120510
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2009
Solar cell manufacturing method, solar cell manufacturing apparatus, and solar cell
WO2009131111
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2009
Thin-film transistor manufacturing method, and thin-film transistor
WO2009131035
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2009
Solar cell manufacturing method, solar cell manufacturing device, and solar cell
WO2009131115
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2009
Verfahren zur Bildung eines Chalcogenidfilms und Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungselements
EP2109142
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2009
Verfahren zur Bildung einer Mehrschichtfolie und Vorrichtung zur Bildung einer Mehrschichtfolie
EP2103710
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2009
Dispersion von Ultrafeinen Metallpartikeln und Herstellungsverfahren dafür
EP1340568
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
16.09.2009
Verfahren zur Bildung eines Verdrahtungsfilms, Transistor und Elektronisches Bauelement
EP2101346
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2009
Verfahren zur Bildung eines Leitfähigen Films, Dünnschichttransistor, Tafel mit Dünnschichttransistor und Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichttransistors
EP2091072
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
13.08.2009
Robot hand for substrate transportation
WO2009099107
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2009
Zweifrequenz-Messmethode für einen Oberflächenwellensensor, sowie Oberflächenwellensensor und Biosensor mit Mittel zur Durchmischung der Analyseflüssigkeit
EP1605257
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.08.2009
Mehrfachphasenlegierungen und Metalmembranen davon zur Trennung/Reinigung von Wasserstoff und Verfahren zu deren Herstellung.
EP1566457
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
30.07.2009
Sputtering film forming method and sputtering film forming apparatus
WO2009093598
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.07.2009
Process for producing liquid crystal display device
WO2009093580
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
29.07.2009
Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen dünner Schichten
EP1505172
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.07.2009
Permanent magnet manufacturing method
WO2009081978
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
02.07.2009
Plasma source mechanism and film forming apparatus
WO2009081761
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.06.2009
Substrate transfer apparatus, substrate transfer method and vacuum processing apparatus
WO2009075261
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2009
Vacuum processing apparatus and substrate processing method
WO2009072426
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2009
Vorrichtung und Verfahren zur Trockenätzung
EP2063462
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Movable element and processing stage
WO2009063877
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
22.05.2009
Chalcogenide film and method for producing the same
WO2009063950
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Dry Pump
WO2009063820
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
22.05.2009
Bonding substrate manufacturing apparatus and bonding substrate manufacturing method
WO2009063906
Verpackungs- & Fördertechnik Kunststoff- & Polymertechnik
14.05.2009
Bonding substrate manufacturing apparatus and bonding substrate manufacturing method
WO2009060890
Verpackungs- & Fördertechnik Kunststoff- & Polymertechnik
14.05.2009
Vacuum-evaporation source, and organic el element manufacturing apparatus
WO2009060739
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.05.2009
Ashing system
WO2009060769
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2009
Process for producing permanent magnet and permanent magnet
WO2009057592
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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20
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19
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19
Verpackungs- & Fördertechnik
18
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11
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
10
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