Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
1.949 gesamt| Patent | |||
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26.12.2024
Halterungseinrichtung, Optische Baugruppe und Optisches System
Optik & Fototechnik
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26.12.2024
Halterungseinrichtung, Optische Baugruppe und Optisches System
Optik & Fototechnik
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25.12.2024
Vorrichtungen, Testkarten und Verfahren zum Testen von Photonischen Integrierten Schaltungen und Photonische Integrierte Schaltungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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19.12.2024
Lebensdauerstabilisierung Beschichteter Optiken mittels Elektronenstrahlheizen
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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19.12.2024
Verfahren und Steuervorrichtung zum Herstellen eines Optischen Systems für eine Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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19.12.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Probe auf einem Probenträger
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Probe auf einem Probenträger
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Status
Angemeldet am 13.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs, Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
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Status
Angemeldet am 11.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Komponente mit einer Hohlstruktur und Optische Anordnung
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19.12.2024
Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs, Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Komponente mit einer Hohlstruktur und Optische Anordnung
Optik & Fototechnik
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11.12.2024
Projektionslinse, Projektionsbelichtungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2023
Anhängig
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28.11.2024
Sensorvorrichtung für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung
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Status
Angemeldet am 17.05.2024
Anhängig
Vertretung
Freifrau von Ketteler, Alexa
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28.11.2024
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Abbildungssystems für eine Mikrolithographievorrichtung
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Status
Angemeldet am 21.05.2024
Anhängig
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28.11.2024
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Abbildungssystems für eine Mikrolithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.05.2024
Anhängig
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28.11.2024
Sensorvorrichtung für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung
Optik & Fototechnik
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28.11.2024
Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2024
Anhängig
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28.11.2024
Nichtplanare Verzerrungskorrektur in Fib-Sem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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27.11.2024
Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines Bildes einer Mikrostrukturierten Probe für die Mikrolithographie
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.05.2024
Anhängig
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21.11.2024
Werkstück mit einer Hohlstruktur, Verfahren zum Zumindest Teilweisen Bilden einer Hohlstruktur, Spiegel und Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
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21.11.2024
Werkstück mit einer Hohlstruktur, Verfahren zum Zumindest Teilweisen Bilden einer Hohlstruktur, Spiegel und Lithographiesystem
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13.11.2024
Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.11.2024
Euv-Kollektorspiegel
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2020
Erteilt am 13.11.2024
Vertretung
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30.10.2024
Verfahren zur 3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhtem Durchsatz
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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30.10.2024
Messverfahren und Vorrichtung für Halbleitermerkmale mit Erhöhtem Durchsatz
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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24.10.2024
Verfahren und System zur Messung von Halbleiterstrukturen auf einem Wafer
Software & Datenverarbeitung
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23.10.2024
Substrat für ein Reflektives Optisches Element
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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17.10.2024
Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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17.10.2024
Mems-Spiegel, Mikrospiegel-Array und Beleuchtungssystem für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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17.10.2024
Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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16.10.2024
Dichtungsvorrichtung, Komponente und Lithografieeinrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.04.2020
Erteilt am 16.10.2024
Vertretung
HKW Intellectual Property PartG mbB · München
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16.10.2024
Verfahren zum Kalibrieren eines Manipulierbaren Optischen Moduls
Optik & Fototechnik
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25.09.2024
Optisches System, Testvorrichtung, Lithographievorrichtung, Anordnung und Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.11.2022
Anhängig
Vertretung
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12.09.2024
Verfahren und Systeme zum Ausgleich von Ladungen auf einer Oberfläche eines Objekts mit Integrierten Schaltungsmustern in einem Rasterelektronenmikroskop
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.09.2024
Probenvorbereitung zur Bildgebung mit Geladenem Teilchenstrahl
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.09.2024
Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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04.09.2024
Hochauflösungs-Elektronenmikroskop mit Niedriger Energie zur Bereitstellung von Topographieinformationen und Verfahren zur Maskeninspektion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.08.2024
3D-Volumeninspektionsverfahren und Verfahren zur Konfiguration eines 3D-Volumeninspektionsverfahrens
Software & Datenverarbeitung
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22.08.2024
Mechatronisches Element, Spiegel, Spiegelanordnung sowie Verfahren zu deren Herstellung
Optik & Fototechnik
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21.08.2024
Optisches Abbildungssystem
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2011
Erteilt am 21.08.2024
Vertretung
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11