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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
25.09.2025
Verfahren zum Erfassen von Optischen Eigenschaften eines Mikroskops, Verfahren zur Wiederherstellung der Abbildungsqualität eines Mikroskops sowie zur Durchführung des Verfahrens Geeignetes Mikroskop
WO2025196075
Optik & Fototechnik
25.09.2025
Hochgradig Flexibles Leitungselement und Verfahren zur Herstellung eines Flexiblen Leitungselements
WO2025195811
Maschinenelemente & Fluidtechnik
25.09.2025
Verfahren zum Betreiben eines Euv-Spiegelsystems, Euv-Spiegelsystem, Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2025195691
Optik & Fototechnik
24.09.2025
Hochgradig Flexibles Leitungselement und Verfahren zur Herstellung eines Flexiblen Leitungselements
EP4621274
Maschinenelemente & Fluidtechnik
17.09.2025
Verfahren zur Korrektur Lokaler Oberflächenerhebungen auf Spiegelnden Oberflächen
EP4616253
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.09.2025
Verfahren zur Reduzierung Akustischer Schwingungen, Verbindungselement und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025186073
Optik & Fototechnik
12.09.2025
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2025185947
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.09.2025
Verfahren zum Räumlichen Begrenzen eines Materialabtrags, Optisches Element und Anlage der Halbleitertechnologie
WO2025185935
Optik & Fototechnik
11.09.2025
Assembly for semiconductor apparatuses to suppress acoustic wave propagation within a semiconductor apparatus and semiconductor apparatus
WO2025186071
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
10.09.2025
Arbeitsablauf zum Ausrichten einer Halbleiterprobe Und/oder zum Messen Ihrer Fehlausrichtung in einer Fib-Sem- oder Fib-Him-Vorrichtung
EP4413358
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Method for regulating the temperature of an optical module for microlithography
WO2025181116
Optik & Fototechnik
04.09.2025
Contamination Handling in Metrology Systems
WO2025180952
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Reference image for distortion correction
WO2025180880
Software & Datenverarbeitung
04.09.2025
Method and system for producing a lithography apparatus or one of its components and/or for adjusting an apparatus parameter of the lithography apparatus
WO2025180713
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
04.09.2025
Restgasanalyse-Verfahren und Restgasanalyse-System
WO2025180678
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.09.2025
Euv-Belichtungsgerät
EP3674798
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.09.2025
Strahlwinkeldrehung und Probenrotation
EP4531073
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Messanordnung zur Positionsbestimmung einer Komponente
WO2025176537
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.08.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Optischen Reflektivität einer Gekrümmten Oberfläche eines Optischen Prüflings
WO2025176802
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.08.2025
Measurement arrangement for determining the position of a movable component
WO2025176532
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.08.2025
Anordnung aus einem Mikrolithografischen Projektionssystem, einer Vakuumkammer und einem in der Vakuumkammer Angeordneten Wandelement zur Thermalen Abschirmung
WO2025176453
Optik & Fototechnik
27.08.2025
Optisches Element, insbesondere zur Reflexion von Euv-Strahlung, Optische Anordnung und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Elements
EP4237884
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
21.08.2025
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zum Bestimmen und Korrigieren eines Rundlauffehlers Beim Drehen einer Probe
WO2025172427
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Organohalogen precursors for particle beam-induced mask repair
WO2025172428
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Verfahren zum Herstellen eines Substrats, eines Optischen Systems und einer Lichtquellenanordnung für eine Lithographieanlage und Substrat zur Verwendung als Teil eines Optischen Elements in einem Optischen System einer Lithographieanlage
WO2025172365
Optik & Fototechnik
21.08.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrats eines Optischen Elements
WO2025172000
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
21.08.2025
Verfahren zum Herstellen eines Optischen Abbildungssystems für eine Mikrolithographie-Anlage
WO2025171994
Optik & Fototechnik
20.08.2025
Verfahren zur Gewinnung von Informationen zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens für eine Gestapelte Halbleitervorrichtung und Detektionssystem mit Solch einem Verfahren
EP4602645
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Strebe und Optisches System
WO2025168588
Optik & Fototechnik
14.08.2025
Defect review of samples with un-patterned surface
WO2025168504
Optik & Fototechnik
13.08.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Topographie-Kontrasts Und/oder eines Materialkontrasts einer Probe
EP4600637
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.08.2025
Collector mirror and collector mirror assembly for lithography
WO2025162830
Optik & Fototechnik
06.08.2025
Dynamische Potenzialanpassung
EP4498401
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2025
System, Verfahren und Marker zur Positionsbestimmung eines Beweglichen Objektes im Raum
EP3642560
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.08.2025
Kühlvorrichtung zum Kühlen einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage
EP4594823
Optik & Fototechnik
06.08.2025
Verfahren, Ansteuereinrichtung, Optisches System und Lithographieanlage
EP4133589
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.08.2025
Projektionsbelichtungsgerät für Halbleiterlithografie
EP4031919
Optik & Fototechnik
31.07.2025
Projektionsoptik und Projektionsbelichtungsanlage
WO2025157853
Optik & Fototechnik
30.07.2025
Baugruppe eines Optischen Systems
EP4591118
Optik & Fototechnik
30.07.2025
Verfahren zum Betreiben einer Projektionsbelichtungsanlage
EP4591120
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
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303
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219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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