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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
03.04.2008
Projection exposure method and projection exposure system
WO2008037384
Optik & Fototechnik
02.04.2008
Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungssystem
EP1906251
Optik & Fototechnik
02.04.2008
Projektionsobjektiv einer Mikrolithographie-Projektionsanlage
EP1906253
Optik & Fototechnik
02.04.2008
Instrument zum Messen der Winkelverteilung von mittels Beleuchtungssystem eines mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgeräts erzeugtem Licht
EP1906252
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.04.2008
Abziehschicht zur Verwendung in einer Mikrolithographischen Belichtungsvorrichtung
EP1904894
Optik & Fototechnik
19.03.2008
Optische Elementeinheit und Verfahren zum Stützen eines optischen Elements
EP1901101
Optik & Fototechnik
19.03.2008
Optisches System zur Erzeugung von Strahlung im EUV-Wellenlängenbereich und Verfahren zur Messung des Kontaminationsstatus von EUV-reflektierenden Elementen
EP1901125
Optik & Fototechnik
19.03.2008
Anordnung zur Lagerung eines Optischen Bauelements
EP1899756
Optik & Fototechnik
12.03.2008
Beleuchtungssytem mit einer Effizienteren Kollektoroptik
EP1573402
Optik & Fototechnik
05.03.2008
Doppelt Facettiertes Beleuchtungssystem mit Abschwächungselementen am Pupillenfacettenspiegel
EP1894063
Optik & Fototechnik
28.02.2008
Projektionsbelichtungsanlage und Optisches System
WO2008022797
Optik & Fototechnik
28.02.2008
Method and system for correcting image changes
WO2008023071
Optik & Fototechnik
28.02.2008
Baugruppe, Optisches System und Verfahren zur Herstellung einer Baugruppe
WO2008023012
Optik & Fototechnik
27.02.2008
Projektionsobjektiv mit einer Hohen Apertur und einer Planarendoberfläche
EP1891481
Optik & Fototechnik
21.02.2008
Optisches System für die Halbleiterlithographie
WO2008019860
Optik & Fototechnik
21.02.2008
Microlithographic projection exposure apparatus and microlithographic exposure method
WO2008019936
Optik & Fototechnik
20.02.2008
Interferometervorrichtung und Interferometerverfahren
EP1890105
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.02.2008
Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit einem Pupillenspiegel
EP1890191
Optik & Fototechnik
20.02.2008
Sechs-Spiegel-Euv-Projektionssystem mit Kleinen Einfallswinkeln
EP1889110
Optik & Fototechnik
13.02.2008
Optische Bildgebungsanordnung
EP1886191
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2008
Optischer Streudatenträger, Verwendung dafür und Wellenfront-Messvorrichtung
EP1883841
Optik & Fototechnik
06.02.2008
Optisches System einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP1883860
Optik & Fototechnik
31.01.2008
Beleuchtungssystem Fur die Mikro-LITH0GRAPHIE und Projektionsbelichtungsanlage damit
WO2008011981
Optik & Fototechnik
31.01.2008
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Abweichung einer Tatsächlichen Form von einer Sollform einer Optischen Oberfläche
WO2008012091
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.01.2008
Support For an Optical Element
WO2008012336
Optik & Fototechnik
30.01.2008
Halterung mit Schwerkraftausgleich für ein optisches Element
EP1882983
Optik & Fototechnik
24.01.2008
Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage sowie Verfahren zur Korrektür von Abbildungsfehlern
WO2008009356
Optik & Fototechnik
16.01.2008
Mikrolithografisches Belichtungsgerät unter Verwendung von Polarisiertem Licht und Mikrolithografisches Projektionssystem mit Primären und Sekundären Hohlspiegeln
EP1877868
Optik & Fototechnik
09.01.2008
Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographische Belichtungsvorrichtung
EP1875292
Optik & Fototechnik
03.01.2008
Reflektives Optisches Element und Verfahren zu Seiner Charakterisierung
WO2008000437
Optik & Fototechnik
02.01.2008
Projektionsbelichtungssystem, Verfahren zur Herstellung eines Mikrostrukturierten Strukturellen Elements Mithilfe eines Derartigen Projektionsbelichtungssystems und für die Verwendung in einem Derartigen System Angepasstes Optisches Polarisationselement
EP1872176
Optik & Fototechnik
26.12.2007
Verfahren zur Einstellung einer Gewünschten Optischen Eigenschaft eines Projektionsobjektivs sowie Mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage
EP1570315
Optik & Fototechnik
26.12.2007
Verfahren und Vorrichtungen zur Messung von Wellenfronten und der Bestimmung von Streulicht und Diesbezügliche Einrichtungen und Herstellungsverfahren
EP1869420
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.12.2007
Abbildungsvorrichtung
WO2007144125
Optik & Fototechnik
19.12.2007
Projektions-Belichtungsverfahren und Projektionsbelichtungssystem dafür
EP1866700
Optik & Fototechnik
19.12.2007
System zur gezielten Deformation von optischen Elementen
EP1191377
Optik & Fototechnik
12.12.2007
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements
EP1864079
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.12.2007
Illumination system for a microlithography projection exposure apparatus and projection exposure method
WO2007137763
Optik & Fototechnik
05.12.2007
Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit Zwischenbildern
EP1751601
Optik & Fototechnik
28.11.2007
Teilchenoptische Vorrichtung, Beleuchtungsvorrichtung und Projektionssystem sowie Verfahren unter Verwendung derselben
EP1248282
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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