MKS Instruments Patente
🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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425 gesamt| Patent | |||
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31.08.2022
Intermodulationsverzerrungsminderung unter Verwendung eines Elektronischen Variablen Kondensators
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.08.2022
Extremwertsuchsteuergerät und Verfahren zur Automatischen Frequenzabstimmung für Hf-Impedanzanpassung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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17.08.2022
Mikrowellenmagnetron mit Konstanter Anodischer Impedanz und Diesen Verwendende Systeme
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.07.2022
Vakuumkomponenten aus Polymerverbundmaterial
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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22.06.2022
Messgerät für Thermische Leitfähigkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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22.06.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der Hüllenbildung, Entwicklung und Puls-Zu-Puls-Stabilität in Hf-Betriebenen Plasmaanwendungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.05.2022
Method and apparatus for pulse gas delivery with pressure control
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.11.2021
Anhängig
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12.05.2022
Pressure Control Using an External Trigger
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2021
Anhängig
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04.05.2022
Hochgeschwindigkeitssynchronisierung von Plasmaquellen-/vorspannungsleistungsabgabe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2022
Mikrowellenplasmaapplikator mit Verbesserter Energiegleichförmigkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.03.2015
Erteilt am 04.05.2022
Vertretung
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27.04.2022
Kompakter Mikrowellenplasmaapplikator mit Verbindenden Elektrischen Feldern
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.04.2022
Vakuumkomponenten aus Polymerverbundmaterial
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2016
Erteilt am 20.04.2022
Vertretung
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06.04.2022
Verfahren und Vorrichtung für Mehrkanal-Massenfluss- und Verhältnisregelungssysteme
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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06.04.2022
Messgerät für Thermische Leitfähigkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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23.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung eines Massendurchflusses mit Grossem Bereich
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2017
Erteilt am 23.03.2022
Vertretung
J A Kemp LLP · London
J A Kemp · London
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16.03.2022
Polygonale Toroidale Plasmaquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2020
Anhängig
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
Elkington and Fife LLP · Sevenoaks
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17.02.2022
Endpoint detection of deposition cleaning in a pumping line and a processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2021
Anhängig
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16.02.2022
Systeme und Verfahren zur Erzeugung einer Gelösten Ammoniaklösung mit Reduziertem Gehalt an Gelöstem Trägergas und Sauerstoff
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2020
Anhängig
Vertretung
MKS IP Association · Berlin
Elkington and Fife LLP · Sevenoaks
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09.02.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgaszuführung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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19.01.2022
Beheizte Drosselklappenvorrichtung und Verfahren zu Ihrer Verwendung und Herstellung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.01.2022
Systeme und Verfahren zur Erzeugung einer Leitenden Flüssigkeit mit Entionisiertem Wasser mit Darin Gelöstem Ammoniakgas
Verfahrens- & Trenntechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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29.12.2021
Flache Heizvorrichtung und Herstellungsverfahren
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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08.12.2021
Infrarot-Abstimmbare Femtosekundenlaserquelle mit Niedriger Wiederholrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.09.2021
Capacitance Manometer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 09.02.2021
Anhängig
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22.09.2021
System und Verfahren zur Schnellen Impulsgaszufuhr
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.02.2015
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
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15.09.2021
System und Verfahren zur bimodalen automatischen Leistungs- und Frequenzeinstellung von RF-Generatoren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2013
Erteilt am 15.09.2021
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08.09.2021
Steuergerät für Adaptive Periodische Wellenform
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2015
Anhängig
Vertretung
Jaszek, Ryszard · London
MKS IP Association · Berlin
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02.09.2021
Methods and apparatus for pressure based mass flow ratio control
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.02.2021
Anhängig
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25.08.2021
Auf Impedanzanpassungsnetzwerkmodell Basierendes Korrekturschema und Leistungswiederholbarkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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25.08.2021
Mems-Drucksensoren mit Integrierten Ablenkplatten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 22.04.2014
Erteilt am 25.08.2021
Vertretung
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28.07.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Druckbasierten Durchflussmessung unter Unkritischen Strömungsbedingungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.08.2016
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
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21.07.2021
Leistungsverzerrungsbasierte Servosteuerungssysteme zur Frequenzeinstellung von RF-Leistungsquellen
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.12.2012
Erteilt am 21.07.2021
Vertretung
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14.07.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgaszuführung unter Verwendung eines Externen Druckauslösers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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07.07.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Plasmazündung mit einer Vorrichtung mit Eigenresonanz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.01.2016
Erteilt am 07.07.2021
Vertretung
O'Callaghan, Robert James · Sevenoaks
Elkington and Fife LLP · Sevenoaks
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02.06.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerungsreinigung in einer Pumpleitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.05.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Thermischen Isolierung von Hochtemperaturdrucksensoren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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31.03.2021
Steuergerät für Adaptive Periodische Wellenform
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.03.2021
Kaltkathodenionisierungsunterdruckmessvorrichtung mit mehreren Kathoden
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.03.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Teildruckerfassung
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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17.03.2021
Mehrpunktspannungs- und Stromsondensystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.10.2007
Erteilt am 17.03.2021
Vertretung
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Wer vertritt MKS Instruments?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die MKS Instruments vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3