Siltronic Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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375 gesamt| Patent | |||
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21.02.2024
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium und Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium, umfassend in dieser Reihenfolgedas Züchten eines Einkristalls aus Silizium nach der CZ-Methode;das Abtrennen von mindestens einer Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium vom Einkristall;eine erste, zweite und dritte RTA-Behandlung der Halbleiterscheibe. |
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15.02.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Anpressen eines Oberen Poliertuchs gegen einen Oberen Polierteller einer Maschine zum Gleichzeitigen Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite einer Halbleiterscheibe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 03.08.2023
Anhängig
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15.02.2024
Verfahren zum Herstellen eines Monokristallinen Kristalls aus Silizium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.07.2023
Anhängig
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14.02.2024
Vorrichtung und Verfahren zum Anpressen eines Oberen Poliertuchs gegen einen Oberen Polierteller einer Maschine zum Gleichzeitigen Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite einer Halbleiterscheibe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Zusammenfassung
Vorrichtung und Verfahren zum Anpressen eines oberen Poliertuchs gegen einen oberen Polierteller einer Maschine zum gleichzeitigen Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite einer Halbleiterscheibe zwischen dem oberen Polierteller und einem unteren Polierteller: Die Vorrichtung umfasst zwei parallel liegende Linearschienen, die in geringem Abstand über dem unteren Polierteller parallel zu einem dazwischenliegenden Radius des unteren Poliertellers angeordnet sind; einen Grundkörper, auf dem die Linearschienen befestigt sind; zwei entlang der Linearschienen bewegbare, angetriebene Schlitten; von den Schlitten getragene Aktuatoren zum Anheben und Absenken einer Walze, die an den Aktuatoren befestigt und zwischen den Linearschienen angeordnet ist; und eine Steuerung zum synchronen Hin- und Herbewegen der Schlitten zwischen einem äußeren und einem inneren Stiftkranz der Maschine und zum synchronen Bewegen der Aktuatoren. |
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14.02.2024
Verfahren zum Herstellen eines Monokristallinen Kristalls aus Silizium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.08.2022
Anhängig
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14.02.2024
Verfahren zum Ziehen eines Einkristalls aus Silizium Gemäss der Czochralski-Methode
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2020
Erteilt am 14.02.2024
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01.02.2024
A heteroepitaxial wafer for the deposition of gallium nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2023
Anhängig
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31.01.2024
Heteroepitaktischer Wafer zur Abscheidung von Galliumnitrid
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.07.2022
Anhängig
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31.01.2024
Verfahren zum Schleifen von Halbleiterscheiben
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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18.01.2024
Vorrichtung zur Reinigung von Abgasen aus einer Kristallziehanlage
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.07.2023
Anhängig
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17.01.2024
Verfahren zum Beidseitigen Polieren von Halbleiterscheiben zwischen einem Unteren Polierteller und einem Oberen Polierteller
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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17.01.2024
Vorrichtung zur Reinigung von Abgasen aus einer Kristallziehanlage
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.07.2022
Anhängig
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11.01.2024
Verfahren zum Gleichzeitigen Trennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück mittels einer Drahtsäge
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 21.06.2023
Anhängig
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04.01.2024
Abdeckung für ein Reinigungsmodul zum Reinigen einer Halbleiterscheibe und Verfahren zum Reinigen einer Halbleiterscheibe in einer Reinigungsstrasse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2023
Anhängig
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03.01.2024
Kristallstück aus Monokristallinem Silizium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Zusammenfassung
Kristallstück aus monokristallinem Silicium, das zur Herstellung von Halbleiterscheiben vorgesehen ist, mit einer Länge von nicht weniger als 8 cm und nicht mehr als 50 cm und einem Durchmesser nicht kleiner als 280 mm und nicht größer als 320 mm, dadurch gekennzeichnet, dass der Anteil der daraus hergestellten Halbleiterscheiben, die frei sind von Pinholes mit einer Größe von nicht mehr als 30 µm, größer ist als 96,2 %. |
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03.01.2024
Abdeckung für ein Reinigungsmodul zum Reinigen einer Halbleiterscheibe und Verfahren zum Reinigen einer Halbleiterscheibe in einer Reinigungsstrasse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.12.2023
Verfahren zum Herstellen eines Prozessbehälters für Halbleiterwerkstücke und Prozessbehälter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2020
Erteilt am 06.12.2023
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines einen Behälter umfassenden Prozessbehälters (110) für Halbleiterwerkstücke (200), bei dem aus einem Grundmaterial mittels eines additiven Aufbauverfahrens der Behälter mit einer vorgegebenen Form erzeugt wird, wobei anschließend zumindest in vorbestimmten Bereichen einer Oberfläche des Behälters ein Beschichtungsmaterial zum Schutz gegen Chemikalien aufgebracht wird, sowie einen solchen Prozessbehälter (110). |
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15.11.2023
System und Verfahren zum Bearbeiten von Siliziumscheiben
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2022
Anhängig
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09.11.2023
Vorrichtung zum Verpacken von Waferkassetten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.04.2023
Anhängig
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08.11.2023
Vorrichtung zum Verpacken von Waferkassetten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2022
Anhängig
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26.10.2023
System and method for processing silicon wafers
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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25.10.2023
Verfahren zum Reinigen einer Halbleiterscheibe nach einer Politur mittels Cmp in einer Reinigungsstrasse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.10.2023
Verfahren zum Bearbeiten einer Halbleiterscheibe sowie Halbleiterscheibe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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04.10.2023
Verfahren zum Herstellen eines Vakuumgreifers für Halbleiterwerkstücke und Vakuumgreifer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.08.2020
Erteilt am 04.10.2023
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Vakuumgreifers (100) für Halbleiterwerkstücke, bei dem der Vakuumgreifer (100) aus zumindest einem Grundmaterial mittels eines additiven Aufbauverfahrens erzeugt wird, sowie einen solchen Vakuumgreifer (100). |
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04.10.2023
Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus Silizium mit <100>-Orientierung, der mit Dotierstoff vom N-Typ Dotiert Ist
Metallurgie & Oberflächentechnik
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28.09.2023
Verfahren zum Reinigen von Halbleiterscheiben in einer Reinigungsstrasse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2023
Anhängig
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27.09.2023
Verfahren zum Reinigen von Halbleiterscheiben in einer Reinigungsstrasse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.09.2023
Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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07.09.2023
A method for manufacturing a substrate wafer for building group iii-v devices thereon and a substrate wafer for building group iii-v devices thereon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2023
Anhängig
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06.09.2023
Verfahren zur Herstellung eines Substratwafers zum Darauf Erstellen von Gruppe-Iii-V-Vorrichtungen und Substratwafer zum Darauf Erstellen von Gruppe-Iii-V-Vorrichtungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.08.2023
Verfahren zum Erzeugen eines Gasvorhangs aus Spülgas in einem Schlitzventiltunnel und Schlitzventiltunnel
Metallurgie & Oberflächentechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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24.08.2023
A heteroepitaxial wafer for the deposition of gallium nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2023
Anhängig
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03.08.2023
Method and apparatus for producing electrically conducting bulk beta-ga2o3 single crystals and electrically conducting bulk beta-ga2o3 single crystal
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2023
Anhängig
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03.08.2023
Method for depositing a strain relaxed graded buffer layer of silicon germanium on a surface of a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2022
Anhängig
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02.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Elektrisch Leitenden Beta-GA2O3-Volumeneinkristallen und Elektrisch Leitender Beta-GA2O3-Volumeneinkristall
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 31.01.2022
Anhängig
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02.08.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Ziehen eines Einkristalls aus Halbleitermaterial
Metallurgie & Oberflächentechnik
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19.07.2023
Verfahren zum Aufbringen eines Poliertuchs an einen Polierteller
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 12.01.2022
Anhängig
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12.07.2023
Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben aus Einkristallinem Silizium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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05.07.2023
Einrichtung und Verfahren zum Polieren von Halbleiterscheiben
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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19.05.2023
Verfahren zur Reinigung einer Halbleiterscheibe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2022
Anhängig
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Wer vertritt Siltronic?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Siltronic vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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