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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
08.06.2005
Katadioptrisches Projektionsobjektiv sowie Verfahren zur Kompensation der Intrinsischen Doppelbrechung in einem Solchen
EP1537449
Optik & Fototechnik
02.06.2005
Refraktives Projektionsobjektiv für die Immersions-Lithographie
WO2005050321
Optik & Fototechnik
02.06.2005
Polarization-optimizing illumination system
WO2005050325
Optik & Fototechnik
01.06.2005
Objektiv mit Doppelbrechenden Linsen
EP1535100
Optik & Fototechnik
26.05.2005
Optical system
WO2005047979
Optik & Fototechnik
25.05.2005
Optisches Teilsystem insbesondere für eine Projektionsbelichtungsanlage mit mindestens einem in mindestens Zwei Stellungen Verbringbaren Optischen Element
EP1532488
Optik & Fototechnik
25.05.2005
Vorrichtung zum Abdichten einer Projektionsbelichtungsanlage
EP1532485
Optik & Fototechnik
18.05.2005
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv mit Polarisierendem Strahlteiler
EP1530737
Optik & Fototechnik
18.05.2005
Projektionsobjektiv, insbesondere für die Mikrolithographie, sowie Verfahren zur Abstimmung eines Projektionsobjektives
EP1431826
Optik & Fototechnik
06.05.2005
Compact projection objective for arf lithography
WO2005040928
Optik & Fototechnik
06.05.2005
Device for adjusting the illumination dose on a photosensitive layer and method for the microlithographic production of microstructured components
WO2005040927
Optik & Fototechnik
06.05.2005
Catadioptric projection objective with real intermediate images
WO2005040890
Optik & Fototechnik
21.04.2005
Verfahren zur Strahlungsbehandlung eines Optischen Systems
WO2005036272
Optik & Fototechnik
21.04.2005
Masken, Lithographievorrichtung und Halbleiterbauelement
WO2005036266
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
20.04.2005
Projektionsobjektiv für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP1523699
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Beleuchtungssystem mit reduzierter energetischer Belastung
EP1235113
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524557
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524558
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Katadioptrisches Projektionsobjektiv
EP1523692
Optik & Fototechnik
14.04.2005
Lithographie-Objektiv und Projektionsbelichtungsanlage mit mindestens einem Solchen Lithographie-Objektiv
WO2005033800
Optik & Fototechnik
07.04.2005
Verfahren zur Bestimmung Optischer Eigenschaften und System zur Erfassung von Wellenfronten Enthaltendes Projektionsbelichtungssystem
WO2005031466
Optik & Fototechnik
06.04.2005
Optisches System
EP1115030
Optik & Fototechnik
06.04.2005
Projektionsbelichtungsanlage
EP1189112
Optik & Fototechnik
06.04.2005
Beleuchtungssystem mit reduzierter Wärmebelastung
EP1202100
Optik & Fototechnik
06.04.2005
Optische Vorrichtung mit einer Beleuchtungsquelle
EP1520210
Optik & Fototechnik
24.03.2005
Fly s eye condenser and illumination system therewith
WO2005026822
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Optische Anordnung
EP1113336
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Optische Anordnung
EP1113337
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Mikrolithographisches Beleuchtungssystem und damit versehene mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP1139173
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Projektionsbelichtungsanlage
EP1182507
Optik & Fototechnik
17.03.2005
Phasenverzögerungselement und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Phasenverzögerungselementes
WO2005024474
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
17.03.2005
Beleuchtungseinrichtung F R eine Mikrolithographische Projek Tionsbelichtungsanlage
WO2005024516
Optik & Fototechnik
16.03.2005
Optische Fassung und System zur Schwingungsdämpfung
EP1220012
Optik & Fototechnik
16.03.2005
Vorrichtung zur Positionierung eines Optischen Elementes in einer Struktur
EP1514158
Optik & Fototechnik
10.03.2005
Vorrichtung zur Verhinderung des Kriechens eines Optischen Elementes
WO2005022231
Optik & Fototechnik
03.03.2005
Optische Abbildungsvorrichtung mit wenigstens einer Systemblende
WO2005019878
Optik & Fototechnik
24.02.2005
Vorrichtung zur Lagerung eines Optischen Elementes, insbesondere einer Linse in einem Objektiv
WO2005017622
Optik & Fototechnik
24.02.2005
Beleuchtungseinrichtung sowie Polarisator für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2005017620
Optik & Fototechnik
23.02.2005
Verfahren zur Bestimmung von Wellenfrontaberrationen
EP1508073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.02.2005
Beleuchtungsmaske zur Entfernungsaufgelösten Detektion von Streulicht
WO2005015313
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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