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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
30.09.2021
Predictive control of a pulsed light beam
WO2021194667
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2021
Control system for a light source
WO2021178091
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2021
Reducing Fretting Corrosion in A Gas Discharge Chamber Support Device
WO2021167760
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
08.07.2021
Undercut electrodes for a gas discharge laser chamber
WO2021138019
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.07.2021
Dual pulsed power system with independent voltage and timing control and reduced power consumption
WO2021138026
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2021
Metrology for improving duv laser alignment
WO2021133556
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2021
Packed-Bed Filter For Metal Fluoride Dust Trapping in Laser Discharge Chambers
WO2021133568
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Gas purge systems for a laser source
WO2021126594
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Directed gas purge to reduce dusting of excimer discharge chamber windows
WO2021126641
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Predictive Apparatus in A Gas Discharge Light Source
WO2021126520
Optik & Fototechnik
24.06.2021
Energy correction module for an optical source apparatus
WO2021126527
Optik & Fototechnik
17.06.2021
Burst Statistics Data Aggregation Filter
WO2021118777
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2021
Method and system for enhancing target features of a pattern imaged onto a substrate
WO2021110343
Optik & Fototechnik
03.06.2021
Apparatus for and methods of combining multiple laser beams
WO2021108054
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2021
Controlling A Spectral Property Of an Output Light Beam Produced By an Optical Source
WO2021091675
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
14.05.2021
A radiation system for controlling bursts of pulses of radiation
WO2021091730
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2021
Radiation Source Testing
WO2021086640
Optik & Fototechnik
29.04.2021
Smart Gas Temperature Control in A Laser Source
WO2021080842
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2021
Series of stacked confocal pulse stretchers for speckle reduction
WO2021076658
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2021
Conductive member for discharge laser
WO2021071681
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.03.2021
Gas control method and related uses
WO2021055236
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Fluorine Detection in A Gas Discharge Light Source
WO2021041224
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2021
Method of compensating wavelength error induced by repetition rate deviation
WO2021015919
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Output light beam formation apparatus
WO2020256885
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Control system for a plurality of deep ultraviolet optical oscillators
WO2020236648
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Apparatus for and method of generating multiple laser beams
WO2020236647
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2020
Long Life Laser Chamber Electrode
WO2020231746
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
19.11.2020
Apparatus for and method of modulating a light source wavelength
WO2020231946
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2020
Pressure-Controlled Spectral Feature Adjuster
WO2020197719
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2020
Method and apparatus for imaging using narrowed bandwidth
WO2020177979
Optik & Fototechnik
03.09.2020
Optical element for a deep ultraviolet light source
WO2020176205
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
23.04.2020
Method to create the ideal source spectra with source and mask optimization
WO2020078844
Optik & Fototechnik
26.03.2020
Prolonged life laser chamber electrode and laser having same
WO2020060735
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2020
Metrology for a body of a gas discharge stage
WO2020055540
Optik & Fototechnik
20.02.2020
Reducing Speckle in A Pulsed Light Beam
WO2020036736
Optik & Fototechnik
19.12.2019
Gas monitoring system
WO2019240906
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.10.2019
Erweiterte Laserwellenlängensteuerung
EP2502317
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Spectral feature selection and pulse timing control of a pulsed light beam
WO2019190700
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2019
Gas management system
WO2019160548
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2019
Gas management system
WO2019160627
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
258
Optik & Fototechnik
143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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