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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
21.08.2019
Verfahren für Lpp-Gesteuerte Laserausgabe Während Nicht-Ultraviolettstrahlungs-Perioden
EP2624913
Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Reduktion der Ausgangslichtkohärenz eines Gasentladungslasers
EP1779481
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.07.2019
Apparatus for tuning discharge performance in a laser chamber
WO2019143433
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2019
Electrode for a discharge chamber
WO2019139736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2019
Vorrichtung und Verfahren zur Stabilisierung der Strahlform und -Symmetrie für Gepuslte Hochleistungslaseranwendungen
EP2036168
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2019
Laserproduzierte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2115406
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
13.06.2019
Nonwoven Screens For Dust Trapping in Laser Discharge Chambers
WO2019112809
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
23.05.2019
Lithography system bandwidth control
WO2019099179
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2019
Method of and apparatus for extending electrode life in a laser chamber
WO2019083722
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2019
Forming Multiple Aerial Images in A Single Lithography Exposure Pass
WO2019079010
Optik & Fototechnik
03.04.2019
Linienbreitenverringerndes Modul
EP2665141
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2019
Fluorine Detection in A Gas Discharge Light Source
WO2019060164
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2019
Method for dither free adaptive and robust dose control for photolithography
WO2019055247
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2019
Methods and apparatuses for aligning and diagnosing a laser beam
WO2019018165
Optik & Fototechnik
23.01.2019
Aktive Spektrumssteuerung einer Optischen Quelle
EP2471150
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2019
Apparatus for and method of sensing fluorine concentration
WO2019014276
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.01.2019
Dehnbare Elektrode für Gasentladungslaser
EP2137796
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2019
System und Verfahren zur Automatischen Gasoptimierung in einem Zweikammer-Gasentladungslasersystem
EP2727199
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2018
System, Verfahren und Vorrichtung zur Auswahl und Steuerung einer Lichtquellenbandbreite
EP2351169
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.11.2018
Monitoring system for an optical lithography system
WO2018217313
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Improved laser light energy and dose control using repetition rate based gain estimators
WO2018200139
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2018
Gashandhabungssystem für eine Euv-Lichtquelle auf der Basis von Lasererzeugtem Plasma
EP2181448
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.10.2018
Recovering Spectral Shape From Spatial Output
WO2018191056
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.09.2018
Pulsed Light Beam Spectral Feature Control
WO2018175454
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2018
Vorrichtung zur Euv-Plasmaquellen-Zielablieferung
EP1867218
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2018
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2167193
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
19.07.2018
Reducing Speckle in an Excimer Light Source
WO2018132198
Optik & Fototechnik
14.06.2018
Wavelength control system for pulse-by-pulse wavelength target tracking in duv light source
WO2018106379
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2018
Homogenization of light beam for spectral feature metrology
WO2018102049
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.05.2018
Korrosionsbeständige Elektroden für Laserkammern
EP2859627
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2018
Wafer-Based Light Source Parameter Control
WO2018075247
Optik & Fototechnik
26.04.2018
Controlling for wafer stage vibration
WO2018075244
Optik & Fototechnik
26.04.2018
Spectral feature control apparatus
WO2018075246
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2018
Control of a spectral feature of a pulsed light beam
WO2018075248
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2018
Estimating A Gain Relationship Of an Optical Source
WO2018048602
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2018
Adjusting an amount of coherence of a light beam
WO2018044583
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2018
Gasentladungs-Mopa-Laser-Spektralanalyse-Modul
EP1668313
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.01.2018
Lithography optics adjustment and monitoring
WO2018013355
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2017
Aktive Spektralsteuerung einer tief ultravioletten Lichtquelle
EP2388800
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2017
Gas Optimization in A Gas Discharge Light Source
WO2017142705
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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143
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13
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9
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