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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
11.08.2005
Semiconductor device
WO2005074034
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2005
Fehlergrenzenmodell zur Identifizierung von Stochastischen Modellen Fuer einen Steuerungsentwurf
EP1190279
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
28.07.2005
Sensing component used to monitor material buildup and material erosion of consumables by optical emission
WO2005067450
Elektrische Energietechnik
28.07.2005
Multi-Position Stop Mechanism
WO2005067462
21.07.2005
Substrate processing apparatus
WO2005067023
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2005
Method and apparatus for etching an organic layer
WO2005067024
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2005
Methods for adaptive real time control of a thermal processing system
WO2005067006
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2005
Method and system to compensate for lamp intensity differences in a photolithographic inspection tool
WO2005066615
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.07.2005
Coater/developer and coating/developing method
WO2005067011
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
20.07.2005
Potentialfixiereinrichtung, Potentialfixierverfahren und Kapazitätsmessinstrument
EP1555535
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.07.2005
Trockenluftzufuhrvorrichtung und -Behandlungsvorrichtung
EP1552876
Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
30.06.2005
Method for forming film
WO2005059988
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2005
Vefahren und Vorrichtung zum Steuern und Überwachen eines Prozesses zur Herstellung von Halbleiterbausteinen
EP1546827
Steuerungs- & Regelungstechnik
29.06.2005
Verfahren und System zur Dynamischen Modellierung und Rezeptoptimierung für Halbleiterätzprozesse
EP1546876
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2005
WO2005055298
WO2005055298
16.06.2005
WO2005054543
WO2005054543
30.03.2005
Methode und Vorrichtung für Automatische Sensor-Installation
EP1518198
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
30.03.2005
Methode zur Dynamischen Sensorkonfiguration und Laufzeitausführung
EP1518268
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2005
Vorrichtung und Methode zum Messen oder Anwenden einer Thermischen Ausdehnungs-/schrumpfungsrate
EP1517136
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.02.2005
Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von der Leistung einer Werkzeugmaschine
EP1508159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2005
Hochdruckverarbeitungskammer für Mehrere Halbleitersubstrate
EP1501961
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2005
Verfahren zur Behandlung Poröser Dielektrischer Filme zur Verringerung von Beschädigungen Während der Reinigung
EP1495366
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
29.12.2004
Graphische Benutzerschnittstelle für eine Halbleiterbehandlungsanlage
EP1490761
Software & Datenverarbeitung
22.12.2004
Methode und System, einen Oxynitridfilm herzustellen
EP1160847
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2004
Verfahren zur Passivierung von Materialien mit Niedrigem Dielektrikum bei der Waferverarbeitung
EP1481284
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
24.11.2004
Verfahren zum Ätzen einer Metalloxid-Verbindungsschicht und Behandlungsvorrichtung
EP1158576
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
10.11.2004
Methode und Vorrichtung zur Beobachtung einer porösen, amorphen Schicht und Methode und Vorrichtung zur Herstellung derselben.
EP1087036
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.11.2004
Resisttrocknung mit einem Lösungsbad und Superkritischem Co Sb 2 /sb
EP1474723
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
18.08.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Wandfilmüberwachung
EP1446633
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2004
Halbleiterbauelement und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP1432023
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2004
Wafer-Verarbeitungsvorrichtung und Transfereinrichtungseinstellungssystem
EP1406293
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2004
Apparat zur Verbesserung der Verteilung und Leistung eines Induktiv Gekoppelten Plasmas
EP1166324
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2004
Ionisierte Physikalische Dampfphasenabscheidung mit Aufeinanderfolgender Abscheidung und Ätzung
EP1384257
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2004
Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Chargen und Methode zu deren Regelung
EP1189261
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
02.01.2004
Plasmaverarbeitungseinrichtung
EP1376670
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.12.2003
Method and apparatus for monitoring film deposition in a process chamber
WO03103021
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2003
Verfahren zum Ätzen eines Organischen Isolationsfilms und Doppel-Damaskus-Prozess
EP1367638
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2003
Plasmavorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
EP1367639
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2003
Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln eines zu Behandelnden Artikels
EP1351283
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2003
An Improved Substrate Holder For Plasma Processing
WO03079404
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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