Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.391 gesamt| Patent | |||
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14.04.2022
Adaptives Optisches Element für die Mikrolithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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14.04.2022
Verfahren zur Bestimmung der Partikelbelastung einer Oberfläche
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.10.2021
Anhängig
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13.04.2022
Querschnittsabbildung mit Verbesserter 3D-Volumenbildrekonstruktionsgenauigkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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07.04.2022
Method to produce a structured transmissive optical element
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.09.2020
Anhängig
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07.04.2022
Stop apparatus for delimiting a beam path between a light source and an illumination optical unit of a projection exposure apparatus for projection lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2021
Anhängig
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24.03.2022
Defekterkennung für Halbleiterstrukturen auf einem Wafer
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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24.03.2022
Optisches System, insbesondere Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
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23.03.2022
Sensoranordnung für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.08.2016
Erteilt am 23.03.2022
Vertretung
HKW Intellectual Property PartG mbB · München
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17.03.2022
Baugruppe eines Optischen Systems für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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16.03.2022
Kompensation von Kriecheffekten in einer Abbildungseinrichtung
Optik & Fototechnik
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16.03.2022
Halterung eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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10.03.2022
Feldfacette für einen Feldfacettenspiegel einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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09.03.2022
Kompensation von Kriecheffekten in einer Abbildungseinrichtung
Optik & Fototechnik
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09.03.2022
Kompensation von Kriecheffekten in einer Abbildungseinrichtung
Optik & Fototechnik
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03.03.2022
Optische Baugruppe, Verfahren zur Ansteuerung einer Optischen Baugruppe und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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03.03.2022
Optisches Element, Optische Anordnung und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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02.03.2022
Verfahren und Anordnung zum Regulieren der Verkippung eines Spiegelelements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.10.2013
Erteilt am 02.03.2022
Vertretung
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24.02.2022
Steuervorrichtung zur Steuerung von Manipulatoren für eine Projektionslinse
Optik & Fototechnik
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24.02.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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16.02.2022
Optisches System, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 06.06.2017
Erteilt am 16.02.2022
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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10.02.2022
Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.08.2021
Anhängig
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10.02.2022
Flushing plate, device method and use for processing a sample by a particle beam induced process
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2021
Anhängig
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10.02.2022
Projektionsbelichtungsanlage mit Temperiervorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2021
Anhängig
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10.02.2022
Method and apparatus for etching a lithography mask
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.08.2021
Anhängig
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10.02.2022
Optical system and method of operating an optical system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.08.2020
Anhängig
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09.02.2022
Optische Anordnung und Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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09.02.2022
Verfahren zur Herstellung oder Einstellung einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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09.02.2022
Optische Anordnung für die Euv-Lithografie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2019
Erteilt am 09.02.2022
Vertretung
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen
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03.02.2022
Verfahren zur Kalibration, Vorrichtung zur Zuführung eines Kalibriergases zu einem Vakuum, Kalibriersubstanz, System zur Ausbildung einer Vakuumumgebung und Projektionsbelichtungsanlage
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.07.2021
Anhängig
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03.02.2022
Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung einer Oberfläche eines Testobjekts
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.07.2021
Anhängig
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03.02.2022
Projektionsobjektiv mit einer Optischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.02.2022
Method for determining a wavefront generated by means of a diffractive optical element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.07.2021
Anhängig
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27.01.2022
Befestigungselement für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen eines Befestigungselements
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.06.2021
Anhängig
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27.01.2022
Restgasanalysator und Euv-Lithographiesystem mit einem Restgasanalysator
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.01.2022
Verfahren zum Betreiben eines Optischen Systems für die Mikrolithographie, sowie Optisches System
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2021
Anhängig
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20.01.2022
Method and apparatus for repairing a defect of a lithographic mask
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.07.2021
Anhängig
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20.01.2022
Method, device and computer program for repairing a mask for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.07.2021
Anhängig
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19.01.2022
Reflektives optisches Element für streifenden Einfall im EUV-Wellenlängenbereich
Optik & Fototechnik
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13.01.2022
Wasserführendes System und Lithographieanlage
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2021
Anhängig
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13.01.2022
Mirror for a lithography system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.06.2021
Anhängig
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13