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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
27.09.2017
Reflexionsmaske für Euv-Lithografie
EP2513721
Optik & Fototechnik
21.09.2017
Optische Vorrichtung für eine Lithographieanlage sowie Lithographieanlage
WO2017157602
Optik & Fototechnik
14.09.2017
Verfahren zum Herstellen eines Beleuchtungssystems für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage und Beleuchtungssystem
WO2017153165
Optik & Fototechnik
14.09.2017
Strahlteiler für Streifenden Lichteinfall
WO2017153148
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Vorrichtung zum Verändern einer Oberflächenform eines Optischen Elements mittels Elektronenbestrahlung
WO2017148577
Optik & Fototechnik
17.08.2017
Spiegel für den Euv Spektralbereich
WO2017137216
Optik & Fototechnik
16.08.2017
Vorrichtung und Methode zur Untersuchung oder Modifizierung einer Oberfläche mittels Ladungsträgerstrahls
EP2287883
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2017
Verfahren zum Ermitteln einer Reparaturform eines Defekts an oder in der Nähe einer Kante eines Musters einer Photomaske
EP2368152
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.07.2017
Reflektives Optisches Element und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP2304479
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
12.07.2017
Optische Partikelsysteme und Anordnungen und Optische Partikelkomponenten für Solche Systeme und Anordnungen
EP2575144
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
29.06.2017
Illumination system of a microlithographic apparatus
WO2017108448
Optik & Fototechnik
29.06.2017
Vorrichtung und Verfahren zur Wellenfrontanalyse
WO2017108349
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.06.2017
Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer Derartigen Abbildenden Optik
WO2017108813
Optik & Fototechnik
22.06.2017
Reflektives Optisches Element
WO2017102256
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.06.2017
Vorrichtung zur Ausrichtung einer Komponente
WO2017102193
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
22.06.2017
Optisches System, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2017102599
Optik & Fototechnik
22.06.2017
Optische Vorrichtung für eine Lithografische Vorrichtung und Lithografische Vorrichtung
WO2017102889
Optik & Fototechnik
15.06.2017
Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsanlage und Verfahren zum Betreiben eines Solchen Systems
WO2017097601
Optik & Fototechnik
14.06.2017
Schutzmodul für Euv-Lithographievorrichtung, sowie Euv-Lithographievorrichtung
EP2335118
Optik & Fototechnik
08.06.2017
Bestimmung des Thermischen Ausdehnungskoeffizienten als Funktion der Temperatur
WO2017093018
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.06.2017
Optisches System einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage oder einer Waferinspektionsanlage
WO2017092995
Optik & Fototechnik
08.06.2017
Verfahren zum Polieren einer Optischen Oberfläche und Optisches Element
WO2017093020
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
08.06.2017
Optische Abbildungsanordnung mit Aktiv Einstellbaren Metrologiestützeinheiten
WO2017092815
Optik & Fototechnik
31.05.2017
Projektionsobjektiv mit Obskurisierter Pupille für die Mikrolithographie
EP2191331
Optik & Fototechnik
24.05.2017
Beleuchtungssystem eines mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerätes
EP2876499
Optik & Fototechnik
24.05.2017
Beleuchtungssystem eines mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerätes
EP2876498
Optik & Fototechnik
18.05.2017
Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer Derartigen Abbildenden Optik
WO2017080937
Optik & Fototechnik
18.05.2017
Anordnung für eine Lithographieanlage und Lithographieanlage
WO2017080855
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
18.05.2017
Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer Derartigen Abbildenden Optik
WO2017080926
Optik & Fototechnik
03.05.2017
Euv Spiegelanordnung, Optisches System mit einer Euv-Spiegelanordnung und Verfahren für die Bedienung eines Optischen Systems mit einer Euv-Spiegelanordnung
EP2689427
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
26.04.2017
Mikrolithographie-Projektionsobjektiv
EP2255251
Optik & Fototechnik
12.04.2017
Projektionsbelichtungsvorrichtung mit der Möglichkeit Optimierter Justierung
EP2329321
Optik & Fototechnik
05.04.2017
Verfahren und Einrichtungen zur Ansteuerung von Mikrospiegeln
EP2340456
Optik & Fototechnik
30.03.2017
Optische Abbildungsanordnung mit einer Piezoelektrischen Vorrichtung
WO2017050926
Optik & Fototechnik
30.03.2017
Optische Korrekturanordnung, Projektionsobjektiv mit einer Solchen Optischen Korrekturanordnung sowie Mikrolithografische Apparatur mit einem Solchen Projektionsobjektiv
WO2017050565
Optik & Fototechnik
30.03.2017
Optisches System zur Feldabbildung Und/oder Pupillenabbildung
WO2017050531
Optik & Fototechnik
30.03.2017
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsvorrichtung und Beleuchtungssystem Solch einer Vorrichtung
WO2017050360
Optik & Fototechnik
23.03.2017
Illumination optical unit for projection lithography
WO2017046136
Optik & Fototechnik
22.03.2017
System zur Erkennung von Geladenen Partikeln und Inspektionssystem mit mehreren Teilstrahlen
EP2556527
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2017
Reflektierendes Optisches Element zur Euv-Lithografie und Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements
EP2929398
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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