Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.391 gesamt| Patent | |||
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13.01.2022
Mirror for a lithography system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.06.2021
Anhängig
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12.01.2022
Verfahren zum Herstellen eines Spiegels, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 22.06.2016
Erteilt am 12.01.2022
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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06.01.2022
Method and apparatus for setting a side wall angle of a pattern element of a photolithographic mask
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2021
Anhängig
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06.01.2022
Method and apparatus for processing a lithographic mask
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.06.2021
Anhängig
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06.01.2022
Optisches System mit einer Aperturblende
Optik & Fototechnik
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05.01.2022
Kompensation von Kriecheffekten in einer Bildgebungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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05.01.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenverarbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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30.12.2021
Verbindung von Komponenten einer Optischen Abbildungseinrichtung
Optik & Fototechnik
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30.12.2021
Heizanordnung und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.05.2021
Anhängig
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30.12.2021
Optisches Element für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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29.12.2021
Optische Komponente
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.02.2013
Erteilt am 29.12.2021
Vertretung
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29.12.2021
Spiegelsystem
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.02.2013
Erteilt am 29.12.2021
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15.12.2021
Halterung eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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15.12.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines durch wenigstens einen Lithographieschritt Strukturierten Wafers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.10.2016
Erteilt am 15.12.2021
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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02.12.2021
Spiegel, insbesondere für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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02.12.2021
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Schwingungstilger und Verfahren zur Auslegung eines Schwingungstilgers
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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02.12.2021
Vorrichtung und Verfahren zum Temperieren von Elementen in Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlagen
Optik & Fototechnik
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24.11.2021
Euv-Kollektor
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2017
Erteilt am 24.11.2021
Vertretung
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24.11.2021
Maske und Scanning-Projektions-Belichtungsverfahren für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.12.2011
Erteilt am 24.11.2021
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24.11.2021
Optische Beugungskomponente zur Unterdrückung von mindestens einer Zielwellenlänge durch Destruktive Interferenz
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.01.2020
Anhängig
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18.11.2021
Verfahren zum Interferometrischen Vermessen einer Form einer Oberfläche
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.05.2021
Anhängig
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11.11.2021
Verfahren zum Betreiben eines Deformierbaren Spiegels, sowie Optisches System mit einem Deformierbaren Spiegel
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 23.04.2021
Anhängig
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11.11.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche eines Spiegels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Anordnung, insbesondere in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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28.10.2021
Facet assembly for a facet mirror
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.04.2021
Anhängig
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21.10.2021
Baugruppe eines Optischen Systems
Optik & Fototechnik
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14.10.2021
System and method for inspecting a mask for euv lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2021
Anhängig
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13.10.2021
Optisches Bauelement zur Führung eines Strahlungsbündels
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.04.2013
Erteilt am 13.10.2021
Vertretung
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06.10.2021
Spiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage mit einem Spektralfilter in Form einer Gitterstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Spektralfilters in Form einer Gitterstruktur auf einem Spiegel
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2019
Anhängig
Vertretung
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06.10.2021
System zur Interferometrischen Messung der Abbildungsgüte einer Anamorphotischen Projektionslinse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.06.2017
Erteilt am 06.10.2021
Vertretung
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30.09.2021
Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung einer Optischen Baugruppe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.02.2021
Anhängig
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16.09.2021
Method for producing an optical system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.01.2021
Anhängig
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10.09.2021
Referenzausgasungsprobe und Referenzausgasungssystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Verfahren zum Betreiben einer Optischen Anordnung für die Euv-Lithographie und Optische Anordnung für die Euv-Lithographie
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
Projektionsbelichtungsanlage mit einem Thermischen Manipulator
Optik & Fototechnik
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19.08.2021
Projektionsobjektiv eines Lithographiesystems und Verfahren zur Überwachung eines Projektionsobjektivs eines Lithographiesystems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Vorrichtung und Verfahren zum Reparieren eines Defekts einer Optischen Komponente für den Extrem Ultravioletten Wellenlängenbereich
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Verfahren zum Verfolgen und zur Identifizierung von Komponenten von Lithografiesystemen und Lithografiesystem
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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11.08.2021
Bündelverteilungsoptik, Beleuchtungsoptik mit einer Derartigen Bündelverteilungsoptik, Optisches System mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Derartigen Optischen System
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2015
Erteilt am 11.08.2021
Vertretung
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11.08.2021
Verfahren zur Bildaufzeichnung unter Verwendung eines Teilchenmikroskops
Software & Datenverarbeitung
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13