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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
19.08.2010
Optisches Abbildungssystem und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Derartigen Optischen Abbildungssystem
WO2010091840
Optik & Fototechnik
19.08.2010
Aktuator mit mindestens einem Magneten für eine Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren Hierfür, sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Magneten
WO2010091977
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2010
Korrektureinrichtung zur Kompensation von Störungen der Polarisationsverteilung sowie Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie
EP1639393
Optik & Fototechnik
18.08.2010
Projektionsbelichtungsverfahren, Projektionsbelichtungssystem und Projektionsobjektiv
EP2219077
Optik & Fototechnik
11.08.2010
Transresistanzverstärker für einen Detektor für Geladene Teilchen
EP1510002
Elektronik & Schaltungstechnik
29.07.2010
Dämpfungsvorrichtung
WO2010083965
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
28.07.2010
Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie
EP1668419
Optik & Fototechnik
22.07.2010
Euv lithography system and cable for the same
WO2010081721
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.07.2010
Einzelspiegel zum Aufbau eines Facettenspiegels, insbesondere zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikro-Lithographie
WO2010079133
Optik & Fototechnik
07.07.2010
Optisches Element eines Beleuchtungssystems mit einer Elektrisch Leitfähigen Region
EP2203786
Optik & Fototechnik
07.07.2010
Optisches Abbildungssystem und Projektionsbelichtungsanlage dafür
EP2203785
Optik & Fototechnik
17.06.2010
Gravitationskompensation für Optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen
WO2010066873
Optik & Fototechnik
16.06.2010
Chromatisch korrigiertes katadioptrisches Objektiv und Projektionsbelichtungsvorrichtung, die dieses enthält
EP2196838
Optik & Fototechnik
26.05.2010
Projektionsobjektiv für die Mikrolithografie, Projektionsbelichtungsvorrichtung, Projektionsbelichtungsverfahren und Optische Korrekturplatte
EP2188673
Optik & Fototechnik
19.05.2010
Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2185978
Optik & Fototechnik
19.05.2010
Mikrolithographie-Projektionssystem mit einer Zugänglichen Membran- oder Aperturblende
EP1856578
Optik & Fototechnik
06.05.2010
Optische Baugruppe zur Führung eines Strahlungsbündels
WO2010049076
Optik & Fototechnik
06.05.2010
Beleuchtungsoptik für die Euv-Mikrolithographie
WO2010049020
Optik & Fototechnik
05.05.2010
Steuerbares Optisches Element und Verfahren zum Betrieb eines Optischen Elements mit Thermischen Stellgliedern und Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Halbleiterlithografie
EP2181357
Optik & Fototechnik
22.04.2010
Euv- Lithographievorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten eines Optischen Elements
WO2010043398
Optik & Fototechnik
14.04.2010
Kollektor mit Ungenutztem Bereich für Beleuchtungssysteme mit einer Wellenlänge Kleiner oder Gleich 193 Nm.
EP1354325
Elektrische Energietechnik
14.04.2010
Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten
EP1472562
Optik & Fototechnik
14.04.2010
Teilchenoptische Komponente
EP1966815
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Projection exposure apparatus for microlithography for the production of semiconductor components
WO2010037732
Optik & Fototechnik
08.04.2010
Feldfacettenspiegel zum Einsatz in einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage für die Euv-Mikrolithographie
WO2010037434
Optik & Fototechnik
08.04.2010
Illumination system for euv microlithography
WO2010037437
Optik & Fototechnik
08.04.2010
Field facet mirror for use in an illumination optics of a projection exposure appratus for euv microlithography
WO2010037453
Optik & Fototechnik
08.04.2010
Stützelemente für ein Optisches Element
WO2010037778
Optik & Fototechnik
07.04.2010
Strahlenvorrichtung und Verfahren mit einer Partikelstrahlenvorrichtung und optischem Mikroskop
EP2061067
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2010
Microlithography projection exposure apparatus having at least two operating states
WO2010034382
Optik & Fototechnik
01.04.2010
Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus
WO2010034472
Optik & Fototechnik
01.04.2010
Dielektrischer Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung, sowie eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem Solchen Spiegel
WO2010034367
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
31.03.2010
Teilchenstrahlinstrument und Verfahren zur Detektion geladener Teilchen
EP1903594
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2010
EUV-Projektionssystem mit sechs Spiegeln
EP2169465
Optik & Fototechnik
31.03.2010
Beleuchtungssystem eines mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerätes
EP2169464
Optik & Fototechnik
25.03.2010
Optical assembly with a temperature -control device
WO2010031526
Optik & Fototechnik
24.03.2010
Verfahren zur Verringerung einer Laserstrahlabweichung
EP2166626
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2010
Imaging optical system
WO2010028748
Optik & Fototechnik
10.03.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1528432
Optik & Fototechnik
04.03.2010
Detection Of Contaminating Substances in an Euv Lithography Apparatus
WO2010022815
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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