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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
19.12.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Bestimmung einer Ausrichtung einer Probe auf einem Probenträger
EP4728325
Optik & Fototechnik
12.12.2024
Verfahren zum Herstellen eines Optischen Elements, sowie Optisches Element und Beschichtungsanlage
WO2024251468
Optik & Fototechnik
11.12.2024
Projektionslinse, Projektionsbelichtungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsverfahren
EP4473360
Optik & Fototechnik
05.12.2024
Sensorvorrichtung mit Zwei Verschiedenen Optischen Sensortypen, Sensorsystem und Projektionsobjektiv
WO2024245924
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.12.2024
Berührungslos Messender Temperatursensor für einen Spiegel, Projektionsobjektiv und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels
WO2024245923
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Nichtplanare Verzerrungskorrektur in Fib-Sem
WO2024240611
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.11.2024
Verfahren zum Betreiben eines Festkörperaktuators in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2024240628
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Sensorvorrichtung für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung
WO2024240630
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Abbildungssystems für eine Mikrolithographievorrichtung
WO2024240753
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Method of treating a reflective optical element, reflective optical element and optical arrangement
WO2024240733
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Column, processing arrangement and method
WO2024240787
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2024
Sensorvorrichtung für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung
EP4716865
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Optisches Element für den Ultravioletten Wellenlängenbereich
WO2024240604
Optik & Fototechnik
28.11.2024
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Abbildungssystems für eine Mikrolithographievorrichtung
EP4720776
Optik & Fototechnik
27.11.2024
Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines Bildes einer Mikrostrukturierten Probe für die Mikrolithographie
EP4468251
Software & Datenverarbeitung
21.11.2024
Werkstück mit einer Hohlstruktur, Verfahren zum Zumindest Teilweisen Bilden einer Hohlstruktur, Spiegel und Lithographiesystem
WO2024235427
Optik & Fototechnik
21.11.2024
Werkstück mit einer Hohlstruktur, Verfahren zum Zumindest Teilweisen Bilden einer Hohlstruktur, Spiegel und Lithographiesystem
EP4710149
Optik & Fototechnik
14.11.2024
Adaptives Optisches Modul
WO2024231364
Optik & Fototechnik
14.11.2024
Optische Baugruppe
WO2024231272
Optik & Fototechnik
14.11.2024
Lithographiesystem mit Abspaltbaren Linsen
WO2024231097
Optik & Fototechnik
13.11.2024
Euv-Kollektorspiegel
EP4045949
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
13.11.2024
Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung
EP4107480
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.11.2024
Method for adjusting the telecentricity in a projection exposure system for microlithography
WO2024227859
Optik & Fototechnik
31.10.2024
Verfahren zum Trocknen einer Medienführenden Leitung, Trocknungseinrichtung und Lithographiesystem
WO2024223106
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
31.10.2024
Remote-Plasma Electron-Induced Mask Repair
WO2024223248
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2024
Device, method and computer program for processing of a surface of a substrate
WO2024223586
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
31.10.2024
Repair process for clear defects on euv psm masks
WO2024223530
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
30.10.2024
Verfahren zur 3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhtem Durchsatz
EP4453658
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
30.10.2024
Messverfahren und Vorrichtung für Halbleitermerkmale mit Erhöhtem Durchsatz
EP4453654
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
24.10.2024
Verfahren zum Kalibrieren einer Formbearbeitungsvorrichtung
WO2024218214
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2024
Verfahren und System zur Messung von Halbleiterstrukturen auf einem Wafer
WO2024217858
Software & Datenverarbeitung
24.10.2024
Method and device for mask repair
WO2024218314
Optik & Fototechnik
23.10.2024
Substrat für ein Reflektives Optisches Element
EP3818021
Anorganische Chemie & Werkstoffe
17.10.2024
Method of determination of optical properties of an optical system
WO2024213532
Optik & Fototechnik
17.10.2024
Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
WO2024213632
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.10.2024
Mems-Spiegel, Mikrospiegel-Array und Beleuchtungssystem für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen einer Lithographieanlage
WO2024213622
Optik & Fototechnik
17.10.2024
Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
WO2024213535
Optik & Fototechnik
16.10.2024
Verfahren zum Kalibrieren eines Manipulierbaren Optischen Moduls
EP4445220
Optik & Fototechnik
16.10.2024
Dichtungsvorrichtung, Komponente und Lithografieeinrichtung
EP3948424
Optik & Fototechnik
03.10.2024
Verfahren und System zum Bestrahlen eines Lithografieobjekts
WO2024199972
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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