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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
11.01.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Testen von Photonischen Integrierten Schaltungen
EP3574333
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.01.2023
Verfahren zum Abscheiden einer Schicht, Optisches Element und Optische Anordnung für den Duv-Wellenlängenbereich
WO2023274680
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
04.01.2023
Reflektierende Beschichtung mit Optimierter Dicke
EP2962158
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
29.12.2022
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
WO2022268775
Optik & Fototechnik
29.12.2022
Lagerungssystem, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen eines Lagerungssystems
WO2022268445
Optik & Fototechnik
22.12.2022
Verfahren zum Abscheiden einer Deckschicht, Reflektives Optisches Element für den Euv-Wellenlängenbereich und Euv-Lithographiesystem
WO2022263061
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
21.12.2022
Optisches System und Lithographieanlage
EP4104020
Optik & Fototechnik
21.12.2022
Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren
EP4104021
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2022
Verfahren zum Bestimmen der Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit einem Licht in einer zu Vermessenden Eingangspupille
EP4099093
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.12.2022
Projektionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren zum Entwurf einer Komponente einer Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2022248433
Optik & Fototechnik
30.11.2022
Verfahren und Gerät zum Analysieren eines Bildes eines Mikrolithografischen, Mikrostrukturierten Bauteils
EP4095810
Software & Datenverarbeitung
30.11.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit Beleuchtungslicht Innerhalb einer zu Vermessenden Pupille
EP4095505
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.11.2022
Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
EP3516456
Optik & Fototechnik
16.11.2022
Halterung eines Optischen Elements
EP3857281
Optik & Fototechnik
02.11.2022
Komponente für eine Spiegelanordnung für die Euv-Lithographie und Verfahren zur Herstellung Derselben
EP3513250
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
02.11.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer Luftbildsimulation einer Fotolithografischen Maske
EP4081865
Optik & Fototechnik
20.10.2022
Verfahren und Vorrichtung zum Ansprengen von Bauteilen
WO2022218793
Optik & Fototechnik
20.10.2022
Aktuator-Sensor-Vorrichtung und Lithographieanlage
WO2022218750
Optik & Fototechnik
19.10.2022
Optisches System, sowie Heizanordnung und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements in einem Optischen System
EP4073588
Optik & Fototechnik
12.10.2022
Verfahren zur Vermeidung einer Degradation eines Optischen Elements, Projektionssystem, Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsgerät
EP4070162
Optik & Fototechnik
05.10.2022
Beleuchtungssystem für eine Lithografische Projektionsbelichtungsvorrichtung für Euv-Projektion und Verfahren zum Betreiben eines Derartigen Beleuchtungssystems
EP2883112
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.10.2022
Halterung einer Optischen Einheit
EP4066061
Optik & Fototechnik
29.09.2022
Messvorrichtung zum Interferometrischen Vermessen einer Oberflächenform
WO2022200209
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.09.2022
Optische Anordnung und Verfahren zu deren Herstellung, Verfahren zum Verformen eines Optischen Elements sowie Projektionsbelichtungsanlage
WO2022200203
Optik & Fototechnik
29.09.2022
Messvorrichtung zum Interferometrischen Vermessen einer Oberflächenform
WO2022200210
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.09.2022
Lagerung für eine Lithographieanlage und Lithographieanlage
WO2022199904
Optik & Fototechnik
21.09.2022
Spiegel für Euv-Lithografie
EP3489374
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
07.09.2022
Verfahren zur Lokalisierung von Montagefehlern
EP3601988
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optisches Element zur Reflexion von Strahlung und Optische Anordnung
WO2022179735
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
01.09.2022
Optisches System, insbesondere für die Euv-Lithographie
WO2022179766
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optische Baugruppe, Verfahren zur Deformation eines Optischen Elements und Projektionsbelichtungsanlage
WO2022180004
Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optisches System, Montagevorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung eines Messobjekts
WO2022179906
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.08.2022
Abstützung einer Optischen Einheit
EP3818414
Optik & Fototechnik
31.08.2022
Hohlwellenleiter zur Führung von Euv-Licht mit einer Nutzwellenlänge
EP3559751
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
18.08.2022
Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie Optisches System
WO2022171321
Optik & Fototechnik
18.08.2022
Filteranordnung, insbesondere für einen Regelkreis zum Regeln der Position wenigstens eines Elementes
WO2022171330
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.08.2022
System und Projektionsbelichtungsanlage
WO2022171538
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
18.08.2022
Verfahren zur Justage eines Optischen Systems, insbesondere für die Mikrolithographie
WO2022171339
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.08.2022
Reflektives Optisches Element und Verfahren zur Reparatur Und/oder Aufbereitung eines Reflektiven Optischen Elements
WO2022161942
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Optik & Fototechnik
04.08.2022
Optisches System, sowie Verfahren zum Betreiben eines Optischen Systems
WO2022161659
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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