KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
495 gesamt| Patent | |||
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16.07.2008
Verbesserte Linse für Mikroskopische Untersuchung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.06.2008
Systems and methods for creating inspection recipes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 19.12.2007
Anhängig
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12.06.2008
Methods, designs, defect review tools, and systems for determining locations on a wafer to be reviewed during defect review
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.12.2007
Anhängig
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28.03.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit paralleler Verarbeitung
Software & Datenverarbeitung
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03.01.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit Paralleler Verarbeitung
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.04.2000
Erteilt am 03.01.2007
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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19.01.2005
Breitbandiges Katadioptrisches Uv-Abbildungssystem
Optik & Fototechnik
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22.01.2004
Overlay Error Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.10.2001
Anhängig
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23.07.2003
Verbesserte Teststrukturen, deren Inspektionsmethode und Verwendung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.12.2000
Anhängig
Vertretung
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23.07.2003
Messmarkierung mit Verbesserter Überlagerungsausrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2001
Anhängig
Vertretung
Gover, Richard Paul · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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17.07.2003
Differential detector coupled with defocus for improved phase defect sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.12.2002
Anhängig
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10.07.2003
Design Driven Inspection Or Measurement
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 19.12.2002
Anhängig
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03.07.2003
Parametric profiling using optical spectroscopic systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2002
Anhängig
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19.06.2003
A photoelectron emission microscope for wafer and reticle inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2001
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18.06.2003
Methode und System zur Halbleiterherstellung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2001
Anhängig
Vertretung
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22.05.2003
Method and apparatus for the production of process sensitive lithographic features
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2002
Anhängig
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02.05.2003
Messung der Folienstärke durch Elektronenstrahl Induzierte Röntgen-Mikroanalyse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2001
Anhängig
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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03.04.2003
Systems and methods for forming an image of a specimen at an oblique viewing angle
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.09.2002
Anhängig
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06.03.2003
Predicting Chip Yields Through Critical Area Matching
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 23.08.2002
Anhängig
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13.02.2003
Systems and methods for measuring properties of conductive layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2002
Anhängig
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05.02.2003
Symmetrisches Differenz-Interferometer mit Streifendem Einfall mit Verringerter Kohärenz
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.04.2001
Anhängig
Vertretung
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09.01.2003
Apparatus and methods for monitoring self-aligned contact arrays
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Wafer-Inspektion mit Optimierter Geometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Energy Filter Multiplexing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Apparatus and methods reliable and efficient detection of voltage contrast defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
I in-situ /i end point detection for semiconductor wafer polishing
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Systems and methods for inspection of transparent mask substrates
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Apparatus and methods for reducing thin film color variation in optical inspection of semiconductor devices and other surfaces
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Method for determining lithographic focus and exposure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Systems and methods for a wafer inspection system using multiple angles and multiple wavelength illumination
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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19.12.2002
Apparatus and methods for modeling process effects and imaging effects in scanning electron microscopy
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.06.2002
Anhängig
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21.11.2002
Advanced phase shift inspection method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2001
Anhängig
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14.11.2002
Efficient phase defect detection system and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.05.2002
Anhängig
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17.10.2002
Improved defect detection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 03.04.2002
Anhängig
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02.10.2002
Vor-Ort-Überwachung für Metallisationsprozesse unter Verwendung von Wirbelstrommessungen und Optischen Messungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 22.12.2000
Anhängig
Vertretung
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26.09.2002
Gleichzeitige Beflutung und Inspektion zur Aufladungssteuerung in einem Elektronenstrahlinspektionsgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2002
Anhängig
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21.08.2002
Verfahren und Vorrichtung zum Rastern,fügen und Dämpfen von Messungen eines Doppelseitigen Prüfmessgeräts
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.06.2000
Anhängig
Vertretung
Parkinson, Neil Scott · Basingstoke
Allman, Peter John · Manchester
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27.06.2002
Improved system for measuring periodic structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.12.2001
Anhängig
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27.06.2002
Parametric profiling using optical spectroscopic systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.12.2001
Anhängig
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04.04.2002
Improved system for scatterometric measurements and applications
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2001
Anhängig
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21.02.2002
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mit mehreren Strahlen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.08.2001
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2