KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
1.908 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
04.10.2023
Mehrstrahliger Elektronischer Scanner
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.10.2023
Sofortiges Scatterometrie-Overlay-Metrologie-Target
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2023
System und Verfahren zur Automatischen Identifizierung Defektbasierter Testabdeckungslücken in Halbleiterbauelementen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2023
Verfahren und Systeme für Kompakte Weiche Röntgenstreuometrie mit Kleiner Punktgrösse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.09.2023
System und Verfahren zur Bestimmung einer Nachbindungsüberlagerung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.09.2023
Multi-element super resolution optical inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.03.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.09.2023
Electron gun and electron microscope
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.03.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2023
Hochauflösende Fehlerüberprüfungsbilderzeugung durch Generative Kontradiktorische Netzwerke
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2023
Integration eines Optischen Höhensensors in Maskeninspektionswerkzeuge
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.08.2023
Estimating in-die overlay with tool induced shift correction
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.08.2023
Semiconductor measurements with robust in-line tool matching
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Höhe auf einer Halbleiterscheibe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2023
Erzeugung eines Metrologierezepts unter Verwendung Vorhergesagter Metrologiebilder
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.08.2023
Cleanroom compatible robotic end effector exchange system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.01.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2023
Verfahren zum Messen von Positionen von Strukturen auf einem Substrat
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2023
Auf Tiefenlernen Basierende Fehlererkennung
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2023
Interpretierbare Tiefenlernbasierte Fehlererkennung und -Klassifizierung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.08.2023
Selective marking of a substrate with fluorescent probes having a small form factor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.01.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Verwendung mit Extremem Uv-Licht mit Kontaminationsschutz
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.02.2014
Erteilt am 02.08.2023
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.08.2023
System zur Hemmung der Vuv-Strahlungsemission einer Lasergestützten Plasmaquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.07.2023
Methods and systems for targeted monitoring of semiconductor measurement quality
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.12.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.07.2023
Massive Überlagerungsmetrologieabtastung mit mehreren Messsäulen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.07.2023
Inspektionsgeführte Auswahl Kritischer Stellen für die Messung Kritischer Abmessungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.07.2023
Methods and systems for regularizing the optimization of application specific semiconductor measurement system parameter settings
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.07.2023
System und Verfahren zur Beschleunigung Physikalischer Simulationsmodelle Während der Herstellung Mikroelektronischer Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.06.2023
Supercritical Fluid Cleaning For Components in Optical Or Electron Beam Systems
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.06.2023
Machine learning using a global texture characteristic for semiconductor-based applications
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Systeme und Verfahren zur Bestimmung der Messstelle in Halbleiterwafermetrologie
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Aktiver Retikelträger zur In-Situ-Stufenkorrektur
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Probenpositionierungssystem und -Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Verfahren und Systeme zur Bestimmung der Qualität von Halbleitermessungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Ausrichtung einer Probe zur Inspektion und Anderer Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
System und Verfahren zur Bestimmung des Zielmerkmalsfokus in der Bildbasierten Überlagerungsmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Vakuumspannfutter mit Hohem Durchfluss
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Vorhersage und Messtechnik Stochastischer Fotolackdickefehler
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und Prozesssteuerungssystem für eine Halbleiterherstellungsanordnung
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Magnetische Tauchelektronenkanone
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Systeme und Verfahren zur Scatterometrischen Einzelwellenlängenmessung von Fehlregistrierung und Linderung davon
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.06.2023
Vorrichtung zur Bereitstellung einer Lokalen Sauberen Mikroumgebung in der Nähe von Optischen Oberflächen eines Optischen Extrem-Uv-Systems
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.03.2014
Erteilt am 21.06.2023
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.06.2023
Process Window Qualification Modulation Layouts
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7