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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
13.07.2016
Strahlungsquelle, Lithographische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.05.2016
Lpp-Euv-Lichtquellenantriebslasersystem
Elektronik & Schaltungstechnik
14.04.2016
Euv-Lithographiesystem und Betriebsverfahren dafür
Optik & Fototechnik
02.03.2016
Lithographieverfahren und lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
10.02.2016
Prüfverfahren und -vorrichtung, lithographische Vorrichtung und Zelle zur lithographischen Verarbeitung
Optik & Fototechnik
10.02.2016
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
Optik & Fototechnik
20.01.2016
Strahlungsquelle und Verfahren für eine Lithografische Vorrichtung sowie Geräteherstellungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
21.10.2015
Plasma-Euv-Lichtquelle mit Laserproduziertem Plasma
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
23.09.2015
Substrathalter, lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
Optik & Fototechnik
17.06.2015
Strahlungsquelle und lithografischer Apparat
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
27.05.2015
Reflektierendes Optisches Element und Verfahren zu Seiner Herstellung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.05.2015
Flüssigkeitshandhabungsstruktur und lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
08.04.2015
Anordnung zur Modifizierung der Eigenschaften einer Vielzahl von Strahlenbündeln, Lithografische Vorrichtung, Verfahren zur Modifizierung der Eigenschaften einer Vielzahl von Strahlenbündeln und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2015
Quelle-Kollektor-Anordnung, Lithografischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
04.03.2015
Elektrostatische Klemme, Lithografievorrichtung und -Verfahren
Optik & Fototechnik
08.01.2015
Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.12.2014
Radiation source for an euv optical lithographic apparatus, and lithographic apparatus comprising such a radiation source
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
17.12.2014
Elektrostatische Klammer, Lithografische Vorrichtung und Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
10.12.2014
Kollektorspiegelanordnung und Verfahren zur Produktion von Euv Strahlung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.11.2014
Geräteherstellungsverfahren mit EUV-Strahlung
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.10.2014
Lenksystem für einen Tröpfchengenerator
Medizintechnik & Gesundheit
01.10.2014
Lithografische Vorrichtung und Positionierungsvorrichtung
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
25.09.2014
Extreme Ultraviolet Light Source
Elektronik & Schaltungstechnik
25.09.2014
Beam Position Control For an Extreme Ultraviolet Light Source
Elektronik & Schaltungstechnik
18.09.2014
Optisches Element und Optisches System zur Euv-Lithografie und Verfahren zur Bearbeitung Solch eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
09.07.2014
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
25.06.2014
Energiesensoren zur Lichtstrahlenausrichtung
Elektronik & Schaltungstechnik
17.04.2014
Method of and apparatus for in-situ repair of reflective optic
Optik & Fototechnik
16.04.2014
Systeme und Verfahren zur Puffergasstromstabilisierung in einer Lasererzeugten Plasmalichtquelle
Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2014
Filter für eine Materialzufuhrvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.03.2014
Tröpfchengenerator mit durch ein Stellglied Aktivierter Düsenreinigung
Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.02.2014
Gewundene Lithographiereihenfolge
Optik & Fototechnik
12.02.2014
Strahlungsquelle und lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.02.2014
System und Verfahren zur Kompensation von Wärmeeffekten in einer Euv-Lichtquelle
Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2014
Antriebslaser-Ausgabesysteme für Euv-Lichtquellen
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
08.01.2014
Systeme und Verfahren zur Optikreinigung in einer Euv-Lichtquelle
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
08.01.2014
Lithografische Vorrichtung, Filter für Spektrale Reinheit und Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.12.2013
Lithography apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
05.12.2013
System and method to optimize extreme ultraviolet light generation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.12.2013
System and method for protecting a seed laser in an euv light source with a bragg aom
Optik & Fototechnik

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