Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.391 gesamt| Patent | |||
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18.10.2023
Steuervorrichtung, Steuerungssystem, Verfahren zum Betreiben eines Steuerungssystems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.10.2023
Device and method for aligning two components
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Verbindung von Komponenten einer Optischen Einrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Aktiv Verkippbares Optisches Element
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Anordnung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Kalibrierung von Facettenspiegeln
Optik & Fototechnik
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12.10.2023
Reflektives Optisches Element für eine Wellenlänge im Extrem Ultravioletten Wellenlängenbereich
Optik & Fototechnik
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12.10.2023
3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhtem Durchsatz und Erhöhter Genauigkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.10.2023
Verfahren zur Korrektur eines Reflektiven Optischen Elements für den Wellenlängenbereich von 5 Nm Bis 20 Nm
Optik & Fototechnik
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11.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Optischen Elements in einem Optischen System für die Mikrolithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.05.2019
Erteilt am 11.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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11.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines durch wenigstens einen Lithographieschritt Strukturierten Wafers
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.10.2016
Erteilt am 11.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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05.10.2023
Ansteuervorrichtung, Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.03.2023
Anhängig
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05.10.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Chemischen Bearbeitung einer Oberfläche
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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05.10.2023
Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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04.10.2023
Verfahren zum Detektieren von Partikeln an der Oberfläche eines Objekts, Wafer und Maskenblank
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2018
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen
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04.10.2023
Anordnung in einem Optischen System, insbesondere einem Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.08.2020
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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28.09.2023
Optikvorrichtung, Verfahren zur Messung einer Ist-Verkippung einer Optischen Oberflaeche eines Optischen Elements und Lithografiesystem
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.03.2023
Anhängig
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28.09.2023
Anordnung und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2023
Anhängig
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20.09.2023
Endpunktbestimmung mittels Kontrastgas
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2021
Anhängig
Vertretung
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07.09.2023
Method and apparatus for mask repair
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.02.2023
Anhängig
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07.09.2023
Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2023
Anhängig
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06.09.2023
Ladungsteilchenstrahlsystem, Verfahren zum Betrieb eines Ladungsteilchenstrahlsystems, Verfahren zur Aufzeichnung mehrerer Bilder und Computerprogramme zur Ausführung der Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.09.2023
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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17.08.2023
Verfahren zur Untersuchung einer Halbleiterprobenschicht mittels Schicht und Untersuchungsvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2023
Anhängig
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17.08.2023
Heizvorrichtung für eine Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2023
Anhängig
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16.08.2023
Adaptives Optisches Element für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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10.08.2023
Euv-Lithographiesystem mit einem Gasbindenden Bauteil
Optik & Fototechnik
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09.08.2023
Positionssensorvorrichtung und Verfahren zum Ermitteln einer Position Zumindest eines Spiegels einer Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.05.2016
Erteilt am 09.08.2023
Vertretung
HKW Intellectual Property PartG mbB · München
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09.08.2023
Mikrospiegel-Array für eine Beleuchtungsoptische Komponente einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
Anhängig
Vertretung
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09.08.2023
Optische Komponente
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2021
Anhängig
Vertretung
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09.08.2023
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Sekundärgas und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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03.08.2023
Computer implemented method for the detection and classification of anomalies in an imaging dataset of a wafer, and systems making use of such methods
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.01.2023
Anhängig
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03.08.2023
Projection lens, projection exposure apparatus and projection exposure method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2023
Anhängig
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02.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Klebeverbindung zwischen einem Ersten Bauteil und einem Zweiten Bauteil
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2020
Erteilt am 02.08.2023
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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26.07.2023
Vorrichtung zur Analyse Und/oder Bearbeitung einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.07.2023
Vorrichtung zur Analyse Und/oder Bearbeitung einer Probe mit einem Teilchenstrahl und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.07.2023
Optisches System und Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.07.2023
Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats mit einem Fokussierten Teilchenstrahl
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2012
Erteilt am 26.07.2023
Vertretung
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20.07.2023
Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Optische Lithographie
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 10.01.2023
Anhängig
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20.07.2023
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.11.2022
Anhängig
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20.07.2023
Verfahren zum Nachbilden von Beleuchtungs- und Abbildungseigenschaften eines Optischen Produktionssystems bei der Beleuchtung und Abbildung eines Objekts mittels eines Optischen Messsystems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.01.2023
Anhängig
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13