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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
04.01.2024
Euv collector for an euv projection exposure apparatus
WO2024002672
Optik & Fototechnik
03.01.2024
Verfahren zur Montage eines Optischen Systems
EP4070161
Optik & Fototechnik
28.12.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten einer Oberfläche eines Optischen Elements einer Lithographieanlage in einem Atomlagen-Depositionsprozess oder einen Atomlagen-Ätzprozess
WO2023247496
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.12.2023
Verfahren zum Beschichten eines Spiegelsubstrats mit einer für Nutz-Wellenlängen Hochreflektierenden Mehrlagen-Beschichtung sowie Beschichtungsanlage zur Durchführung eines Derartigen Verfahrens
WO2023241992
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.12.2023
Method for compensating actuator effects of actuators
WO2023241878
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2023
Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements sowie Optisches System
WO2023241849
Optik & Fototechnik
20.12.2023
Verfahren zur Herstellung eines Mehrteiligen Spiegels einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
EP4291929
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
14.12.2023
Component for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography and projection exposure apparatus
WO2023237452
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
14.12.2023
Verfahren zum Betreiben einer Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsanlage
WO2023237282
Optik & Fototechnik
13.12.2023
Elektrooptische Leiterplatte zur Kontaktierung von Integrierten Photonischen Schaltungen
EP3775936
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.12.2023
Strahlungsquelle und Vorrichtung zur Rückkopplung von Emittierter Strahlung in eine Laserquelle
EP3827488
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2023
Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element und Lithografiesystem
EP4288839
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.12.2023
Projection lens, projection exposure apparatus and projection exposure method
WO2023232767
Optik & Fototechnik
07.12.2023
Zweistrahlsysteme und Verfahren zur Entkopplung des Arbeitsabstandes einer Teilchenstrahlvorrichtung von durch Fokussierte Ionenstrahlgeometrie Induzierten Einschränkungen
WO2023232282
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Verfahren zum Bilden einer Schicht, Optisches Element und Optisches System
EP4284957
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
30.11.2023
Katadioptrisches Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
WO2023227397
Optik & Fototechnik
30.11.2023
Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsanlage und Projektionsbelichtungsverfahren
WO2023227396
Optik & Fototechnik
30.11.2023
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2023227374
Optik & Fototechnik
30.11.2023
Optisches Element sowie Anordnung und Optisches System damit
WO2023227550
Optik & Fototechnik
29.11.2023
Bildsensor, Positionssensorvorrichtung, Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben eines Bildsensors
EP3752886
Optik & Fototechnik
29.11.2023
Optisches Bauelement und Optisches System, insbesondere für die Mikrolithographie
EP4283349
Optik & Fototechnik
16.11.2023
Optical system, lithography apparatus having an optical system, and method for producing an optical system
WO2023217738
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
15.11.2023
Verfahren zur Einstellung eines Beleuchtungssettings
EP3491467
Optik & Fototechnik
15.11.2023
Mehrstrahliger 3D-Fokusgenerator
EP4275833
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
15.11.2023
Verfahren zum Reinigen einer Oberfläche eines Bauteils für ein Euv-Lithographiesystem
EP4275096
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
15.11.2023
Optische Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung einer Optischen Vorrichtung
EP4275095
Optik & Fototechnik
15.11.2023
Anordnung mit Entkopplungsverbindung zur Mechanischen Befestigung eines Elements
EP4275086
Optik & Fototechnik
09.11.2023
Druckmindereinheit und Euv-Lithographiesystem
WO2023213571
Maschinenelemente & Fluidtechnik
09.11.2023
Optisches System, sowie Verfahren zum Betreiben eines Optischen Systems
WO2023213517
Optik & Fototechnik
08.11.2023
Positionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung
EP3762777
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.11.2023
Supporting components of an optical device
WO2023208590
Optik & Fototechnik
02.11.2023
Verfahren zur Vermessung der Beleuchtungspupille in einem Scanner unter Berücksichtigung eines Messretikels
WO2023208526
Optik & Fototechnik
02.11.2023
Aktuator und Deformationsspiegel
WO2023208491
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.11.2023
Beleuchtungsoptik für die Projektionslithografie
WO2023208557
Optik & Fototechnik
02.11.2023
Temperaturunempfindlicher Aktuator und Verformungsspiegel
WO2023208565
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2023
Vorrichtung zur Moiré-Vermessung eines Optischen Prüfkörpers
EP3482258
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.10.2023
System und Verfahren zur Analyse eines von einer Strahlführungsoptik Geführten Lichtstrahls
EP3140628
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
25.10.2023
Blende, Optisches System und Lithographieanlage
EP3994527
Optik & Fototechnik
19.10.2023
Verbindung von Komponenten einer Optischen Einrichtung
WO2023198732
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Mikrospiegel-Array
EP3039485
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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