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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
23.04.2020
Method for moving a structure on a semiconductor article and inspection device for inspecting a semiconductor article
WO2020078985
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.04.2020
Aktuatoreinrichtung zur Ausrichtung eines Elements, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Ausrichtung eines Elements
WO2020069787
Optik & Fototechnik
09.04.2020
Verfahren zur Herstellung eines Beleuchtungssystems für eine Euv-Vorrichtung
WO2020069870
Optik & Fototechnik
02.04.2020
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einer Magnetischen Dämpfungsanordnung
WO2020064366
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
01.04.2020
Verfahren zur Verarbeitung eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen
EP2511764
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
13.02.2020
Verfahren zum Biegen von Hydrogeformten Kühleinrichtungen und Gebogene, Hydrogeformte Kühleinrichtungen
WO2020030403
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
05.02.2020
Euv-Spiegel und Optisches System mit Euv-Spiegel
EP2943961
Elektrische Energietechnik
05.02.2020
Lithographieanlage und Verfahren zum Betreiben einer Lithographieanlage
EP3320401
Optik & Fototechnik
22.01.2020
Maske für Euv-Lithografie, Euv-Lithografiesystem und Verfahren zur Optimierung der Bildgebung einer Maske
EP2583138
Optik & Fototechnik
22.01.2020
Optische Hohlwellenleiter-Baugruppe
EP3019789
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
16.01.2020
Reflektives Optisches Element
WO2020011853
Optik & Fototechnik
16.01.2020
Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements einer Projektionsbelichtungsvorrichtung und Reflektierendes Optisches Element für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung, Projektionslinse und Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2020011788
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.01.2020
Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP2829917
Optik & Fototechnik
08.01.2020
Katoptrische Optische Euv-Abbildungs- und Projektionseinheit
EP2761355
Optik & Fototechnik
08.01.2020
Reflektives Optisches Element und Optisches System für die Euv-Lithographie
EP3405838
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.01.2020
Inspektionssystem und Inspektionsverfahren zur Qualifizierung von Halbleiterstrukturen
WO2020001954
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2019
Spiegelanordnung für eine Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung, Verfahren zum Betrieb davon und Euv-Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2877898
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.12.2019
Verfahren sowie Vorrichtung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Spiegels in einem Optischen System
WO2019228765
Optik & Fototechnik
27.11.2019
Verfahren zum Beladen eines Rohlings aus Quarzglas mit Wasserstoff, Linsenelement und Projektionsobjektiv
EP3027570
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
27.11.2019
Interferometrische Messanordnung
EP3298343
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.11.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung eines Unbekannten Effekts von Defekten eines Elements eines Photolithographieverfahrens
WO2019219826
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.11.2019
Oberflächenkorrektur von Spiegeln mit Entkopplungsbeschichtung
EP3014316
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.11.2019
Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP2340464
Optik & Fototechnik
31.10.2019
Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen eines Teilchens von einer Fotolithografischen Maske
WO2019206614
Optik & Fototechnik
30.10.2019
Optisches System, insbesondere für eine Mikrolithografische Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP3559749
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
23.10.2019
Verfahren zur Massenspektrometrischen Prüfung von Gasgemischen und Massenspektrometer dafür
EP2951851
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2019
Mehrschichtiger Euv-Spiegel, Optisches System mit einem Mehrschichtigen Spiegel und Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtigen Spiegels
EP3257054
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
09.10.2019
Verfahren und Vorrichtungen zum Verlängern einer Zeitspanne Bis zum Wechseln einer Messspitze eines Rastersondenmikroskops
EP3548902
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Maske
WO2019185296
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.10.2019
Beleuchtungssystem für Extrem-Ultraviolett(euv)-Projektionsbelichtungsanlage
EP3341794
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Verfahren zum Verbinden von Komponenten und Haltevorrichtung für einen Wafer
EP2742016
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Strahlformungs- und Beleuchtungssystem für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren
WO2019174996
Optik & Fototechnik
18.09.2019
Optische Anordnung mit einem Schutzelement und Optische Anordnung damit
EP3368948
Optik & Fototechnik
12.09.2019
Optisches Element, sowie Verfahren zur Korrektur der Wellenfrontwirkung eines Optischen Elements
WO2019170414
Optik & Fototechnik
11.09.2019
Spiegelanordnung, insbesondere zur Verwendung in einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2805204
Optik & Fototechnik
04.09.2019
Brillenglas mit einer Vielzahl von Beugungsstrukturen für Licht
EP3146383
Optik & Fototechnik
29.08.2019
Verfahren zum Polieren eines Werkstücks bei der Herstellung eines Optischen Elements
WO2019162051
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
28.08.2019
Spiegelanordnung
EP2689282
Optik & Fototechnik
14.08.2019
Prüfvorrichtung sowie Verfahren zum Prüfen eines Spiegels
EP3256835
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.08.2019
Verfahren zum Herstellen eines Spiegelelements
EP3100083
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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