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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
19.07.2023
Partikelprüfsystem, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Prüfung einer Partikelbelastung einer Oberfläche
EP4107583
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.07.2023
Verfahren zum Vermessen einer Sphärisch-Astigmatischen Optischen Fläche mit Fizeau Interferometrie
EP3084344
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.06.2023
Verfahren und Trocknungsvorrichtung
WO2023117584
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
29.06.2023
3D-Volumeninspektion von Halbleiterwafern mit Erhöhter Genauigkeit
WO2023117262
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.06.2023
Reflektierendes Optisches Element, Beleuchtungsoptik, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Bilden einer Schutzschicht
EP4200879
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.06.2023
Verfahren zur Herstellung einer Schutzabdeckung und Euv-Lithographiesystem
WO2023110322
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
22.06.2023
Elektronenmikroskop zur Untersuchung einer Probe
WO2023110862
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Vermeidung einer Degradation einer Optisch Genutzten Oberfläche eines Spiegelmoduls, Projektionssystem, Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsanlage
WO2023110338
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.06.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung eines Substrates mit einem Fokussierten Teilchenstrahl
EP4199035
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.06.2023
Method for optimizing a pupil stop shape for simulating illumination and imaging properties of an optical production system during the illumination and imaging of an object by means of an optical measurement system
WO2023104687
Optik & Fototechnik
15.06.2023
Projektionsbelichtungsanlage mit einem Korrekturermittlungsmodul
WO2023104658
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.06.2023
Fassung für eine Linse, Anordnung, Lithographieanlage sowie Verfahren
WO2023104754
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP4193222
Optik & Fototechnik
08.06.2023
Verfahren, Optisches System, Testvorrichtung und Anordnung
WO2023099432
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.06.2023
Verfahren zum Erzeugen einer Lokalen Dickenänderung einer Beschichtung, Spiegel und Euv-Lithographiesystem
WO2023099308
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.06.2023
Optische Projektionseinheit für die Mikrolithographie und Verfahren zur Herstellung einer Strukturierten Komponente
EP3987358
Optik & Fototechnik
07.06.2023
Optische Anordnung zur Erhöhung der Bandbreite
EP2972587
Optik & Fototechnik
07.06.2023
Verfahren zur Teilchenstrahlinduzierten Verarbeitung eines Defekts einer Mikrolithographischen Photomaske
EP4148498
Optik & Fototechnik
01.06.2023
Methods and evaluation devices for analyzing three-dimensional data sets representing devices
WO2023094164
Software & Datenverarbeitung
01.06.2023
Methods and apparatuses for processing a lithographic object
WO2023094359
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2023
Method and apparatus for calibrating an operation on a photomask
WO2023094362
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.05.2023
Optisches System, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren
WO2023088651
Optik & Fototechnik
25.05.2023
Verfahren zum Abscheiden einer Deckschicht, Euv-Lithographiesystem und Optisches Element
WO2023088630
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
25.05.2023
Verfahren zur Bildgebung mit einem Rasterelektronenmikroskop sowie Rasterelektronenmikroskop zur Durchführung des Verfahrens
WO2023088839
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.05.2023
Method for measuring photomasks for semiconductor lithography
WO2023089057
Optik & Fototechnik
24.05.2023
Verfahren zum Montieren eines Facettenspiegels
EP4184251
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2023
Verfahren zur Messung einer Probe und Mikroskop mit dem Verfahren
WO2023083619
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2023
Optical system, microlithographic projection exposure apparatus, method for heating an optical element and method for producing an optical fibre arrangement
WO2023083568
Optik & Fototechnik
17.05.2023
Optisches Beleuchtungssystem zur Führung von Euv-Strahlung
EP4179388
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
11.05.2023
Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren
WO2023078781
Optik & Fototechnik
11.05.2023
Optisches System, Lithographievorrichtung und Verfahren
WO2023079148
Optik & Fototechnik
10.05.2023
Euv-Kollektor
EP4176314
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.05.2023
Method to acquire a 3d image of a sample structure
WO2023072557
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.05.2023
Projection exposure apparatus, method for operating the projection exposure apparatus
WO2023072745
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Verfahren zum Ermitteln eines Bildes eines Objekts
EP4172694
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.05.2023
Optisches Element für den Vuv-Wellenlängenbereich, Optische Anordnung und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Elements
EP4172695
Optik & Fototechnik
26.04.2023
Schutz von Optischen Materialien von Optischen Komponenten vor Strahlungsabbau
EP4168832
Optik & Fototechnik
26.04.2023
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP4168857
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
20.04.2023
Verfahren zur Messung einer Probe und Mikroskop mit dem Verfahren
WO2023061712
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.04.2023
Spiegeleinheit mit Kippbarem Spiegelelement
WO2023061598
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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