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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
18.03.2021
Wafer alignment using multi-scanning electron microscopy
WO2021048082
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2021
Optisches System zur Übertragung von Originalstrukturabschnitten einer Lithografiemaske, Optische Projektionseinheit zur Bildgebung eines Objektfeldes, in dem mindestens ein Originalstrukturabschnitt der Lithografiemaske Anzuordnen Ist, und Lithografiemaske
EP3791230
Optik & Fototechnik
11.03.2021
Spiegelanordnung und Optische Anordnung damit
WO2021043484
Optik & Fototechnik
11.03.2021
Spiegelanordnung mit Wasserstoff-Barriere und Optische Anordnung
WO2021043485
Optik & Fototechnik
04.03.2021
Optisches Element und Euv-Lithographiesystem
WO2021037515
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.03.2021
Optisches Element zur Reflexion von Euv-Strahlung, Euv-Lithographiesystem und Verfahren zum Versiegeln einer Lücke
WO2021037508
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.03.2021
Spiegel, Optisches System für ein Euv Projektionssystem und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements
EP2622412
Optik & Fototechnik
25.02.2021
Verfahren zum Kalibrieren eines Interferometers
WO2021032587
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.02.2021
Verfahren zur Strahlanalyse
EP3783323
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.02.2021
Optisches Beleuchtungssystem zur Führung von Euv-Strahlung
WO2021028132
Optik & Fototechnik
04.02.2021
Automated operational control of micro-tooling devices
WO2021018725
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2021
Illumination system for an euv apparatus and method for restoring it
WO2021004785
Optik & Fototechnik
06.01.2021
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2469340
Optik & Fototechnik
30.12.2020
Messvorrichtung zum Bestimmen eines Polarisationsparameters
EP3123247
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.12.2020
Optische Elemente enthaltend Magnetostriktives Material
EP2841996
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.12.2020
Verfahren zum Bestimmen einer Temperaturabhängigen Längenänderung einer Probe
WO2020254086
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.12.2020
Spiegel, insbesondere zur Verwendung in einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2020254147
Optik & Fototechnik
24.12.2020
Feldfacettensystem, Optische Anordnung und Lithografievorrichtung
WO2020254542
Optik & Fototechnik
17.12.2020
Method for determining a production aerial image of an object to be measured
WO2020249434
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.12.2020
Multifokales Fluoreszenzrastermikroskop
EP3105629
Optik & Fototechnik
16.12.2020
Optische Bildgebungseinheit
EP2715452
Optik & Fototechnik
10.12.2020
Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Form einer Optischen Oberfläche eines Testobjekts
WO2020244937
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.12.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absorption bei einem Zuschnitt
EP2729788
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.12.2020
Verfahren zum Bestimmen mindestens einer Thermischen Eigenschaft eines Proben-Materials
WO2020239311
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.12.2020
Optisches Abbildungssystem und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithografie mit einem Derartigen Optischen Abbildungssystem
EP2598931
Optik & Fototechnik
19.11.2020
Verfahren zum Erzeugen eines Mathematischen Modells zum Positionieren von Einzelspiegeln eines Facettenspiegels in einem Optischen System
WO2020229351
Optik & Fototechnik
12.11.2020
Method for three-dimensionally determining an aerial image of a lithography mask
WO2020225411
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.11.2020
Method and metrology system
WO2020225412
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.11.2020
Mess-Beleuchtungsoptik zur Führung von Beleuchtungslicht in ein Objektfeld einer Projektionsbelichtungsanlage für die Euv-Lithografie
WO2020221763
Optik & Fototechnik
21.10.2020
Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Bestimmung einer Position eines Elements auf einer Photolithografischen Maske
EP3683822
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2020
Imaging Optical Unit For Imaging an Object Field Into an Image Field, And Projection Exposure Apparatus Comprising Such an Imaging Optical Unit
WO2020207768
Optik & Fototechnik
15.10.2020
Method for producing a glass body having cooling channels
WO2020207741
Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
01.10.2020
Verfahren zum Herstellen einer Halte- und Positioniervorrichtung und eines Kühlkörpers
WO2020193042
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
30.09.2020
Vorrichtungen zur Schichtdickenbestimmung Und/oder zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads eines Bandes
EP2756290
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.09.2020
Sample holder, system and method
WO2020190919
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
24.09.2020
Method for imaging a region of interest of a sample using a tomographic x-ray microscope, microscope, system and computer program
WO2020191121
Software & Datenverarbeitung Elektrische Energietechnik
24.09.2020
Mess- oder Inspektionsvorrichtung und Verfahren zum Vermessen oder zum Inspizieren einer Oberfläche
WO2020187690
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.09.2020
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Optischen Element mit Sensorreferenz und Verfahren zur Ausrichtung der Sensorreferenz
WO2020187549
Optik & Fototechnik
16.09.2020
Optisches Element und Optische Anordnung damit
EP3449291
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
16.09.2020
Optische Bildgebungsanordnung mit Individuell Aktiv Unterstützten Komponenten
EP2726939
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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