Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.949 gesamt| Patent | |||
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15.10.2015
Mirror arrangement, projection lens and euv lithography apparatus
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2015
Anhängig
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08.10.2015
Verfahren zum Justieren eines Spiegels einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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08.10.2015
Optisches Modul mit einer Verformungsanordnung und Verfahren zur Verformung eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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07.10.2015
Anordnung zur Betätigung von wenigstens einem Optischen Element in einem Optischen System
Optik & Fototechnik
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01.10.2015
Method and apparatus for generating a predetermined three-dimensional contour of an optical component and/or a wafer
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2015
Anhängig
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17.09.2015
Optisches Bauelement
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.03.2015
Anhängig
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17.09.2015
Vibration-compensated optical system, lithography apparatus and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.03.2015
Anhängig
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11.09.2015
Optical element and optical arrangement therewith
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 02.03.2015
Anhängig
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03.09.2015
Beleuchtungsoptik für die Mikro-Lithografie sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2015
Anhängig
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02.09.2015
Optische Bildgebungsanordnung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.08.2015
Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben eines Solchen
Optik & Fototechnik
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27.08.2015
Erfassung einer Ausbreitungsrichtung eines Optischen Strahls
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Baugruppe eines Optischen Systems, insbesondere bei einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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27.08.2015
Spiegel-Array
Optik & Fototechnik
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27.08.2015
Verfahren zur Beleuchtung eines Objektfeldes einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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27.08.2015
Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben eines Solchen
Optik & Fototechnik
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27.08.2015
Lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.02.2015
Anhängig
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20.08.2015
Lagerelement und System zum Lagern eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.02.2015
Anhängig
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20.08.2015
Verfahren zur Verlagerung von mindestens einer Optischen Komponente
Optik & Fototechnik
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19.08.2015
Projektionsobjektiv eines Mikrolithografischen Belichtungsgeräts
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.11.2011
Erteilt am 19.08.2015
Vertretung
Frank, Hartmut · Mülheim a. d. Ruhr
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05.08.2015
Verfahren zur Bestimmung der Intensitätsverteilung in der Bildebene einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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29.07.2015
Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Ätzen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.08.2009
Erteilt am 29.07.2015
Vertretung
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23.07.2015
Euv-Spiegel und Optisches System mit Euv-Spiegel
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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25.06.2015
Euv lithography system and transport device for transporting a reflective optical element
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
Verfahren zur Ermittlung der Phasenverteilung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2014
Anhängig
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18.06.2015
Prüfvorrichtung für Euv-Optik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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17.06.2015
Optische Beleuchtungseinheit für Mikrolithografie
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2010
Erteilt am 17.06.2015
Vertretung
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen
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04.06.2015
Trageinrichtung für eine Optische Vorrichtung, Optische Vorrichtung und Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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03.06.2015
Optisches Projektionssystem
Optik & Fototechnik
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28.05.2015
Reflektives Optisches Element, sowie Optisches System einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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28.05.2015
Beleuchtungssystem einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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27.05.2015
Reflektierendes Optisches Element und Verfahren zu Seiner Herstellung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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27.05.2015
Mehrschichtiges und Reflektierendes Optisches Element für Euv-Lithographievorrichtungen mit einer Ersten und einer Zweiten Zusatzzwischenschicht
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 02.02.2008
Erteilt am 27.05.2015
Vertretung
Werner, Anne-Estelle · Münster
Werner & ten Brink · Münster
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27.05.2015
Optische Bildgebung mit Verringerten Immersionsflüssigkeitsverdampfungseffekten
Optik & Fototechnik
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20.05.2015
Fokussierung eines Abbildungssystems mit Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2012
Erteilt am 20.05.2015
Vertretung
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
Zimmermann & Partner · München
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14.05.2015
Vorrichtung zum Ermitteln eines Kippwinkels wenigstens eines Spiegels einer Lithographieanlage sowie Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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07.05.2015
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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30.04.2015
Vielschichtstruktur für Euv-Spiegel
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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29.04.2015
Optische Abbildungseinrichtung mit Bestimmung von Abbildungsfehlern
Optik & Fototechnik
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16.04.2015
Facettenelement mit Justagemarkierungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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