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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
09.04.2015
Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungsvorrichtung für Mikrolithografie
WO2015049319
Optik & Fototechnik
02.04.2015
Optische Bildgebungsvorrichtung mit Vereinfachter Herstellung
WO2015043682
Optik & Fototechnik
02.04.2015
Optische Anordnung, insbesondere Plasma-Lichtquelle oder Euv-Lithographieanlage
WO2015043833
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
02.04.2015
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2015043832
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2015
Beleuchtungsoptik für die Mikrolithografie
EP2240830
Optik & Fototechnik
26.03.2015
Vorrichtung zum Bestimmen einer Optischen Eigenschaft eines Optischen Abbildungssystems
WO2015039751
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.03.2015
Facettenspiegel für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2015040160
Optik & Fototechnik
26.03.2015
Beleuchtungssystem sowie Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektionslithografie
WO2015039839
Optik & Fototechnik
19.03.2015
Verfahren zum Betrieb einer Mikrolithografischen Projektionsvorrichtung
WO2015036002
Optik & Fototechnik
19.03.2015
Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektionslithografie
WO2015036225
Optik & Fototechnik
19.03.2015
Beleuchtungsoptik sowie Beleuchtungssystem für die Euv-Projektionslithographie
WO2015036226
Optik & Fototechnik
12.03.2015
Belichtungsvorrichtung zur Mikrolithografischen Projektion und Verfahren zur Korrektur von Verformungen Optischer Wellenfronten in Solch einer Vorrichtung
WO2015032418
Optik & Fototechnik
05.03.2015
Optisches Bauelement
WO2015028450
12.02.2015
Microlithographic projection exposure apparatus and method of correcting an aberration in such an apparatus
WO2015018424
Optik & Fototechnik
05.02.2015
Optische Vorrichtung und Lithographieanlage
WO2015014947
Optik & Fototechnik
05.02.2015
Projection optical unit for imaging an object field into an image field, and projection exposure apparatus comprising such a projection optical unit
WO2015014753
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.01.2015
Microlithographic apparatus and method of varying a light irradiance distribution
WO2015007298
Optik & Fototechnik
22.01.2015
Optical Assembly
WO2015007832
Optik & Fototechnik
22.01.2015
Optisches Bauelement
WO2015007557
Optik & Fototechnik
15.01.2015
Tragsystem und Projektionsbelichtungsanlage
WO2015004110
Optik & Fototechnik
14.01.2015
Spiegel für Euv-Wellenlängenbereich, Verfahren zur Herstellung Solch eines Spiegels und Projektionsbelichtungsvorrichtung mit Solch einem Spiegel
EP2823490
Elektrische Energietechnik
08.01.2015
Lithographic apparatus, positioning system for use in a lithographic apparatus and method
WO2015000777
Optik & Fototechnik
31.12.2014
Spiegel für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage sowie Verfahren zur Bearbeitung eines Spiegels
WO2014207014
Optik & Fototechnik
24.12.2014
Euv-Bildgebungsvorrichtung
WO2014202396
Optik & Fototechnik
17.12.2014
Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100nm
EP1455365
Elektrische Energietechnik
27.11.2014
Optical component comprising an optical device and means for reducing radiation-induced influences on said optical device
WO2014187599
Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
20.11.2014
System zum Herstellen von Strukturen in einem Substrat
WO2014184292
Optik & Fototechnik
19.11.2014
Optische Anordnung für die Immersionslithografie
EP2062098
Optik & Fototechnik
19.11.2014
Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbearbeitung eines Substrats
EP2802681
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.11.2014
Optical Element Arrangement With an Optical Element Split Into Optical Sub-Elements
WO2014180931
Optik & Fototechnik
06.11.2014
Optical element comprising a multilayer coating, and optical arrangement comprising same
WO2014177376
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
29.10.2014
Installation einer Kontinuierlichen Beschichtung und Verfahren zum Herstellen von Kristallinen Dünnfilmen
EP2130234
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Polarisatoranordnung zum Räumlichen Trennen von Polarisationszuständen eines Lichtstrahlenbündels
WO2014161824
Optik & Fototechnik
02.10.2014
Mikrolithografische Vorrichtung und Verfahren zur Änderung einer Lichtbestrahlungsverteilung
WO2014154229
Optik & Fototechnik
02.10.2014
Radiation collector, radiation source and lithographic apparatus
WO2014154433
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.10.2014
Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Streulicht auf einem Optischen System
EP2179328
Optik & Fototechnik
18.09.2014
Illumination optical unit for projection lithography
WO2014139872
Optik & Fototechnik
18.09.2014
Measuring an Optical Symmetry Property On A Projection Exposure Apparatus
WO2014139651
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.09.2014
Illumination optical unit for projection lithography
WO2014139814
Optik & Fototechnik
18.09.2014
Arrangement for the thermal actuation of a mirror, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus
WO2014139896
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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