Carl Zeiss SMT Logo

Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

1.949 gesamt
Patent
07.04.2016
Actuator, mirror array and microlithographic projection exposure apparatus
WO2016050507
Optik & Fototechnik
31.03.2016
Laserscansystem
WO2016046012
Optik & Fototechnik
31.03.2016
Beleuchtungsoptik für die Projektionslithographie sowie Hohlwellenleiter-Komponente hierfür
WO2016046088
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2016
Optische Anordnung einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2016045778
Optik & Fototechnik
17.03.2016
Verfahren zum Herstellen einer Maske für den Extrem Ultra-Violetten Wellenlängenbereich, Maske und Vorrichtung
WO2016037851
Optik & Fototechnik
10.03.2016
Beleuchtungsoptik für die Projektionslithografie
WO2016034424
Optik & Fototechnik
10.03.2016
Optische Beleuchtungsanordnung für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2016034450
Optik & Fototechnik
10.03.2016
Optische Beleuchtungsanordnung für Projektionslithografie
WO2016034435
Optik & Fototechnik
10.03.2016
Optische Beleuchtungsanordnung für Projektionslithografie
WO2016034436
Optik & Fototechnik
03.03.2016
Facettenspiegel für eine Optische Beleuchtungseinheit zur Projektionslithographie
WO2016030243
Optik & Fototechnik
03.03.2016
Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektions-Lithografie
WO2016030248
Optik & Fototechnik
25.02.2016
Optisches Element mit einer Beschichtung zur Beeinflussung von Heizstrahlung und Optische Anordnung
WO2016026626
Optik & Fototechnik
25.02.2016
Spiegelmodul, insbesondere zur Verwendung in einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2016026888
Optik & Fototechnik
18.02.2016
Vakuumsystem, insbesondere Euv-Lithografiesystem, und Optisches Element
WO2016023802
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
18.02.2016
Reflektives Optisches Element
WO2016023840
Optik & Fototechnik
18.02.2016
Maske für die Euv-Lithographie, Euv-Lithographieanlage und Verfahren zum Bestimmen eines durch Duv-Strahlung Hervorgerufenen Kontrastanteils
WO2016023737
Optik & Fototechnik
11.02.2016
Verkippen eines Optischen Elements
WO2016020226
Optik & Fototechnik
04.02.2016
Beleuchtungsvorrichtung für ein Projektionsbelichtungssystem
WO2016016453
Optik & Fototechnik
28.01.2016
Abbildende Optik für ein Metrologiesystem zur Untersuchung einer Lithographiemaske
WO2016012425
Optik & Fototechnik
28.01.2016
Verfahren zum Dreidimensionalen Vermessen eines 3D-Luftbildes einer Lithografiemaske
WO2016012426
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
21.01.2016
Lithography apparatus and method of manufacturing devices
WO2016008754
Optik & Fototechnik
20.01.2016
Mehrpunkt-Sammeloptik
EP2705354
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2016
Verfahren zur Lokalisierung von Defekten auf Substraten
WO2016005420
Optik & Fototechnik
13.01.2016
Beleuchtungsoptik sowie Abbildende Optik für ein Metrologiesystem für die Untersuchung eines Objekts mit Euv-Beleuchtungs- und Abbildungslicht sowie Metrologiesystem mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik Bzw. einer Derartigen Abbildungsoptik
EP2966489
Optik & Fototechnik
07.01.2016
Elektrische Spule
WO2016000833
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.01.2016
Optical element, optical manipulator, projection lens and projection exposure apparatus
WO2016001092
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
07.01.2016
Optischer Manipulator, Projektionslinse und Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2016001090
Optik & Fototechnik
30.12.2015
Rastersondenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Oberfläche mit Grossem Aspektverhältnis
WO2015197398
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.12.2015
Optisches System, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2015185357
Optik & Fototechnik
10.12.2015
Optisches System einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2015185374
Optik & Fototechnik
02.12.2015
Einrichtung und Verfahren zur Steuerung der Positionierung eines verlagerbaren Einzelspiegels
EP2687906
Optik & Fototechnik
19.11.2015
Ermittlung einer Korrigierten Grösse
WO2015173397
Optik & Fototechnik
19.11.2015
Projektionsbelichtungsanlage mit Feldnahem Manipulator
WO2015173363
Optik & Fototechnik
19.11.2015
Optimale Anordnung von Aktuier- und Sensorpunkten auf einem Optischen Element
WO2015173362
Optik & Fototechnik
11.11.2015
Optisches Element und Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie
EP2100191
Optik & Fototechnik
04.11.2015
Optisches System eines Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgeräts und Verfahren zur Minimierung von Bildpositionierungsfehlern
EP2622411
Optik & Fototechnik
29.10.2015
Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von Verstellbaren Spiegel-Elementen einer Vielspiegel-Anordnung
WO2015162092
Optik & Fototechnik
28.10.2015
Verfahren zur Revidierung bzw. Reparatur eines lithographischen Projektionsobjektivs
EP2035897
Optik & Fototechnik
28.10.2015
Immersionsobjektiv
EP1695148
Optik & Fototechnik
15.10.2015
Mirror arrangement, projection lens and euv lithography apparatus
WO2015155061
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

Wer vertritt Carl Zeiss SMT?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen