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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
11.08.2021
Kollektor
EP3044635
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
29.07.2021
Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung
WO2021148363
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.07.2021
Verfahren zur Kompensation einer Bewegung und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
WO2021140157
Optik & Fototechnik
15.07.2021
Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektionslithografie
WO2021139904
Optik & Fototechnik
07.07.2021
Verfahren und Vorrichtung zum Modifizieren von Abbildungseigenschaften eines Optischen Systems für die Mikrolithographie
EP3559750
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.06.2021
Projektionsbelichtungsgerät für Halbleiterlithografie
WO2021115789
Optik & Fototechnik
17.06.2021
Optisches Element mit einer Schutzbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und Optische Anordnung
WO2021115733
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
17.06.2021
Optisches Element und Lithographiesystem
WO2021115643
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
16.06.2021
Verfahren und Anordnung zur Charakterisierung einer Maske oder eines Wafers für die Mikrolithographie
EP3834040
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.06.2021
Spiegel für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben eines Deformierbaren Spiegels
EP3827444
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
27.05.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Substraten für die Halbleiterlithografie
WO2021099242
Optik & Fototechnik
26.05.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements
EP3824246
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.05.2021
Device for measuring a substrate and method for correcting cyclic error components of an interferometer
WO2021094340
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.05.2021
Verfahren zur Ausrichtung eines Interferometers und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleitertechnik
WO2021094048
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2021
Verfahren zur Herstellung einer Reflektierenden Optischen Komponente für ein Euv-Projektionsbelichtungsgerät und Komponente Dieser Art
EP2686133
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
14.05.2021
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
WO2021089579
Optik & Fototechnik
12.05.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Strahlanalyse
EP3359928
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.05.2021
Contact Area Size Determination Between 3D Structures in an Integrated Semiconductor Sample
WO2021083551
Software & Datenverarbeitung
06.05.2021
Fib-sem 3d tomography for measuring shape deviations of high aspect ratio structures
WO2021083581
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2021
Method for connecting an attachment to a main body of an optical element and optical element
WO2021074054
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
22.04.2021
Verfahren zur Messung eines Reflexionsvermögens eines Objekts zur Lichtmessung und Messsystem zur Durchführung des Verfahrens
WO2021073993
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.04.2021
Verfahren zum Bestimmen einer Optischen Phasendifferenz von Messlicht einer Messlichtwellenlänge über eine Oberfläche eines Strukturierten Objekts
WO2021073994
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.04.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements
WO2021073821
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.04.2021
Optische Baugruppe zur Verringerung einer Spektralen Bandbreite eines Ausgabestrahls eines Lasers
EP3807961
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2021
Device and method for shielding components to be thermally insulated in microlithographic projection exposure apparatuses
WO2021069140
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Optisches Beleuchtungssystem für Mikrolithografie und Projektionsbeleichtungssystem mit einem Derartigen Optischen Beleuchtungssystem
EP2583141
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Messanordnung zur Messung Optischer Eigenschaften eines Reflektiven Optischen Elements, insbesondere für die Mikrolithographie
EP3074821
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.04.2021
Blende zur Anordnung in einer Engstelle eines Euv-Beleuchtungsbündels
EP3803512
Optik & Fototechnik
14.04.2021
Messanordnung zur Frequenzbasierten Positionsbestimmung einer Komponente
EP3803511
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.04.2021
Optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage
EP3680716
Optik & Fototechnik
08.04.2021
Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Oberflächenform
WO2021063766
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.04.2021
Beleuchtungssystem und Lithographievorrichtung
EP2369413
Optik & Fototechnik
07.04.2021
Verfahren zur Echtzeitüberwachung eines Prozess und Massenspektrometer
EP3586352
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2021
Strahlführungsoptik für ein Vielstrahlsystem
EP2841976
Optik & Fototechnik
01.04.2021
Assembly of a laser ablation apparatus and laser ablation apparatus of such an assembly
WO2021058545
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
31.03.2021
Facettenspiegel zur Verwendung in einer Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Mikrolithografie
EP2243047
Optik & Fototechnik
24.03.2021
Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Optisches Element und Reflektierendes Optisches Element
EP3794168
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
24.03.2021
Strahlpropagationskamera und Verfahren zur Lichtstrahlanalyse
EP3100011
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.03.2021
Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Halbleiterlithografie mit Erhöhter Thermischer Robustheit
EP3523697
Optik & Fototechnik
18.03.2021
Wafer inspection methods and systems
WO2021048104
Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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