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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
09.08.2017
System und Verfahren für Hochpräzise Gasnachfüllung bei einem Zweikammern-Gasentladungslasersystem
EP2727200
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2017
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2544766
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
19.07.2017
Heizvorrichtung mittels eines XeF lasers
EP2375513
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2017
Gas Mixture Control in A Gas Discharge Light Source
WO2017119946
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2017
Online calibration for repetition rate dependent performance variables
WO2017112060
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.06.2017
Optimization of source and bandwidth for new and existing patterning devices
WO2017102321
Optik & Fototechnik
04.05.2017
Controller for an optical system
WO2017074794
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
12.04.2017
Kalkulation der Spektraleigenschaften eines Gepulsten Lichtstrahls
EP3152624
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.04.2017
Erosion resistant electrodes for use in generating gas discharge laser
WO2017058531
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2017
Lithographic apparatus and method
WO2017050506
Optik & Fototechnik
22.03.2017
Vibrationsregelung unter Verwendung von Signal-Detrending
EP1474844
Optik & Fototechnik
22.03.2017
Gasentladungs-Mopa-Laser-Spektralanalyse-Modul
EP1668312
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.02.2017
Linienverschmälerungsmodul
EP1831974
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2017
Messtechnik für Extreme Ultraviolette Lichtquelle
EP2514279
Elektronik & Schaltungstechnik
18.01.2017
Steuersystem für einen Zweikammer-Gasentladungslaser
EP1540783
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2016
Pulsed Light Beam Spectral Feature Control
WO2016209669
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2016
Beleuchtungsgerät und Verfahren zur Steuerung der Energie einer Laserquelle
EP2245497
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
07.12.2016
Aktive Spektralsteuerung einer Duv-Lichtquelle
EP1994549
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2016
Spectral feature metrology of a pulsed light beam
WO2016191114
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.10.2016
Wavelength Stabilization For an Optical Source
WO2016164157
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2016
Optisches Laserwärmeausglühsystem für Dünnfilmpolysilizium
EP1689552
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
21.09.2016
Laser-Dünnfilm-Polysilizium-Ausheizsystem
EP1687877
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.08.2016
Ansteuerungslaser für Euv-Lichtquelle
EP2232330
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2016
Compensation For A Disturbance in an Optical Source
WO2016094193
Optik & Fototechnik
04.05.2016
Lpp-Euv-Lichtquellenantriebslasersystem
EP2488002
Elektronik & Schaltungstechnik
20.04.2016
System und Verfahren für Hochpräzise Gasnachfüllung in einem Zweikammern-Gasentladungslasersystem
EP2761709
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2016
System and method for automatic gas optimization in a two-chamber gas discharge laser system
WO2016039934
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Verfahren zur Erzeugung eines hochleistungs-Laserstrahls mit geringer Divergenz für Materialverarbeitungsanwendungen
EP2029310
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.10.2015
Plasma-Euv-Lichtquelle mit Laserproduziertem Plasma
EP2095693
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.03.2015
Quelle-Kollektor-Anordnung, Lithografischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2480936
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
18.12.2014
Wafer-Based Light Source Parameter Control
WO2014200821
Optik & Fototechnik
29.10.2014
Alternative Brennstoffe für Euv-Lichtquellen
EP1915596
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.10.2014
Optischer Bandbreitenmesser für von einem Laser mit Sehr Schmaler Bandbreite Emittiertes Licht
EP1649244
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.10.2014
Lenksystem für einen Tröpfchengenerator
EP2790783
Medizintechnik & Gesundheit
25.06.2014
Energiesensoren zur Lichtstrahlenausrichtung
EP2745650
Elektronik & Schaltungstechnik
21.05.2014
Durch einen Laser mit Hoher Wiederholungsraten Produzierte Plasma-Euv-Lichtquelle
EP1726028
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.05.2014
System und Verfahren zur Zielmaterialabgabe in einer Laserproduzierten Plasma-Euv-Lichtquelle
EP2266375
Elektronik & Schaltungstechnik
30.04.2014
Systeme und Verfahren zur Verringerung des Einflusses von Plasmaerzeugten Fremdkörpern auf die Internen Komponenten einer Euv-Lichtquelle
EP1779410
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
16.04.2014
Systeme und Verfahren zur Puffergasstromstabilisierung in einer Lasererzeugten Plasmalichtquelle
EP2719261
Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2014
Filter für eine Materialzufuhrvorrichtung
EP2709743
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
258
Optik & Fototechnik
143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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