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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.391 gesamt
Patent
15.12.2022
Optische Anordnung und Lithographiesystem mit Strahlungskühlung
WO2022258253
Optik & Fototechnik
07.12.2022
Verfahren zum Bestimmen der Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit einem Licht in einer zu Vermessenden Eingangspupille
EP4099093
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.12.2022
Method and apparatus for characterization of a microlithography mask
WO2022248216
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.12.2022
Projektionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren zum Entwurf einer Komponente einer Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2022248433
Optik & Fototechnik
30.11.2022
Verfahren und Gerät zum Analysieren eines Bildes eines Mikrolithografischen, Mikrostrukturierten Bauteils
EP4095810
Software & Datenverarbeitung
30.11.2022
Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
EP3516456
Optik & Fototechnik
30.11.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit Beleuchtungslicht Innerhalb einer zu Vermessenden Pupille
EP4095505
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.11.2022
Messanordnung und Verfahren zur Vermessung der Oberflächenform eines Optischen Elements
WO2022243015
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.11.2022
Komponente mit mindestens einem Kühlkanal und Optische Anordnung
WO2022238074
Optik & Fototechnik
16.11.2022
Halterung eines Optischen Elements
EP3857281
Optik & Fototechnik
10.11.2022
Verfahren und Messanordnung zur Bestimmung der Brechzahl einer Schicht
WO2022233648
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.11.2022
Positioning system, lithographic apparatus, driving force attenuation method, and device manufacturing method
WO2022233542
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
02.11.2022
Komponente für eine Spiegelanordnung für die Euv-Lithographie und Verfahren zur Herstellung Derselben
EP3513250
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
02.11.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer Luftbildsimulation einer Fotolithografischen Maske
EP4081865
Optik & Fototechnik
27.10.2022
Vorrichtung zur Spektrometrischen Untersuchung eines Gases und Lithographieanlage
WO2022223232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.10.2022
Aktuator-Sensor-Vorrichtung und Lithographieanlage
WO2022218750
Optik & Fototechnik
20.10.2022
Verfahren und Vorrichtung zum Ansprengen von Bauteilen
WO2022218793
Optik & Fototechnik
19.10.2022
Optisches System, sowie Heizanordnung und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements in einem Optischen System
EP4073588
Optik & Fototechnik
13.10.2022
Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden mindestens einer Schicht, Optisches Element und Optische Anordnung
WO2022214376
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
12.10.2022
Verfahren zur Vermeidung einer Degradation eines Optischen Elements, Projektionssystem, Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsgerät
EP4070162
Optik & Fototechnik
06.10.2022
Optical element, optical arrangement and insert component
WO2022207235
Optik & Fototechnik
06.10.2022
Computer-Generiertes Hologramm (cgh) sowie Interferometrische Messanordnung zur Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings
WO2022207153
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.10.2022
Beleuchtungssystem für eine Lithografische Projektionsbelichtungsvorrichtung für Euv-Projektion und Verfahren zum Betreiben eines Derartigen Beleuchtungssystems
EP2883112
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.10.2022
Halterung einer Optischen Einheit
EP4066061
Optik & Fototechnik
29.09.2022
Lagerung für eine Lithographieanlage und Lithographieanlage
WO2022199904
Optik & Fototechnik
29.09.2022
Messvorrichtung zum Interferometrischen Vermessen einer Oberflächenform
WO2022200209
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.09.2022
Optische Anordnung und Verfahren zu deren Herstellung, Verfahren zum Verformen eines Optischen Elements sowie Projektionsbelichtungsanlage
WO2022200203
Optik & Fototechnik
29.09.2022
Messvorrichtung zum Interferometrischen Vermessen einer Oberflächenform
WO2022200210
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.09.2022
Spiegel für Euv-Lithografie
EP3489374
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
09.09.2022
Gas injection subsystem for use in an inspection system to inspect a sample by use of charged particles and inspection system having such gas injection subsystem
WO2022184760
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.09.2022
Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines Optischen Elementes, Grundkörper eines Optischen Elementes und Projektionsbelichtungsanlage
WO2022184482
Optik & Fototechnik
07.09.2022
Verfahren zur Lokalisierung von Montagefehlern
EP3601988
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optisches System, insbesondere für die Euv-Lithographie
WO2022179766
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optisches System, Montagevorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung eines Messobjekts
WO2022179906
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optische Baugruppe, Verfahren zur Deformation eines Optischen Elements und Projektionsbelichtungsanlage
WO2022180004
Optik & Fototechnik
01.09.2022
Optisches Element zur Reflexion von Strahlung und Optische Anordnung
WO2022179735
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
31.08.2022
Abstützung einer Optischen Einheit
EP3818414
Optik & Fototechnik
31.08.2022
Hohlwellenleiter zur Führung von Euv-Licht mit einer Nutzwellenlänge
EP3559751
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
25.08.2022
System to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles, set of systems to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample and method to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles
WO2022175061
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.08.2022
Method and apparatus for processing a sample
WO2022175531
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13

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