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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
23.05.2018
Beleuchtungssystem einer Mikrorlithografischen Projektionsbelichtungsanlage
EP2220536
Optik & Fototechnik
23.05.2018
Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP3323022
Optik & Fototechnik
16.05.2018
Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage mit negativer Schnittweite der Eintrittspupille
EP1840622
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.05.2018
Rastersondenmikroskop und Verfahren zur Erhöhung einer Abtastungsgeschwindigkeit eines Rastersondenmikroskops bei der Abtastung im Step-In-Scanmodus
WO2018078011
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.05.2018
Verfahren zur Mikrolithographischen Herstellung Mikrostrukturierter Bauelemente
WO2018077594
Optik & Fototechnik
12.04.2018
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit Reduzierter Thermischer Deformation
WO2018065180
Optik & Fototechnik
12.04.2018
Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Verringerung aus Dynamischen Beschleunigungen Herrührenden Deformationen von Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage
WO2018065183
Optik & Fototechnik
05.04.2018
Projektionsbelichtungsanlage mit Fluessigkeitsschicht zur Wellenfrontkorrektur
WO2018060126
Optik & Fototechnik
29.03.2018
Reflektives Optisches Element
WO2018054795
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
21.03.2018
Verfahren zur Herstellung eines Euv-Moduls, Euv-Modul und Euv-Lithografiesystem
EP3295248
Optik & Fototechnik
21.03.2018
Optisches Modul mit Verkippbaren Optischen Flächen
EP3296787
Optik & Fototechnik
15.03.2018
Optisches System, insbesondere Lithographieanlage, sowie Verfahren
WO2018046350
Optik & Fototechnik
28.02.2018
Spiegel für Euv-Wellenlängenbereich, Projektionsobjektiv für Mikrolithografie mit Derartigem Spiegel und Projektionsbelichtungsgerät für Mikrolithografie mit einem Derartigen Projektionsobjektiv
EP2513685
Optik & Fototechnik
22.02.2018
Optisches System, Lithographievorrichtung und -Verfahren
WO2018033557
Optik & Fototechnik
22.02.2018
Projektionsbelichtungsanlage mit einer Messvorrichtung zur Überwachung einer Lateralen Abbildungsstabilität
WO2018033236
Optik & Fototechnik
15.02.2018
Scanning probe microscope and method for examining a sample surface
WO2018029151
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.02.2018
Optisches Modul mit einer Kollisionsschutzvorrichtung für Modulkomponenten
WO2018029190
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
15.02.2018
Optical system and method for correcting mask defects using the system
WO2018029184
Optik & Fototechnik
25.01.2018
Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Form einer Optischen Oberfläche
WO2018015014
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.01.2018
Einrichtung zur Verschwenkung eines Spiegel-Elements mit Zwei Schwenk-Freiheitsgraden und Sensor zur Bestimmung der Verschwenkung
EP3271771
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.01.2018
Verfahren zur Mikrolithographischen Herstellung Mikrostrukturierter Bauelemente, sowie Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2018010887
Optik & Fototechnik
18.01.2018
Einheit zur Optischen Projektion für Euv-Projektionslithografie
WO2018010960
Optik & Fototechnik
11.01.2018
Optisches Gitter und Optische Anordnung damit
WO2018007086
Optik & Fototechnik
11.01.2018
Measurement system for determining a wavefront aberration
WO2018007008
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.01.2018
Mikrolithographische Beleuchtungseinheit
WO2018001652
Optik & Fototechnik
27.12.2017
Messanordnung zur Bestimmung der Flugbahnen von Fliegenden Objekten
EP3074820
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.12.2017
Optische Anordnung und Verfahren zum Betreiben der Optischen Anordnung
WO2017216007
Optik & Fototechnik
07.12.2017
Optische Abbildungsanordnung mit einer Piezoelektrischen Vorrichtung
WO2017207016
Optik & Fototechnik
07.12.2017
Mirror for the euv wavelength range
WO2017207264
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.12.2017
Method and appliance for predicting the imaging result obtained with a mask when a lithography process is carried out
WO2017207297
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.12.2017
Elektronenkanone, die in einer Teilchenstrahlvorrichtung verwendet wird
EP2264738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2017
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit Elementen zur Plasmakonditionierung
WO2017202545
Optik & Fototechnik
30.11.2017
Positionsmessung von Optischen Elementen in einer Lithographischen Vorrichtung
WO2017202976
Optik & Fototechnik
30.11.2017
Optisches Element und Euv-Lithographiesystem
WO2017202579
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
23.11.2017
Montageanordnung für eine Optische Bildgebungsanordnung
WO2017198286
Optik & Fototechnik
16.11.2017
Lageranordnung für eine Lithographieanlage sowie Lithographieanlage
WO2017194348
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
01.11.2017
Verfahren zum Elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von Leitfähigem Material
EP2331726
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2017
Verfahren zur Positionserfassung eines Maskenhalters auf einem Messtisch
WO2017182558
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.10.2017
Projektionsbelichtungsanlage mit Sensoreinheit zur Partikeldetektion
WO2017178296
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.10.2017
Lithographievorrichtung mit einer Vielzahl von Einzeln Ansteuerbaren Schreibköpfen
EP3224675
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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